一种退火炉内部的清洗结构的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉清理技术领域，具体为一种退火炉内部的清洗结构。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.但是，现有的退火炉在清理时，是使用钢丝穿过退火管，与钢丝球连接起来，然后再通过钢丝轮把钢丝拉出，让钢丝球来完成对退火管内部的清洗，这过程复杂，并且还清理的不是很彻底干净，会有污渍的残留；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种退火炉内部的清洗结构。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种退火炉内部的清洗结构，以解决上述背景技术中提出的退火炉在清理时，是使用钢丝穿过退火管，与钢丝球连接起来，然后再通过钢丝轮把钢丝拉出，让钢丝球来完成对退火管内部的清洗，这过程复杂，并且还清理的不是很彻底干净，会有污渍的残留的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉内部的清洗结构，包括退火炉箱，所述退火炉箱的一侧设置有第一冷却水箱，且退火炉箱的另一侧设置有第二冷却水箱，所述退火炉箱与第二冷却水箱和第一冷却水箱焊接连接，所述第二冷却水箱和第一冷却水箱的顶部均设置有水箱盖，且水箱盖与第一冷却水箱和第二冷却水箱通过转轴转动连接，所述退火炉箱的内部设置有退火管，且退火管有多个，所述退火管依次穿过第一冷却水箱、退火炉箱和第二冷却水箱，所述退火管的内部设置有旋转杆，所述旋转杆的一侧设置有旋转页板，且旋转杆与旋转页板固定连接。
6.优选的，所述水箱盖的底部均设置有隔板，且隔板有多个，多个所述隔板之间设置有连通管。
7.优选的，所述退火管的两端均设置有退火管套，且退火管与退火管套通过卡槽连接。
8.优选的，所述退火炉箱的底部设置有底座，所述底座的底部设置有底座支架，且底座与底座支架焊接连接。
9.优选的，所述旋转杆的一端设置有第一固定板，且旋转杆的另一端设置有电机，所述电机的一侧设置有第二固定板。
10.优选的，所述电机与第二固定板焊接连接，所述旋转杆与第一固定板通过卡槽转动连接，所述电机与旋转杆通过转轴转动连接。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型通过在退火炉箱内部退火管里设计清洗结构，可以自动清洗退火管里的污垢，减轻了工人的工作强度，可以实时保持退火管里的清洁，并且使用过的退火管温度很高，自动清理是，工人不用直接接触退火管，保证了工人的安全性；
13.2、本实用新型通过在退火管内部旋转杆进行转动，可以让旋转杆一侧的旋转页板对退火管内壁的每个部分进行摩擦，让退火管内壁上的污垢都能被清理干净，并且也减少清理工具的耗费，更加的节能环保；
14.3、本实用新型通过在退火管的两端设计可拆卸的退火管套，可让退火管内壁清理下来的污垢可以排出来，退火管里面污垢都被摩擦掉后，只需要把退火管套拆卸，并在其中倒入清理水，让污垢流出来就可以了，工人操作起来简单。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体主视图；
16.图2为本实用新型的退火管结构示意图；
17.图3为本实用新型的a处放大图。
18.图中：1、退火炉箱；2、第一冷却水箱；3、水箱盖；4、底座支架；5、连通管；6、隔板；7、退火管；8、退火管套；9、旋转页板；10、旋转杆；11、第一固定板；12、第二固定板；13、电机；14、第二冷却水箱；15、底座。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.请参阅图1
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3，本实用新型提供的一种实施例：一种退火炉内部的清洗结构，包括退火炉箱1，退火炉箱1的一侧设置有第一冷却水箱2，且退火炉箱1的另一侧设置有第二冷却水箱14，在使用中铜线从第一冷却水箱2进入退火炉箱1再到第二冷却水箱14，在这过程会完成铜线的退火，提高铜线延展性，退火炉箱1与第二冷却水箱14和第一冷却水箱2焊接连接，让装置结构更加的稳定，在使用过程中不会散架，第二冷却水箱14和第一冷却水箱2的顶部均设置有水箱盖3，且水箱盖3与第一冷却水箱2和第二冷却水箱14通过转轴转动连接，在铜丝进行退火的过程中，可以打开水箱盖3对铜丝的状态进行检查调整，并且结构简单，便于工人进行操作，退火炉箱1的内部设置有退火管7，且退火管7有多个，可以同时对多根铜丝进行进行退火，提高装置的工作效率，退火管7依次穿过第一冷却水箱2、退火炉箱1和第二冷却水箱14，退火炉箱1加热退火管7，铜丝侧在退火管7内部，铜丝可以受热更加的均匀，退火管7的内部设置有旋转杆10，旋转杆10的一侧设置有旋转页板9，且旋转杆10与旋转页板9固定连接，旋转杆10转动带动旋转页板9转动，来对退火管7内壁的污垢进行清理，结构简单。
21.进一步，水箱盖3的底部均设置有隔板6，且隔板6有多个，多个隔板6之间设置有连通管5，隔板6之间可以区别放置液体，来让铜丝的退火出来的性能更加的好。
22.进一步，退火管7的两端均设置有退火管套8，且退火管7与退火管套8通过卡槽连接，可拆卸的退火管套8，可让退火管7内壁的污垢都被摩擦掉后，集中进行处理，只需要把
退火管套8拆卸，并在其中倒入清理水，让污垢流出来就可以了，工人操作起来简单。
23.进一步，退火炉箱1的底部设置有底座15，底座15的底部设置有底座支架4，且底座15与底座支架4焊接连接，让装置更加的牢固，并且高于地面一点的高度，可以散热，防止退火炉箱温度过高，引起起火。
24.进一步，旋转杆10的一端设置有第一固定板11，且旋转杆10的另一端设置有电机13，电机13的一侧设置有第二固定板12，电机13可以带动旋转杆10转动，从而来让旋转杆10一侧的旋转页板9对退火管7内壁的每个部分进行摩擦，让退火管7内壁上的污垢都能被清理干净，并且也减少清理工具的耗费，更加的节能环保。
25.进一步，电机13与第二固定板12焊接连接，旋转杆10与第一固定板11通过卡槽转动连接，电机13与旋转杆10通过转轴转动连接，让其可以在退火管7中平稳的转动，使清洗的更加干净。
26.工作原理：使用时，检查装置，如果退火管7长时间使用里面太脏，要对退火管7进行清理时，先要把退火管7一头的铜丝剪断，并从另一头把退火管7内部的铜丝给抽出来，然后启动退火管7里的电机13，让电机13带着旋转杆10转动，旋转杆10一侧的旋转页板9随着旋转杆10也转动起来，旋转页板9对退火管7内壁的每个部分进行摩擦，让退火管7内壁上的污垢都能被摩擦清理干净，然后取下退火管7两端的退火管套8，在退火管7一端倒入清理液，并在退火管7放置接污渍的盒子，让清理液在退火管7里流通，清理液会帯着退火管7里的污垢从另一端流出来到盒子里，这样就完成了退火管7的清洗，只需要把可以把装有污渍的盒子拿走，把拆卸的退火管套8装回退火管7两端，并让之前取出的铜线重新穿过退火管7，就可以继续对铜线进行退火。
27.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。