一种碳氢清洗干燥设备的制作方法

一种碳氢清洗干燥设备
[技术领域]
[0001]
本实用新型涉及零件清洗设备，尤其涉及一种碳氢清洗干燥设备。
[

背景技术：
]
[0002]
近年来，随着国家对环境保护的重视，相关环保法规的不断完善，碳氢清洗液因其良好的环保特性和清洗能力，逐步成为一类重要的工业清洗液。碳氢清洗液对工件进行清洗后，工件上会残留的少许清洗液，需要对在工件上残留的清洗液进行洗净和干燥。
[0003]
申请号为cn201911371203.0的发明公开了一种多槽式合金冲压件真空碳氢清洗干燥机，机柜外侧装有排气风机、电器控制柜、机柜冷却空调和冷水机组，且在正反面均设有观察窗；机柜内部两端分别设有进料台和出料台，在进料台和出料台之间依次装有超声清洗组件和真空干燥组件；在进料台、超声清洗组件、真空干燥组件和出料台的上方设有搬运组件；搬运组件上方装有补液箱、真空泵组、蒸汽反应釜和蒸馏回收组件；超声清洗组件和补液箱用管道循环连接；真空干燥组件、蒸馏回收组件和补液箱管道连接；真空泵组分别与超声清洗组件和蒸馏回收组件的抽气端口连接。
[0004]
该发明的真空碳氢清洗干燥机洗净干燥的效果差，真空干燥的过程耗时长，清洗干燥的效率较低。
[

技术实现要素：
]
[0005]
本实用新型要解决的技术问题是提供一种洗净干燥效果好，效率高的碳氢清洗干燥设备。
[0006]
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种碳氢清洗干燥设备，包括清洗系统、洗净干燥系统和控制电路，清洗系统包括真空超声波清洗装置、清洗液回收装置和碳氢清洗液存储箱，真空超声波清洗装置包括复数个清洗单元，清洗单元包括清洗槽和循环过滤组件，循环过滤组件包括串接的循环泵和过滤器；洗净干燥系统包括洗净干燥槽和清洗液回收装置，洗净干燥槽包括冷凝干燥槽、两个氟化液洗净槽、氟化液储液箱和所述的循环过滤组件，第一氟化液洗净槽为超声波洗净槽，第二氟化液洗净槽为浴洗槽；氟化液洗净槽布置在冷凝干燥槽的下方，氟化液洗净槽的顶部与冷凝干燥槽的底板连接，氟化液洗净槽的上端敞口，与冷凝干燥槽连通，冷凝干燥槽中装有盘管冷凝器，顶部装有顶盖。
[0007]
以上所述的洗净干燥设备，洗净干燥槽循环过滤组件的入口通过第一气动阀接第一氟化液洗净槽的氟化液出口，并通过第十气动阀接氟化液储液箱的氟化液出口；洗净干燥槽循环过滤组件的出口通过第二气动阀接第一氟化液洗净槽氟化液的第一入口，并通过第三气动阀接第二氟化液洗净槽氟化液的第一入口；第一氟化液洗净槽的氟化液污液排出口接洗净干燥系统清洗液回收装置的污液入口；清洗单元循环过滤组件的入口接本清洗单元清洗槽的清洗液出口，清洗单元循环过滤组件的出口接本清洗单元清洗槽的第一清洗液入口气动阀，并接上一个清洗槽的第二清洗液入口气动阀；第一清洗单元的清洗槽下部的
污液排出口接清洗系统清洗液回收装置的污液入口，最后一个清洗单元循环过滤组件的入口接本清洗单元清洗槽清洗液的出口气动阀，并通过第五气动阀接碳氢清洗液存储箱；洗系统清洗液回收装置回收液的出口接碳氢清洗液存储箱。
[0008]
