一种晶圆电性测试墨点清除器的制作方法

本实用新型涉及半导体设备测试领域，具体为一种晶圆电性测试墨点清除器。

背景技术：

在整个半导体产业链中，晶圆电性测试是一个必不可少的重要组成部分。通常在晶圆测试完毕之后，为了避免下一个封装环节出现错封误封的现象，行业内普遍的做法是在晶圆上用特殊的墨水将电性测试不正常的晶粒打上墨点标识出来，这种技术被称作“ink”。

在实际生产过程中，由于各种或人为、或机器、或资料的错误，导致当前的整个一片晶圆的墨点不是完全正确的打在电性测试不正常的晶粒上，而是一部分打在原本电性测试正常的晶粒上，这种情况下，就必须对错打的墨点进行清洗。

由于“ink”技术经过多年的发展，已经解决了之前墨点打在晶圆上会脱落、会模糊、会污染其它晶粒等技术问题，但同样的，当出现错打的墨点时，相应的清洗难度也会增加，目前行业内针对错打的墨点的清洗方法十分复杂，步骤繁多，需要经过特殊溶剂浸泡、无尘棉签擦拭、酒精浸泡、无尘布签擦拭、纯水冲洗、风干等多个步骤，但清洗的范围较难控制，容易造成当前晶粒被破坏甚至波及周边晶粒。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种通过离心同步喷液结构使转动喷头的同时喷液从而使得溶液喷洒过程自动化程度提高，喷洒的范围更加均匀的晶圆电性测试墨点清除器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆电性测试墨点清除器，包含安装组件、限位筒及吸收组件，所述安装组件中固定安装有限位筒，所述安装组件的一侧固定安装有吸收组件，且吸收组件的输入端与限位筒筒壁穿插，所述安装组件中固定安装有具有离心同步喷液结构的清洗组件，使用时将限位筒对准晶圆上的墨点即可。

优选的，所述安装组件包括基座、叠板、第一安装架、第二安装架及延展板，所述叠板的四角处均固定安装有基座，且叠板的上表面固定安装有第一安装架，所述第一安装架上表面的一侧固定安装有第二安装架，且第二安装架远离第一安装架的一端与清洗组件固定连接，所述基座靠近第二安装架的一侧固定安装有延展板，且延展板的上表面与吸收组件固定连接，为装置的各组件提供合理安装位置，保证各组件间可以形成高效地配合。

优选的，所述清洗组件包括转动组件、传动组件及喷射组件，所述第二安装架上固定安装有转动组件，所述转动组件的输出端一侧设有喷射组件，且转动组件的输出端与喷射组件间设有传动组件，利用转动组件驱动传动组件，再利用传动组件实现喷射组件的转动与其内部挤压作用的同步。

优选的，所述转动组件包括马达、第一转轴、转接套、转杆、卡头及环轨，所述第二安装架上固定安装有马达，且马达的输出端上固定安装有第一转轴，所述第一转轴远离马达的一侧套接有转接套，所述转接套的一侧固定连接有转杆，且转杆远离转接套的一端固定安装有卡头，所述第一安装架的上表面内固定安装有环轨，所述环轨内侧与卡头滑动卡接，开启马达使第一转轴转动，第一转轴通过转接套的连接过渡使转杆转动，转杆又驱使卡头围绕着环轨转动。

