硅片切割液在线循环回收系统的制作方法

文档序号:28818075发布日期:2022-02-09 10:53阅读:486来源:国知局
硅片切割液在线循环回收系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种在线循环回收系统,尤其是涉及一种在硅片切割过程中对切割液废水进行循环回收利用的系统。


背景技术:

2.目前,光伏/半导体行业在对硅片进行切片操作时,会产生大量的切割液废水,直接排放不但会造成切削液的浪费(成本损失),而且还会造成环境污染,为此必须进行回收处理。常规的废砂浆回收系统只是简单压滤处理后对切削液进行收集回用,其不但回用质量堪忧,而且整个系统缺乏系统化的布置,效率低下。为此,亟需一种回收质量高且回收效率高的回收系统以解决上述问题。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种硅片切割液在线循环回收系统,其多级循环净化提高回收所用的切割液的质量且整个回收过程采用在线形式,极大的提高了回收效率。
4.本实用新型的目的是这样实现的:
5.一种硅片切割液在线循环回收系统,包含有废水收集池,所述废水收集池经泵连通至脏水箱,所述脏水箱经进料泵连通至压滤机,所述压滤机的出液口连通至电动三通阀二的进口,且压滤机的出液口与电动三通阀二的进口之间的管路上安装有浊度仪,上述电动三通阀二的一个出口连通至清液缓冲箱,另一出口连通至脏水箱,所述清液缓冲箱经离心泵和过滤膜组连通至清液存储箱。
6.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述清液存储箱的出液口经两台相互并联的离心泵对外供液,且清液存储箱的出液口与离心泵之间的管路上安装有cod检测仪器。
7.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述废水收集池经袋式过滤器后泵入脏水箱。
8.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述脏水箱、压滤机和清液缓冲箱分别并联设置有两台。
9.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述废水收集池上安装有两台砂浆泵(砂浆泵扬程和流量根据废水进行设计选型,一备一用且每台对应每个管道均可单独工作)将废水输送至脏水箱;同时,在砂浆泵前段安装虹吸桶和止回阀,防止砂浆泵空打,保护砂浆泵。
10.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,废水收集池旁设置有多条延伸至切片机的地沟,且地沟中部以及与废水收集池相连通的尾端均安装有过滤网,地沟由切片机向废水收集池斜向下倾斜设置。
11.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述废水收集池上安装有搅拌
器、液位计和ph计;
12.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述系统还包含有ph 调配系统,包含有酸液调和罐,所述酸液调和罐上安装有搅拌器,所述酸液调和罐上安装有回用水管,该回用水管连通至清液存储箱,所述酸液调和罐上插接有酸液连杆浮球液位计,且酸液调和罐经酸液计量泵连通至废水收集池。
13.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述系统还包含有压滤收集液箱,所述清液存储箱的出液口经两台相互并联的离心泵连通至压滤收集液箱,切割液原液桶经原液计量泵连通至压滤收集液箱,纯水箱经纯水计量表连通至压滤收集液箱。
14.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述切割液原液桶上插接有连杆浮球液位计;所述压滤收集液箱并联设置有两台。
15.本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统,所述脏水箱经电动三通阀一和进料泵连通至压滤机的进料口,且电动三通阀一与清液存储箱相连通;所述压滤机的进料口经清洗控制阀连通至脏水箱。
16.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