以上所述的洗净干燥设备，清洗单元包括用于调节清洗液温度的第一换热器，第一换热器接在循环过滤组件的出口与所述的本清洗单元清洗槽的第一清洗液入口气动阀之间；第一换热器包括串接的冷却器和加热器，冷却器与冷水机组连接；洗净干燥槽包括水份分离器和用于降低氟化液温度的第二换热器，盘管冷凝器的冷凝盘管靠近冷凝干燥槽的内侧壁盘绕；冷凝干燥槽的底板靠近冷凝干燥槽的内侧包括一圈环形的集液槽，集液槽底部的出口通过第六气动阀接水份分离器的入口，水份分离器氟化液的出口通过第七气动阀接第二氟化液洗净槽氟化液的第二入口，并通过第九气动阀接第一氟化液洗净槽氟化液的第二入口；第二换热器接在循环过滤组件的出口与第二气动阀之间。
[0009]
以上所述的洗净干燥设备，真空超声波清洗装置的清洗槽包括槽体、顶盖、超声波振板、放置工件的托架、液位感应开关、真空度传感器和温度传感器，清洗槽液位感应开关的信号输出端、温度传感器的信号输出端和真空度传感器的信号输出端分别接控制电路；第一氟化液洗净槽包括超声波振子盒和第一加热装置，超声波振子盒安装在第一氟化液洗净槽的下部；第一加热装置安装在第一氟化液洗净槽中；第二氟化液洗净槽包括第二加热装置，第二加热装置安装在第二氟化液洗净槽中；第二氟化液洗净槽的顶部与第一氟化液洗净槽的顶部连通，连通部位为第二氟化液洗净槽的溢流通道；冷凝盘管包括水冷冷凝盘管和深冷冷凝器盘管；深冷冷凝器盘管布置在水冷冷凝盘管的上方，深冷冷凝器盘管与制冷机组连接，水冷冷凝盘管与冷水机组连接。
[0010]
以上所述的洗净干燥设备，清洗液回收装置包括蒸馏装置和冷凝回收装置。蒸馏装置包括蒸馏釜和残液冷却器，蒸馏釜底部的残液出口接残液冷却器；冷凝回收装置包括冷凝器、气液分离箱、第二循环泵和水力喷射器，冷凝器的入口接蒸馏釜的蒸汽出口，第二循环泵的入口接气液分离箱下部的出口，第二循环泵的出口接水力喷射器的工作流体入口；冷凝器的出口接水力喷射器的引射流体入口，水力喷射器的出口接气液分离箱上部的入口；冷凝器中的冷凝管接冷水机组。
[0011]
以上所述的洗净干燥设备，清洗系统的蒸馏釜包括第二换热器，清洗系统蒸馏釜上部的蒸汽出口经第二换热器接清洗系统的冷凝器，清洗系统第一清洗单元清洗槽的下部的污液排出口经第二换热器接蒸馏釜下部的污液入口；清洗系统的冷凝回收装置包括真空泵，清洗槽包括破真空气动阀和抽真空气动阀，破真空气动阀和抽真空气动阀分别与清洗槽的上部的蒸汽出口连通；真空泵的入口接清洗槽上部的抽真空气动阀，出口接气液分离箱，清洗系统气液分离箱的出口接碳氢清洗液存储箱；洗净干燥系统蒸馏釜的入口接第一氟化液洗净槽的氟化液污液出口，洗净干燥系统残液冷却器的出口接碳氢清洗液储液箱。洗净干燥系统气液分离箱的出口接氟化液洗净槽的氟化液入口。
[0012]
以上所述的洗净干燥设备，蒸馏装置包括热油泵、热油加热装置和热油箱，蒸馏釜的下部装有加热管，热油泵的入口接热油箱，出口接热油加热装置的入口，热油加热装置的出口接加热管的入口，加热管的出口接热油箱。
[0013]
本实用新型洗净干燥设备洗净干燥系统将清洗系统清洗过程中残留在工件上的碳氢清洗液溶于氟化液洗净槽的氟化液溶剂中，工件上的氟化液溶剂再在冷凝干燥槽中快
速干燥，工件表面无残留物，洗净干燥的效果好，效率高。
[附图说明]
[0014]
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
[0015]
图1是本实用新型实施例碳氢清洗干燥设备的结构示意图。
[0016]
图2是本实用新型实施例真空超声波清洗系统的结构示意图。
[0017]
图3是本实用新型实施例真空超声波清洗装置的结构示意图。
[0018]
图4是本实用新型实施例3第一清洗液回收装置的结构示意图。
[0019]
