一种多晶硅用自动清洗装置的制作方法

文档序号:22627040发布日期:2020-10-23 19:35阅读:117来源:国知局
一种多晶硅用自动清洗装置的制作方法

【技术领域】

本发明涉及多晶硅生产设备的技术领域,特别是多晶硅清洗装置的技术领域。



背景技术:

多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅,多晶硅在生产过程中需要将附着在多晶硅表面的污渍、灰尘清洗掉,以提高多晶硅纯度,提高成品质量,现有清洗设备自动化程度低,人工劳动强度大,清洗效果较差,清洗过程中费事费力。



技术实现要素:

本发明的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种多晶硅用自动清洗装置,能够提高多晶硅清洗质量,提高多晶硅清洗效率,减小人工劳动强度。

为实现上述目的,本发明提出了一种多晶硅用自动清洗装置,包括清洗机架、烘干机架、清洗机罩、烘干机罩、传送带、传送带支撑侧板、若干清洗吊篮、清洗吊篮搬运装置、若干烘干风机,所述的清洗机架一端连接烘干机架,所述的烘干机架上端横向设有烘干机罩,所述的清洗机架上端横向设有清洗机罩,所述的清洗机罩与烘干机罩连通,所述的清洗机架远离烘干机架的一端延伸出清洗机罩设置有上料平台,所述的烘干机架上沿烘干机架长边方向横向设有传送带,所述的传送带一端与烘干机架内部固定连接,所述的传送带远离清洗机架的一端延伸出烘干机架,所述的烘干机架两侧设有可以与传送带配合的传送带支撑侧板,所述的传送带另一端与传送带支撑侧板固定连接,所述的清洗机罩内一侧侧壁横向设有可以与上料平台、传送带输入端配合的清洗吊篮搬运装置,所述的清洗机架、烘干机架内设有若干清洗吊篮,所述的烘干机罩上端设有若干烘干风机,所述的烘干风机输出端与烘干机罩连通。

作为优选,所述的清洗机架内由靠近上料平台至烘干机架端依次设有第一超声波清洗槽、第二超声波清洗槽、第一纯水清洗槽、第二纯水清洗槽、超纯水清洗槽、静置等待槽、喷淋槽,所述的喷淋槽上端设有可以与其配合的喷淋装置。

作为优选,所述的第一超声波清洗槽、第二超声波清洗槽底部均匀设有若干超声波发生器。

作为优选,所述的喷淋装置包括喷淋器、升降气缸,所述的升降气缸竖直朝下设于喷淋槽上端,所述的升降气缸上端与清洗机罩固定连接,所述的升降气缸气缸臂下端横向设有喷淋器。

作为优选,所述的清洗吊篮搬运装置包括横移电缸、若干升降电缸、升降板、若干吊钩、吊钩支撑架、机罩延伸侧板,所述的清洗机架上端竖直设有机罩延伸侧板、横移导轨,所述的机罩延伸侧板与清洗机罩一侧侧壁固定连接,所述的清洗机罩侧壁与机罩延伸侧板上横向设有横移电缸,所述的横移电缸下侧设有可以与其配合的横移导轨,所述的横移电缸与横移导轨之间竖直设有若干升降电缸,所述的升降电缸电缸滑块上竖直设有升降板,所述的升降板上设有若干吊钩支撑架,所述的吊钩支撑架上竖直朝下设有若干可以与清洗吊篮配合的吊钩。

本发明一种多晶硅用自动清洗装置的有益效果:本发明通过设置清洗吊篮搬运装置与清洗吊篮、清洗槽、传送带配合,能够实现自动上料、自动清洗、自动烘干,提高多晶硅清洗效率,减小人工劳动强度,通过设置多个清洗槽,在清洗槽内设置纯水,通过超声波清洗,提高清洗质量。

本发明的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。

【附图说明】

图1是本发明一种多晶硅用自动清洗装置结构示意图主视图;