优选的，所述传动组件包括滑轨、滑块、弹簧、顶杆、第二转轴、轴盒、卷弹簧及阻流板，所述第一转轴靠近转接套的一端固定安装有滑轨，且滑轨中滑动连接有滑块，所述滑块与滑轨靠近第一转轴的一侧固定安装有弹簧，所述滑块远离弹簧的一侧固定安装有顶杆，所述喷射组件内转动连接有第二转轴，且喷射组件内第二转轴的外侧固定安装有轴盒，所述轴盒内壁与第二转轴之间固定安装有卷弹簧，且轴盒的外壁上对称地固定安装有阻流板，所述阻流板与顶杆弹性接触，在上一步中第一转轴转动也会驱使滑轨转动，由于转动所产生的离心作用，滑块会相对滑轨向外侧滑动，从而使顶杆推顶阻流板以第二转轴为轴转动，解除阻流板对喷射组件中清洗溶液的阻断作用，这一过程与喷射组件的转动同步，另外，当第一转轴停止转动时，弹簧会收缩使顶杆回到初始位置，顶杆也就不再对阻流板形成挤压推顶，在卷弹簧提供的回复作用下，固定在轴盒两侧阻流板翻转至初始位置，实现对喷射组件中清洗溶液的封堵。

优选的，所述喷射组件包括开关筒、导孔、弹性膜、喷嘴及输液筒，所述卡头的下表面上固定安装有开关筒，且开关筒靠近顶杆的一侧开设有导孔，所述导孔上封装连接有弹性膜，所述开关筒的下表面上固定安装有喷嘴，且喷嘴的输出端与限位筒的底部边沿对齐，所述输液筒穿插在卡头中，且输液筒与开关筒相连通，首先在装置未开始工作时向输液筒中加入适量清洗溶液，当上一步中阻流板被翻转后，开关筒的内壁不再封堵，清洗溶液在自身重力的作用下，由喷嘴导出，而此时的喷射组件处在旋转状态中，因此由喷嘴导出的清洗溶液同时受到转动的径向力作用，流速较快。

优选的，所述喷嘴与限位筒的底部边沿间的夹角为15度，小幅度的偏角不会产生较多的溅射，避免对清洗溶液的浪费。

优选的，所述吸收组件包括真空泵机、集液罐、法兰管及吸管，所述延展板的上表面固定安装有真空泵机，且真空泵机的两侧等距地安装有集液罐，所述真空泵机上集液罐的垂直侧固定安装有法兰管，且法兰管远离真空泵机的一端固定安装有吸管，所述吸管与限位筒的一侧穿插，在前面清洗组件将清洗溶液喷入限位筒后，经过短时间的静至溶解，利用真空泵机将溶液吸取至集液罐中，最后集中处理即可。

优选的，所述真空泵机内部管道的输出端上开设有螺纹，且集液罐的罐口与真空泵机的管道啮合，转动开合的方式使得对废液的集中处理更加高效。

优选的，所述叠板与限位筒的连接处固定安装有橡胶垫，提高限位筒的稳定性，避免转动产生的振动刮伤晶圆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型针对现有的晶圆电性测试后墨点的清洗中产生的弊端，提出一种新型的清洗方式加以改进，考虑到墨点圆形的实际造型，将墨点在限位筒中进行清除，在清洗组件中，利用离心力和转动结构实现了溶液喷射部位的开启与其自身的转动同步，这样就可以使得清洗溶液的喷射范围、以及喷射的均匀程度得到有效的控制，实现点对点式的准确清洗，避免了当前晶粒被破坏甚至波及周边晶粒的现象的产生。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型安装组件结构示意图；

图3为本实用新型清洗组件结构示意图；

图4为本实用新型转动组件结构示意图；

图5为本实用新型传动组件第一结构示意图；

图6为本实用新型传动组件第二结构示意图；

图7为本实用新型吸收组件结构示意图。

图中：1、安装组件；11、基座；12、叠板；13、第一安装架；14、第二安装架；15、延展板；2、限位筒；3、清洗组件；31、转动组件；311、马达；312、第一转轴；313、转接套；314、转杆；315、卡头；316、环轨；32、传动组件；321、滑轨；322、滑块；323、弹簧；324、顶杆；325、第二转轴；326、轴盒；327、卷弹簧；328、阻流板；33、喷射组件；331、开关筒；332、弹性膜；333、喷嘴；334、输液筒；4、吸收组件；41、真空泵机；42、集液罐；43、法兰管；44、吸管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图示中的一种晶圆电性测试墨点清除器，包含安装组件1、限位筒2及吸收组件4，所述安装组件1中固定安装有限位筒2，所述安装组件1的一侧固定安装有吸收组件4，且吸收组件4的输入端与限位筒2筒壁穿插，所述安装组件1中固定安装有具有离心同步喷液结构的清洗组件3，使用时将限位筒2对准晶圆上的墨点即可。