图5是本实用新型实施例洗净干燥系统的结构原理图。
[0020]
图6是本实用新型实施例洗净干燥槽的结构示意图。
[0021]
图7是本实用新型实施例第二清洗液回收装置的结构示意图。
[具体实施方式]
[0022]
本实用新型实施例碳氢清洗干燥设备的结构如图1至图7所示；
[0023]
包括真空超声波清洗系统和洗净干燥系统。
[0024]
本实用新型实施例真空超声波清洗系统的结构如图2至图4所示，包括真空超声波清洗装置和由蒸馏装置、冷凝回收装置组成的清洗液回收系统(装置)。本实施例的碳氢清洗液采用烷烃溶剂。
[0025]
如图2和图3所示，本实用新型实施例真空超声波清洗装置包括三个清洗单元、烷烃清洗液存储箱601、真空泵503、冷水机组403和控制电路。每个清洗单元包括真空超声波清洗槽、循环过滤组件和换热器，循环过滤组件包括串接的循环泵和过滤器。
[0026]
每个真空超声波清洗槽包括槽体、顶盖、超声波振板和放置工件的托架。
[0027]
换热器用于调节真空超声波清洗槽内清洗液的温度，换热器包括串接的冷却器和加热器，冷却器与冷水机组403连接，加热器可以采用油加热或电加热。
[0028]
第一循环过滤组件包括循环泵p11和与其串接的过滤器y11，循环泵p11 的入口接第一真空超声波清洗槽101下部的清洗液出口，过滤器y11的出口通过冷却器c11、加热器r11和气动阀a11接第一真空超声波清洗槽101的清洗液入口。
[0029]
第一清洗单元的真空超声波清洗槽101的下部有污液排出口，污液排出口通过气动阀a14外接清洗液回收系统的污液入口，将系统中脏污的清洗液排出并进行处理回收。
[0030]
第一真空超声波清洗槽101包括液位感应开关l11、真空度传感器g11和温度传感器t11，液位感应开关l11的信号输出端、温度传感器t11的信号输出端和真空度传感器g11的信号输出端分别接控制电路。
[0031]
第一清洗单元的真空超声波清洗槽101包括分别与槽体的上部连通的破真空气动阀a13和抽真空气动阀a12，破真空气动阀a13和抽真空气动阀a12 分别与槽体的上部连通。破真空气动阀a13的控制端和抽真空气动阀a12的控制端分别接控制电路。
[0032]
第二循环过滤组件包括循环泵p21和与其串接的过滤器y21，循环泵p21 的入口接第二真空超声波清洗槽102下部的清洗液出口，过滤器y21的出口通过冷却器c21、加热器r21和气动阀a22接第二真空超声波清洗槽102的清洗液入口。过滤器y21的出口还通过气动阀a21接上第一真空超声波清洗槽101 的清洗液入口。
[0033]
第二真空超声波清洗槽102包括液位感应开关l21、真空度传感器g21和温度传感器t21，液位感应开关l21的信号输出端、温度传感器t21的信号输出端和真空度传感器g21的信号输出端分别接控制电路。
[0034]
第二清洗单元的真空超声波清洗槽102包括分别与槽体的上部连通的破真空气动阀a24和抽真空气动阀a23，破真空气动阀a24和抽真空气动阀a23 分别与槽体的上部连通。破真空气动阀a24的控制端和抽真空气动阀a23的控制端分别接控制电路。
[0035]
第三循环过滤组件包括循环泵p31和与其串接的过滤器y31，循环泵p31 的入口通过气动阀a32接第三真空超声波清洗槽103下部的清洗液出口，过滤器y31的出口通过冷却器c31、加热器r31和气动阀a33接第三真空超声波清洗槽103的清洗液入口。过滤器y31的出口还通过气动阀a31接上第二真空超声波清洗槽102的清洗液入口。
