一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统的制作方法

文档序号:25882989发布日期:2021-07-16 18:53阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,包括微液滴载气混合发生模组,与所述微液滴混合发生模组出口耦合的超声发生装置且联结清洗发射腔,所述超声发生装置包括超声换能器和安装在所述产生换能器前部的振动部件,所述超声发生装置前端安装在所述清洗发射腔内,所述振动部件安装在所述清洗发射腔内,所述清洗发射腔前部具有发射喷嘴。2.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述微液滴载气混合发生模组包括液体供给装置和蒸汽发生器,所述液体供给装置联结所述蒸汽发生器,所述蒸汽发生器出口耦合所述超声发生装置且联结所述清洗发射腔。3.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述发射喷嘴与所述清洗发射腔之间具有渐缩部件,所述渐缩部件联结所述清洗发射腔处口径大于所述渐缩部件联结所述发射喷嘴处口径且由所述清洗发射腔至所述发射喷嘴逐渐缩小。4.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述发射喷嘴为柔性发射喷嘴。5.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述发射喷嘴为扁平状喷嘴或圆形喷嘴或方形喷嘴或渐开型喷嘴。6.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述微液滴载气混合模组为产生微液滴和载气的微液滴载气混合模组。7.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述微液滴载气混合发生模组为形成微液滴粒径小于等于300um的微液滴载气混合发生模组。8.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统为在所述清洗喷嘴处产生的气流射流流速为大于等于10m/s的共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统。9.根据权利要求1所述的一种共混超声驱动控制微液滴集群清洗系统,其特征在于,所述超声发生装置为产生纵波的超声发生装置,所述超声发生装置产生超声波频率为大于等于20khz小于等于100khz的所述超声发生装置。
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