请参阅图2，所述安装组件1包括基座11、叠板12、第一安装架13、第二安装架14及延展板15，所述叠板12的四角处均固定安装有基座11，且叠板12的上表面固定安装有第一安装架13，所述第一安装架13上表面的一侧固定安装有第二安装架14，且第二安装架14远离第一安装架13的一端与清洗组件3固定连接，所述基座11靠近第二安装架14的一侧固定安装有延展板15，且延展板15的上表面与吸收组件4固定连接，为装置的各组件提供合理安装位置，保证各组件间可以形成高效地配合。

请参阅图3，所述清洗组件3包括转动组件31、传动组件32及喷射组件33，所述第二安装架14上固定安装有转动组件31，所述转动组件31的输出端一侧设有喷射组件33，且转动组件31的输出端与喷射组件33间设有传动组件32，利用转动组件31驱动传动组件32，再利用传动组件32实现喷射组件33的转动与其内部挤压作用的同步。

请参阅图4，所述转动组件31包括马达311、第一转轴312、转接套313、转杆314、卡头315及环轨316，所述第二安装架14上固定安装有马达311，且马达311的输出端上固定安装有第一转轴312，所述第一转轴312远离马达311的一侧套接有转接套313，所述转接套313的一侧固定连接有转杆314，且转杆314远离转接套313的一端固定安装有卡头315，所述第一安装架13的上表面内固定安装有环轨316，所述环轨316内侧与卡头315滑动卡接，开启马达311使第一转轴312转动，第一转轴312通过转接套313的连接过渡使转杆314转动，转杆314又驱使卡头315围绕着环轨316转动。

请参阅图5和图6，所述传动组件32包括滑轨321、滑块322、弹簧323、顶杆324、第二转轴325、轴盒326、卷弹簧327及阻流板328，所述第一转轴312靠近转接套313的一端固定安装有滑轨321，且滑轨321中滑动连接有滑块322，所述滑块322与滑轨321靠近第一转轴312的一侧固定安装有弹簧323，所述滑块322远离弹簧323的一侧固定安装有顶杆324，所述喷射组件33内转动连接有第二转轴325，且喷射组件33内第二转轴325的外侧固定安装有轴盒326，所述轴盒326内壁与第二转轴325之间固定安装有卷弹簧327，且轴盒326的外壁上对称地固定安装有阻流板328，阻流板328与开关筒331的斜向截面形状一致，阻流板328周边为柔性胶体材质以与开关筒331内壁接触形成密封，所述阻流板328与顶杆324弹性接触，在上一步中第一转轴312转动也会驱使滑轨321转动，由于转动所产生的离心作用，滑块322会相对滑轨321向外侧滑动，从而使顶杆324推顶阻流板328以第二转轴325为轴转动，解除阻流板328对喷射组件33中清洗溶液的阻断作用，这一过程与喷射组件33的转动同步，另外，当第一转轴312停止转动时，弹簧323会收缩使顶杆324回到初始位置，顶杆324也就不再对阻流板328形成挤压推顶，在卷弹簧327提供的回复作用下，固定在轴盒326两侧阻流板328翻转至初始位置，实现对喷射组件33中清洗溶液的封堵。

其中，容易想到的是，第二转轴325、轴盒326、卷弹簧327及阻流板328的开关结构，还可以应该按压式水龙头的结构进行替代，使得顶杆324对按压式水龙头的按压部进行按压即可控制开闭，此处不进行赘述。