[0036]
循环泵p31的入口还通过气动阀a36接烷烃清洗液存储箱601，用于向三个清洗单元补充新的、洁净的清洗液。烷烃清洗液存储箱601上装有液位感应开关l52。
[0037]
第三真空超声波清洗槽103包括液位感应开关l31、真空度传感器g31和温度传感器t31，液位感应开关l31的信号输出端、温度传感器t31的信号输出端和真空度传感器g31的信号输出端分别接控制电路。气动阀a21、a31、 a32和a36的通断由对应真空超声波清洗槽上的液位感应开关控制。
[0038]
第三清洗单元的真空超声波清洗槽103包括分别与槽体的上部连通的破真空气动阀a35和抽真空气动阀a34，破真空气动阀a35和抽真空气动阀a34 分别与槽体的上部连通。破真空气动阀a35的控制端和抽真空气动阀a34的控制端分别接控制电路。
[0039]
抽真空气动阀a12、抽真空气动阀a23和抽真空气动阀a34分别通过真空泵503接清洗液回收系统，用于清洗作业时对各槽体抽真空处理。
[0040]
本实用新型以上实施例工件(如pcba)依次进入第一、第二和第三真空超声波清洗槽，完成对工件的粗洗、精洗、精洗。循环过滤组件的入口接真空超声波清洗槽的清洗液出口，循环过滤组件的出口通过气动阀接本清洗单元真空超声波清洗槽的清洗液入口，可以完成本清洗单元真空超声波清洗槽清洗液的内循环。相邻的真空超声波清洗槽通过循环过滤组件串接，第一清洗单元的真空超声波清洗槽下部包括的污液排出口通过气动阀接烷烃清洗液回收系统的污液入口，第三清洗单元循环过滤组件的入口通过气动阀接烷烃清洗液存储箱，可以完成清洗液的外循环。三个真空超声波清洗槽中烷烃清洗液可以及时更新，工件清洗效果好，循环过滤组件中过滤器的负荷较轻。
[0041]
本实用新型实施例清洗液回收系统的结构如图2和图4所示，包括负压蒸馏装置和冷凝回收装置。
[0042]
冷凝回收装置包括冷凝器401、气液分离箱301、真空泵503、循环泵501、水力喷射器5011、冷水机组403。循环泵501的入口接气液分离箱301的下部，出口接水力喷射器5011的工作流体入口。冷凝器401的出口接水力喷射器5011 的引射流体入口，水力喷射器5011的出口接气液分离箱301上部的入口。冷凝器401中的冷凝管接冷水机组403。
[0043]
蒸馏装置包括蒸馏釜201、换热器607、热油泵605、热油加热装置606 和热油箱604。蒸馏釜201上部的蒸汽出口经换热器607接冷凝器401。碳氢清洗装置的清洗剂污液出口经换热器607加热后通过气动阀a14接蒸馏釜201 下部的污液入口。
[0044]
真空泵503的入口与第一真空超声波清洗槽101的抽真空气动阀a12、第二真空超
声波清洗槽102的抽真空气动阀a23、第三真空超声波清洗槽103的抽真空气动阀a34连接，真空泵503抽取三个真空超声波清洗槽工作时产生的烷烃溶剂的蒸汽，真空泵503的出口接气液分离箱301，可以将真空超声波清洗槽抽真空带过来的烷烃溶剂蒸汽进行回收。
[0045]
蒸馏釜201的下部装有加热盘管2013，热油泵605的入口接热油箱604，出口接热油加热装置606的入口，热油加热装置606的出口接加热盘管2013 的入口，加热管的入口接热油箱604。
[0046]
