采样瓶清洗系统及采样瓶清洗方法与流程

本发明涉及微电子及半导体集成电路的制造设备领域，具体属于一种采样瓶清洗系统及采样瓶清洗方法。

背景技术：

在半导体生产过程中，通常对环境要求极高，因此需要利用采样瓶对无尘室的空气进行采样，以针对环境中的酸碱阴阳离子进行分析，适合所有工艺，从而保证生产工艺的可靠性。常用的采样瓶(也叫阴阳离子瓶)包括瓶体和冲击管式的瓶盖两部分，其中瓶体为一个圆口玻璃瓶，瓶盖包括瓶塞、进气管和出气管，瓶塞密闭地盖合在瓶体上端的瓶口处，进气管的一端经瓶塞伸到瓶体内的底部，进气管的另一端为进气口，出气管的一端经瓶塞与瓶体内的上部连通。

目前，传统的清洗方式有两种，一种是使用单个水龙头，另一种是使用高压水枪，不管是单个水龙头还是高压水枪，都需要人工手动地对采样瓶进行不断冲洗。通常每个采样瓶的手动清洗时间大约需要20～30分钟，才能满足清洗要求。上述清洗方式耗时耗力，效率低，而且瓶盖的结构复杂，难于清洗，所以采样瓶的整体清洗效果差异较大，进而会影响后续的采样结果。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是提供一种采样瓶清洗系统及采样瓶清洗方法，可以解决现有技术中人工手动清洗采样瓶效率低且清洗效果难以保证的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供的采样瓶清洗系统，所述采样瓶包括瓶体和瓶盖两部分，所述瓶盖包括瓶塞、进气管和出气管，所述瓶塞密闭地盖合在所述瓶体上端的瓶口，所述进气管的一端经所述瓶塞伸到所述瓶体内的底部，所述进气管的另一端为进气口，所述出气管的一端经所述瓶塞与所述瓶体内的上部连通，所述清洗系统包括清洗槽、供水管和至少一组冲洗装置，所述清洗槽中形成有至少一组定位结构，所述冲洗装置和所述定位结构的数量相同，每组定位结构均包括瓶体卡槽和瓶塞卡槽，所述瓶体卡槽用于固定所述瓶体，所述瓶塞卡槽用于固定倒置的瓶塞，所述冲洗装置位于所述清洗槽外，且每组冲洗装置均包括用于清洗瓶体的第一水龙头和用于清洗进气管的第二水龙头，所述第一水龙头的出水口正对所述瓶体的瓶口，所述第二水龙头的出水口安装有软管，所述软管的内径小于或等于所述进气管位于瓶体内的一端的外径，且所有水龙头均安装在所述供水管上。

较佳地，所述供水管上安装有电磁阀，所述电磁阀通过一个时间继电器控制。

较佳地，所述瓶体卡槽和所述瓶塞卡槽均呈∩型。

较佳地，所述清洗槽采用聚丙烯材料制成。

较佳地，所述清洗系统包括至少三组冲洗装置和至少三组定位结构。

较佳地，所述软管采用聚氨酯材料制成。

为解决上述技术问题，本发明提供一种清洗方法，包括如下步骤：

步骤1，将所有待清洗的采样瓶的瓶体分别放置在瓶体卡槽中，并使所述瓶体的瓶口朝上且对准与所述瓶体卡槽相对应的冲洗装置的第一水龙头的出水口，将所有待清洗的采样瓶的瓶塞分别倒置在瓶塞卡槽中，并把进气管伸入瓶体内的部分插入到与所述瓶塞卡槽相对应的冲洗装置的第二水龙头上的软管中；