图2是本发明一种多晶硅用自动清洗装置的主视图剖视图。

图中:1-清洗机架、2-烘干机架、3-清洗机罩、4-烘干机罩、5-传送带、6-传送带支撑侧板、7-清洗吊篮、8-清洗吊篮搬运装置、9-烘干风机、11-上料平台、12-第一超声波清洗槽、13-第二超声波清洗槽、14-第一纯水清洗槽、15-第二纯水清洗槽、16-超纯水清洗槽、17-静置等待槽、18-喷淋槽、19-喷淋装置、81-横移电缸、82-升降电缸、83-升降板、84-吊钩、85-吊钩支撑架、86-机罩延伸侧板、121-超声波发生器。

【具体实施方式】

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面通过附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。但是应该理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限制本发明的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。

参阅图1、图2,本发明一种多晶硅用自动清洗装置,包括清洗机架1、烘干机架2、清洗机罩3、烘干机罩4、传送带5、传送带支撑侧板6、若干清洗吊篮7、清洗吊篮搬运装置8、若干烘干风机9,所述的清洗机架1一端连接烘干机架2,所述的烘干机架2上端横向设有烘干机罩4,所述的清洗机架1上端横向设有清洗机罩3,所述的清洗机罩3与烘干机罩4连通,所述的清洗机架1远离烘干机架2的一端延伸出清洗机罩3设置有上料平台11,所述的烘干机架2上沿烘干机架2长边方向横向设有传送带5,所述的传送带5一端与烘干机架2内部固定连接,所述的传送带5远离清洗机架1的一端延伸出烘干机架2,所述的烘干机架2两侧设有可以与传送带5配合的传送带支撑侧板6,所述的传送带5另一端与传送带支撑侧板6固定连接,所述的清洗机罩3内一侧侧壁横向设有可以与上料平台11、传送带5输入端配合的清洗吊篮搬运装置8,所述的清洗机架1、烘干机架2内设有若干清洗吊篮7,所述的烘干机罩4上端设有若干烘干风机9,所述的烘干风机9输出端与烘干机罩4连通,所述的清洗机架1内由靠近上料平台11至烘干机架2端依次设有第一超声波清洗槽12、第二超声波清洗槽13、第一纯水清洗槽14、第二纯水清洗槽15、超纯水清洗槽16、静置等待槽17、喷淋槽18,所述的喷淋槽18上端设有可以与其配合的喷淋装置19,所述的第一超声波清洗槽12、第二超声波清洗槽13底部均匀设有若干超声波发生器121,所述的喷淋装置19包括喷淋器191、升降气缸192,所述的升降气缸192竖直朝下设于喷淋槽18上端,所述的升降气缸192上端与清洗机罩3固定连接,所述的升降气缸192气缸臂下端横向设有喷淋器191,所述的清洗吊篮搬运装置8包括横移电缸81、若干升降电缸82、升降板83、若干吊钩84、吊钩支撑架85、机罩延伸侧板86,所述的清洗机架1上端竖直设有机罩延伸侧板86、横移导轨87,所述的机罩延伸侧板86与清洗机罩3一侧侧壁固定连接,所述的清洗机罩3侧壁与机罩延伸侧板86上横向设有横移电缸81,所述的横移电缸81下侧设有可以与其配合的横移导轨87,所述的横移电缸81与横移导轨87之间竖直设有若干升降电缸82,所述的升降电缸82电缸滑块上竖直设有升降板83,所述的升降板83上设有若干吊钩支撑架85,所述的吊钩支撑架85上竖直朝下设有若干可以与清洗吊篮7配合的吊钩84。

本发明工作过程:

本发明一种多晶硅用自动清洗装置在工作过程中,将需要清洗的多晶硅置于清洗吊篮7内,将清洗吊篮7置于上料平台11上,清洗吊篮搬运装置8控制吊钩84将清洗吊篮7吊起,清洗吊篮搬运装置8将清洗吊篮7依次浸入第一超声波清洗槽12、第二超声波清洗槽13、第一纯水清洗槽14、第二纯水清洗槽15、超纯水清洗槽16、静置等待槽17、喷淋槽18进行多次清洗,然后清洗吊篮搬运装置8将清洗吊篮7搬运至传送带5上端,传送带5将清洗吊篮输送至烘干机罩4内,烘干风机9产生热风进行烘干。

上述实施例是对本发明的说明,不是对本发明的限定,任何对本发明简单变换后的方案均属于本发明的保护范围。

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