蒸馏釜201底部的废液出口经气动废液阀接废液冷却器2011，废液冷却器 2011的废液出口经电磁阀接废液槽2012。换热器607经第二气动阀接蒸馏釜 201下部的废液入口，气动废液阀的控制端、电磁阀的控制端和二气动阀的控制端分别接控制电路。
[0047]
烷烃清洗液存储箱601通过气动阀a35接碳氢清洗装置的清洗液入口，并通过气动阀a34气液分离箱301的出口，所有气动阀的控制端接控制电路。关闭气动阀a34，打开气动阀a35，烷烃清洗液存储箱601可以向碳氢清洗装置提供干净的碳氢清洗液。
[0048]
蒸馏釜201装有温度传感器t52和真空度传感器g52，温度传感器t52的信号输出端和真空度传感器g52的信号输出端分别接控制电路。
[0049]
第一真空超声波清洗槽101排出的清洗剂污液经换热器607进行预热后进入蒸馏釜201，进入蒸馏釜201的清洗剂污液经蒸馏釜201下部的加热盘管 2013热传递加热后，循环过滤泵501过水力喷射器5011和冷凝器401对蒸馏釜201内部抽真空。蒸馏釜201中烷烃溶剂形成的蒸汽经换热器607进行预冷后沿管路流经第一冷凝器401冷凝成气液混合物后经水力喷射器5011进入气液分离箱301，冷凝形成的洁净液体，再从气液分离箱301流入烷烃清洗液存储箱601,重复循环使用。蒸馏完成后，蒸馏釜201底部残留有油污和颗粒状污物可通过气动阀排入废液冷却器2011(经冷却盘管包裹)，经冷却后再对电磁控制阀排入废液槽2012，完成对烷烃清洗溶剂的一次净化处理。
[0050]
本实用新型以上实施例的真空超声波清洗装置采用清洗液内液循环和外循环两种方式，真空超声波清洗槽中的清洗液能够及时更新，产生的污液及时回收利用，工件清洗效果和整体经济效益好。
[0051]
本实用新型实施例的洗净干燥系统的结构如图1至图3所示，包括洗净干燥槽、清洗液回收装置和控制电路。
[0052]
本实用新型实施例洗净干燥槽的结构如图5和图6所示，包括槽体100、循环过滤组件1041、多个气动阀、水份分离器603、氟化液储液箱602和控制电路。
[0053]
槽体100包括冷凝干燥槽106和两个氟化液洗净槽，氟化液洗净槽104和 105布置在冷凝干燥槽106的下方，氟化液洗净槽104和105的顶部与冷凝干燥槽106的底板连接，氟化液洗净槽的上端敞口，与冷凝干燥槽106连通。冷凝干燥槽106中装有冷凝器，顶部装有顶盖1063。第二氟化液洗净槽105的顶部与第一氟化液洗净槽104的顶部之间有连通通道，连通通道1065为第二氟化液洗净槽的溢流通道。
[0054]
循环过滤组件1041包括串接的循环泵p41和过滤器y41。第一氟化液洗净槽104为超声波洗净槽，第二氟化液洗净槽105为浴洗槽。循环过滤组件1041 的入口通过气动阀a41接第一氟化液洗净槽104氟化液的出口，循环过滤组件 1041的出口通过气动阀a42接第一氟化液洗净槽104氟化液的第一入口，循环过滤组件1041的出口并通过气动阀a43接第二氟化液洗净槽105氟化液的第一入口。第一氟化液洗净槽104的下部有一个氟化液污液排出
口，氟化液污液排出口通过气动阀a44接蒸馏装置的污液入口。换热器c41接在循环过滤组件1041的出口与气动阀a42之间，用于降低进入第一氟化液洗净槽104氟化液的温度。
[0055]
冷凝器包括两组冷凝盘管，水冷冷凝盘管1061布置在冷凝干燥槽106的下部，深冷冷凝器盘管1062布置在冷凝干燥槽106的上部。冷凝盘管靠近冷凝干燥槽106的内侧壁盘绕，水冷冷凝盘管1061的进出口与水冷机组(水冷冷却系统)403连接，深冷冷凝盘管1062的进出口与制冷机组404连接。制冷机组 404(冷冻压缩机组)的温度最低设置为