步骤2，打开与放置有待清洗的瓶体和瓶塞的定位结构相对应的第一水龙头和第二水龙头进行冲洗，到达设定的冲洗时间后，关闭第一水龙头和第二水龙头；

步骤3，倒掉所述瓶体内的水并再次放置于对应的瓶体卡槽；

步骤4，重新打开第一水龙头和第二水龙头进行冲洗，到达设定的冲洗时间后，关闭第一水龙头和第二水龙头，完成清洗。

较佳地，在步骤1之前，先预冲洗所有水龙头的管路，同时冲洗所有水龙头。

较佳地，在步骤2和步骤4中，插有进气管的软管中充满水。

优选地，预冲洗的时间为至少5分钟。

此外，本发明还提供一种清洗方法，包括如下步骤：

步骤1，将所有待清洗的采样瓶的瓶体分别放置在瓶体卡槽中，并使所述瓶体的瓶口朝上且对准与所述瓶体卡槽相对应的冲洗装置的第一水龙头的出水口，将所有待清洗的采样瓶的瓶塞分别倒置在瓶塞卡槽中，并把进气管伸入瓶体内的部分插入到与所述瓶塞卡槽相对应的冲洗装置的第二水龙头上的软管中；

步骤2，设置时间继电器的设定时间，开启电磁阀；

步骤3，打开与放置有待清洗的瓶体和瓶塞的定位结构相对应的第一水龙头和第二水龙头进行冲洗；

步骤4，到达所述时间继电器的设定时间后，倒掉所述瓶体内的水并再次放置于对应的瓶体卡槽；

步骤5，再次开启电磁阀进行冲洗，到达所述时间继电器的设定时间后，完成清洗。

较佳地，在步骤1之前，先预冲洗所有水龙头的管路，同时冲洗所有水龙头。

较佳地，在步骤3和步骤5中，插有进气管的软管中充满水。

优选地，预冲洗的时间为至少5分钟。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

第一，本发明采用多组冲洗装置，并在清洗槽中设置与冲洗装置相对应的定位结构用于对采样瓶的两部分分别进行定位固定，这样可以实现多个采样瓶并行清洗，提高效率，减少人力；

第二，本发明在与冲洗装置相连的供水管设置电磁阀，并利用时间继电器控制电磁阀的开闭以设定自动清洗的时间，从而实现采样瓶的自动清洗，在清洗过程中，无需操作人员介入，不仅大大节省了人力和时间，而且清洗效果也大大得到提升；

第三，本发明的清洗槽采用聚丙烯，耐酸碱且无污染，避免了对采样分析造成二次污染。

附图说明

图1为本发明的采样瓶清洗系统的立体示意图；

图2为本发明的采样瓶清洗系统的主视图；

图3为本发明的采样瓶清洗方法的一种流程图；

图4为被仿冒的采样瓶清洗方法的另一种流程图。

其中附图标记说明如下：

1为清洗槽；2为瓶体卡槽；3为瓶塞卡槽；4为第一水龙头；5为第二水龙头。

具体实施方式

下面结合附图通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可以由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明亦可通过其它不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，本领域技术人员在不背离本发明的精神下可以进行各种类似推广和替换。

实施例一

本实施例的采样瓶清洗系统用于清洗适用于所有工艺过程中对无尘室的空气进行采样的采样瓶，所述采样瓶包括瓶体和瓶盖两部分，所述瓶盖包括瓶塞、进气管和出气管，所述瓶塞密闭地盖合在所述瓶体上端的瓶口，所述进气管的一端经所述瓶塞伸到所述瓶体内的底部，所述进气管的另一端为进气口，所述出气管的一端经所述瓶塞与所述瓶体内的上部连通。

如图1、图2所示，清洗系统包括清洗槽1、供水管(图中未示出)和至少一组冲洗装置，所述清洗槽1中形成有至少一组定位结构，所述冲洗装置和所述定位结构的数量相同，每组定位结构均包括瓶体卡槽2和瓶塞卡槽3，所述瓶体卡槽2用于固定所述瓶体，所述瓶塞卡槽3用于固定倒置的瓶塞，所述冲洗装置位于所述清洗槽1外，且每组冲洗装置均包括用于清洗瓶体的第一水龙头4和用于清洗进气管的第二水龙头5，所述第一水龙头4的出水口正对所述瓶体的瓶口，所述第二水龙头5的出水口安装有软管，所述软管的内径小于或等于所述进气管位于瓶体内的一端的外径，且所有水龙头均安装在所述供水管上。