请参阅图5和图6，所述喷射组件33包括开关筒331、导孔、弹性膜332、喷嘴333及输液筒334，所述卡头315的下表面上固定安装有开关筒331，且开关筒331靠近顶杆324的一侧开设有导孔，导孔上封装有弹性膜332，弹性膜332可采用但不限于绳子绑紧封装在导孔周边的凸缘上，或在导孔周边的凸缘上外侧面设置螺纹，然后通过中空螺母将弹性膜332封装连接在导孔周边的凸缘上。

所述开关筒331的下表面上固定安装有喷嘴333，且喷嘴333的输出端与限位筒2的底部边沿对齐，所述输液筒334穿插在卡头315中，且输液筒334与开关筒331相连通，首先在装置未开始工作时向输液筒334中加入适量清洗溶液，当上一步中阻流板328被翻转后，开关筒331的内壁不再封堵，清洗溶液在自身重力的作用下，由喷嘴333导出，而此时的喷射组件33处在旋转状态中，因此由喷嘴333导出的清洗溶液同时受到转动的径向力作用，流速较快。

请参阅图1，所述喷嘴333与限位筒2的底部边沿间的夹角为15度，小幅度的偏角不会产生较多的溅射，避免对清洗溶液的浪费。

请参阅图7，所述吸收组件4包括真空泵机41、集液罐42、法兰管43及吸管44，所述延展板15的上表面固定安装有真空泵机41，且真空泵机41的两侧等距地安装有集液罐42，所述真空泵机41上集液罐42的垂直侧固定安装有法兰管43，且法兰管43远离真空泵机41的一端固定安装有吸管44，所述吸管44与限位筒2的一侧穿插，在前面清洗组件3将清洗溶液喷入限位筒2后，经过短时间的静至溶解，利用真空泵机41将溶液吸取至集液罐42中，最后集中处理即可。

请参阅图7，所述真空泵机41内部管道的输出端上开设有螺纹，且集液罐42的罐口与真空泵机41的管道啮合，转动开合的方式使得对废液的集中处理更加高效。

请参阅图1，所述叠板12与限位筒2的连接处固定安装有橡胶垫，提高限位筒2的稳定性，避免转动产生的振动刮伤晶圆。

本方案中，一种晶圆电性测试墨点清除器的使用原理如下；首先将限位筒2对准晶圆上的墨点，利用转动组件31驱动传动组件32，再利用传动组件32实现喷射组件33的转动与其内部挤压作用的同步，具体来说，首先开启马达311使第一转轴312转动，第一转轴312通过转接套313的连接过渡使转杆314转动，转杆314又驱使卡头315围绕着环轨316转动，其次第一转轴312转动也会驱使滑轨321转动，由于转动所产生的离心作用，滑块322会相对滑轨321向外侧滑动，从而使顶杆324挤压弹性膜332变形，并进一步的推顶阻流板328以第二转轴325为轴转动，解除阻流板328对喷射组件33中清洗溶液的阻断作用，这一过程与喷射组件33的转动同步，另外，当第一转轴312停止转动时，弹簧323会收缩使顶杆324回到初始位置，顶杆324也就不再对阻流板328形成挤压推顶，在卷弹簧327提供的回复作用下，固定在轴盒326两侧阻流板328翻转至初始位置，实现对喷射组件33中清洗溶液的封堵，在装置未开始工作时向输液筒334中加入适量清洗溶液，当上一步中阻流板328被翻转后，开关筒331的内壁不再封堵，清洗溶液在自身重力的作用下，由喷嘴333导出，而此时的喷射组件33处在旋转状态中，因此由喷嘴333导出的清洗溶液同时受到转动的径向力作用，流速较快，在前面清洗组件3将清洗溶液喷入限位筒2后，经过短时间的静至溶解，利用真空泵机41将溶液吸取至集液罐42中，最后集中处理即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包含”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包含一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包含那些要素，而且还包含没有明确列出的其他要素，或者是还包含为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。