‑
30℃。
[0056]
冷凝干燥槽106的底板靠近冷凝干燥槽106的内侧包括一圈环形的集液槽 1064，集液槽1064底部的出口通过气动阀a46接水份分离器603的入口，水份分离器603的氟化液出口通过气动阀a47接第二氟化液洗净槽105氟化液的第二入口，并通过气动阀a49接第一氟化液洗净槽104氟化液的第二入口。
[0057]
第一氟化液洗净槽104的装有超声波振板和加热装置1042，超声波振板安装在第一氟化液洗净槽104的侧壁上。加热装置1042安装在第一氟化液洗净槽 104中。第二氟化液洗净槽105包括加热装置1051，加热装置1051安装在第二氟化液洗净槽105下部。
[0058]
第一氟化液洗净槽104装有液位开关l41和温度传感器t41，第二氟化液洗净槽106装有液位开关l51和温度传感器t51，氟化液储液箱602装有液位开关l42。各液位开关的信号输出端、各温度传感器的信号输出端和各气动阀的控制端分别接控制电路。
[0059]
本实用新型实施例清洗干燥系统的清洗液回收装置的结构如图5和图7所示，包括负压蒸馏装置、冷凝回收装置和控制电路。
[0060]
蒸馏装置包括蒸馏釜202、热油泵605、热油加热装置606和热油箱604，蒸馏釜202的下部装有加热管2022，热油泵605的入口接热油箱604，出口接热油加热装置606的入口，热油加热装置606的出口接加热管2022的入口，加热管2022的出口接热油箱604，形成热油循环。蒸馏釜202的下部污液入口通过气动阀a44接碳氢清洗干燥设备第一洗净干燥槽的104氟化液(烷烃和氢氟醚的混合液)污液出口，蒸馏釜202上部的氟化液蒸汽出口接冷凝回收装置, 蒸馏釜202底部残留液体的出口通过气动阀a52接碳氢清洗液冷却箱2021，碳氢清洗液冷却箱2021的出口通过气动阀a51接碳氢清洗液储液箱601和/或通过气动阀a34接碳氢超声波清洗装置的进液口，供碳氢超声波清洗装置重复使用。
[0061]
碳氢清洗液冷却箱2021装有液位开关ll71,碳氢清洗液储液箱601装有液位开关l52。
[0062]
冷凝回收装置包括冷凝器402、气液分离箱302、循环泵502、水力喷射器 5021和冷水机组403。冷凝器402中的冷凝管和气液分离箱302中的冷凝管分别接冷水机组。冷凝器402的入口接蒸馏釜202上部的氟化液蒸汽出口，循环泵502的入口接气液分离箱302的下部，出口接水力喷射器5021的工作流体入口。冷凝器402的出口接水力喷射器5021的引射流体入口，水力喷射器5021 的出口接气液分离箱302上部的入口。
[0063]
气液分离箱302的下部的氟化液出口通过气动阀a45接第一洗净干燥槽 104的氟化液入口，向洗净干燥槽补充干净的氟化液。
[0064]
蒸馏釜202装有温度传感器t71和真空度传感器g71，温度传感器t71的信号输出端和真空度传感器g71的信号输出端分别接控制电路。
[0065]
各液位开关的信号输出端和各气动阀的控制端分别接控制电路，控制电路根据各液位开关的输出信号调节相应的气动阀。
[0066]
本实用新型实施例的清洗液回收装置工作时，碳氢清洗干燥设备的洗净干燥槽排出的清洗剂污液(烷烃和氢氟醚的混合液)进入蒸馏釜202，经蒸馏釜 202下部的加热盘管2022热传递加热，氢氟醚受热蒸发。