其中，瓶体卡槽2和瓶塞卡槽3均呈∩型，便于待清洗的瓶体及瓶塞的放置和取出。

清洗槽1采用聚丙烯材料制成，耐酸碱且无污染，避免了对采样分析造成二次污染。

为了提高清洗效率，清洗系统包括至少三组冲洗装置和至少三组定位结构，这样可以将清洗时间大大缩短，同时节省人力成本。。

较佳地，所述软管采用聚氨酯材料制成。

基于上述清洗系统，本实施例的采样瓶清洗方法，如图3所示，包括如下步骤：

步骤1，将所有待清洗的采样瓶的瓶体分别放置在瓶体卡槽中，并使所述瓶体的瓶口朝上且对准与所述瓶体卡槽相对应的冲洗装置的第一水龙头的出水口，将所有待清洗的采样瓶的瓶塞分别倒置在瓶塞卡槽中，并把进气管伸入瓶体内的部分插入到与所述瓶塞卡槽相对应的冲洗装置的第二水龙头上的软管中；

步骤2，打开与放置有待清洗的瓶体和瓶塞的定位结构相对应的第一水龙头和第二水龙头进行冲洗，到达设定的冲洗时间后，关闭第一水龙头和第二水龙头；

步骤3，倒掉所述瓶体内的水并再次放置于对应的瓶体卡槽；

步骤4，重新打开第一水龙头和第二水龙头进行冲洗，到达设定的冲洗时间后，关闭第一水龙头和第二水龙头，完成清洗。

其中，在步骤1之前，先预冲洗所有水龙头的管路，同时冲洗所有水龙头(如利用水枪冲洗水龙头)。优选地，预冲洗的时间为至少5分钟。

在步骤2和步骤4中，插有进气管的软管中充满水。

在本实施例中，采用多组冲洗装置，并在清洗槽中设置与冲洗装置相对应的定位结构用于对采样瓶的两部分分别进行定位固定，清洗时可以同时对多个采样瓶的组件进行清洗，从而实现多个采样瓶并行清洗，而且可以排除由于操作人员清洗方式不同而导致的清洗效果之间的差异，保证清洗效果的一致性。

实施例二

在实施例一的基础上，本实施例增加了自动控制部件，从而使清洗过程实现自动化。

具体地，供水管上安装有电磁阀，所述电磁阀通过一个时间继电器控制。

基于本实施例的清洗系统实现的采样瓶清洗方法，如图4所示，包括如下步骤：

步骤1，将所有待清洗的采样瓶的瓶体分别放置在瓶体卡槽中，并使所述瓶体的瓶口朝上且对准与所述瓶体卡槽相对应的冲洗装置的第一水龙头的出水口，将所有待清洗的采样瓶的瓶塞分别倒置在瓶塞卡槽中，并把进气管伸入瓶体内的部分插入到与所述瓶塞卡槽相对应的冲洗装置的第二水龙头上的软管中；

步骤2，设置时间继电器的设定时间，开启电磁阀；

步骤3，打开与放置有待清洗的瓶体和瓶塞的定位结构相对应的第一水龙头和第二水龙头进行冲洗；

步骤4，到达所述时间继电器的设定时间后，倒掉所述瓶体内的水并再次放置于对应的瓶体卡槽；

步骤5，再次开启电磁阀进行冲洗，到达所述时间继电器的设定时间后，完成清洗。

其中，在步骤3和步骤5中，插有进气管的软管中充满水。

在本实施例中，与冲洗装置相连的供水管设置电磁阀，并利用时间继电器控制电磁阀的开闭以设定自动清洗的时间，从而实现采样瓶的自动清洗，在清洗过程中，无需操作人员介入，不仅大大节省了人力和时间，而且清洗效果也大大得到提升。

以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，该实施例仅仅是本发明的较佳实施例，本发明并不局限于上述实施方式。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员做出的等效置换和改进，均应视为在本发明所保护的技术范畴内。