[0067]
循环过滤泵502过水力喷射器5021和冷凝器402对蒸馏釜202内部抽真空。氢氟醚溶剂形成的蒸汽从蒸馏釜202顶部排出，沿管路流经冷凝器402冷凝成气液混合物后经水力喷射器5021进入气液分离箱302，冷凝形成液体，再从气液分离箱302经气动阀a45流回碳氢清洗干燥设备的洗净干燥槽,重复循环使用。蒸馏釜201底部留下的烷烃溶剂经气动阀a52进入碳氢清洗液冷却箱 2021冷却后，经气动阀a51接碳氢清洗液储液箱601和/或碳氢超声波清洗装置的进液口，供碳氢超声波清洗装置重复使用。
[0068]
本实用新型实施例的洗净干燥槽用于碳氢清洗干燥设备的后部工序，工件(如pcba)经前部设备真空超声波清洗装置用碳氢清洗液(如烷烃清洗液) 粗洗和精洗后，转运至本实用新型实施例洗净干燥槽的第一氟化液洗净槽(超声波洗净槽)104时，槽体内超声波振板和加热装置1042，循环过滤组件1041 持续运行，工件表面余留的烷烃溶剂迅速溶于槽体内的氟化液(氢氟醚溶剂) 中，然后，工件再转运至第二氟化液洗净槽(浴洗槽)105中，工件浸于槽体内的氢氟醚溶剂中，此时，槽体内的加热装置1051持续运行进行升温，工件上微量的烷烃溶剂全部高温的氢氟醚溶剂中，工件上再无烷烃溶剂残留。再将工件提至氟化液洗净槽上方冷凝干燥槽106的中空区域，离开氟化液洗净槽的液面后，高温工件上的氢氟醚溶剂产生突沸，带有一定温度氢氟醚溶剂迅速挥发，完成干燥作业。挥发后的氢氟醚蒸汽靠近水冷冷凝盘管1061和深冷冷凝盘管 1062时，或与两组冷凝盘管接触时，迅速凝结成液体，冷凝的氢氟醚液体流入到集液槽1064中。
[0069]
开启气动阀a46，集液槽1064中从冷凝盘管上凝结的水分与氢氟醚液体进入到水份分离器603内，经水份分离器603分离后，凝结的水分排出，氢氟醚液体经气控阀a47/a49开启又进入第一氟化液洗净槽104/第二氟化液洗净槽 105，循环使用。
[0070]
在此期间第一氟化液洗净槽104内含有烷烃溶剂的氢氟醚溶剂通过开启的气动阀a44进入蒸馏装置的污液入口，对烷烃和氢氟醚的混合溶剂进行分离。为保证槽体内液位的动态平衡，循环过滤组件1041通过气动阀a41和a42与第一氟化液洗净槽104接通，通过气动阀a43与第二氟化液洗净槽105接通，通过气动阀a0与氟化液(氢氟醚溶剂)储液槽602接通。循环过滤组件 1041通过气动阀a41和a42与第一氟化液洗净槽104接通时，可以过滤第一氟化液洗净槽104中的氟化液，并调节其温度；气动阀a41和a43开通时，循环过滤组件1041从第一氟化液洗净槽104抽取氟化液(氢氟醚溶剂)，经过滤后输送到第二氟化液洗净槽105，第二氟化液洗净槽105中的氟化液会不断从溢流通道1065溢出流入第一氟化液洗净槽104，实现槽体间溶剂的循环。另外，各液位开关li通过控制电路综合控制各气动阀的通断，以实现洗净干燥槽内溶剂的不断分离与动态循环。
[0071]
本实用新型以上实施例洗净干燥系统的洗净干燥槽通过超声波振动和加热将前部设备清洗过程中残留在工件上的烷烃清洗液溶于两个氟化液洗净槽的氢氟醚溶剂中，工件上的氢氟醚溶剂再在冷凝干燥槽中快速干燥，工件表面无任何残留物，洗净干燥的效果好，效率高。
[0072]
本实用新型以上实施例洗净干燥系统的清洗液回收装置能够对含有碳氢溶剂的氟化液污液进行处理和回收，回收的碳氢溶剂的氟化液都能重复使用，经济效益好。