17.本实用新型通过脏水箱和压滤机中的循环压滤提高了回收的回用水的质量,且整个回收过程均是在线实现,通过各个部件的连接使得最终作为回用的回用水能够顺利调配后提供和切片机使用;同时,通过ph调配系统保证了废水收集池内的ph保持在酸性状态,这是由于切割废水一般呈弱酸性,如混入碱性废水(如切片机冲洗水、脱胶水等)则废水收集池中废水会呈碱性,当碱性废水进入压滤机中进行压榨时,会导致压滤机板框发热、着火等危险情况;因此本专利系统设计时在废水收集池中安装有实时检测的ph计,对废水收集池中的废水进行实时监控,当废水检测出呈碱性时,通过ph调配系统导入酸性溶液进行调配,从而保证其处于弱酸性状态,避免对压滤机的损伤。
附图说明
18.图1为本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统的系统框图。
19.图2为本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统中的切割液自动添加和纯水自动添加系统框图。
20.图3为本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统中的ph调配系统的框图。
21.其中:
22.废水收集池1、脏水箱2、压滤机3、清液缓冲箱4、清液存储箱5、过滤膜组6、清洗控制阀7;
23.电动三通阀一101、电动三通阀二102、电动三通阀三103、电动三通阀四104;
24.压滤收集液箱201、切割液原液桶202、纯水箱203、原液计量泵204、纯水计量表205、连杆浮球液位计206;
25.酸液调和罐301、酸液连杆浮球液位计302、回用水管303、酸液计量泵304。
具体实施方式
26.参见图1~3,本实用新型涉及的一种硅片切割液在线循环回收系统,包含有废水收集池1,所述废水收集池1经泵连通至脏水箱2,所述脏水箱 2经进料泵连通至压滤机3,所
述压滤机3的出液口连通至电动三通阀二 102的进口,且压滤机3的出液口与电动三通阀二102的进口之间的管路上安装有浊度仪,上述电动三通阀二102的一个出口连通至清液缓冲箱4,另一出口连通至脏水箱2,所述清液缓冲箱4经离心泵和过滤膜组6连通至清液存储箱5;
27.进一步的,所述清液存储箱5的出液口经两台相互并联的离心泵对外供液,且清液存储箱5的出液口与离心泵之间的管路上安装有cod检测仪器,实时检测清液存储箱5内回用水的cod浓度,便于客户添加切割液原液或纯水来保证切割用水品质;
28.进一步的,所述清液缓冲箱4经离心泵连通至压滤机3的进口;用于对清液缓冲箱4内的回用水进行二次压滤;
29.进一步的,所述清液缓冲箱4经离心泵和过滤膜组6连通至电动三通阀三103的进口,电动三通阀三103的的一个出口连通至清液存储箱5,另一出口连通至电动三通阀四104的进液口;所述电动三通阀四104的一个出液口连通至脏水箱2,另一出液口连通至污水处理站;
30.进一步的,所述废水收集池1经袋式过滤器后泵入脏水箱2;优选的,所述废水收集池1和脏水箱2之间的管路上并接有一安全支路,该安全支路经电动阀和提升泵连通至污水处理站,从而当本实用新型系统出现异常时,可有效避免切割废水一直在流入地池后导入废水收集池1外溢到底面上,此时通过该安全支路可方便的将切割废水导入污水处理站进行集中处理。
31.进一步的,所述脏水箱2、压滤机3和清液缓冲箱4分别并联设置有两台;
32.进一步的,所述脏水箱2上设置有液位仪,且液位仪与脏水箱2和压滤机3之间的进料泵互锁,从而保护压滤机的进料泵防止进料泵空转,且压滤机的进料泵为变频控制,采取恒压变频。
33.进一步的,所述废水收集池1上安装有两台砂浆泵(砂浆泵扬程和流量根据废水进行设计选型,一备一用且每台对应每个管道均可单独工作) 将废水输送至脏水箱2;同时,在砂浆泵前段安装虹吸桶和止回阀,防止砂浆泵空打,保护砂浆泵。
34.进一步的,废水收集池1旁设置有多条延伸至切片机的地沟,且地沟中部以及与废水收集池1相连通的尾端均安装有过滤网,地沟由切片机向废水收集池1斜向下倾斜设置;
35.进一步的,所述废水收集池1上安装有搅拌器、液位计和ph计;
36.优选的,所述系统还包含有ph调配系统,包含有酸液调和罐301,所述酸液调和罐301上安装有搅拌器,所述酸液调和罐301上安装有回用水管303,该回用水管303连通至清液存储箱5,所述酸液调和罐301上插接有酸液连杆浮球液位计302,且酸液调和罐301经酸液计量泵304连通至废水收集池1;
37.优选的,所述酸液调和罐301内的酸液由柠檬酸粉料和经由回用水管 303导入的清水或回用水调和成酸性溶液;
38.优选的,所述酸液调和罐301上安装有排放阀;
39.进一步的,所述系统还包含有压滤收集液箱201,所述清液存储箱5 的出液口经两台相互并联的离心泵连通至压滤收集液箱201,切割液原液桶202经原液计量泵204连通至压滤收集液箱201,纯水箱203经纯水计量表205连通至压滤收集液箱201;
40.进一步的,所述压滤收集液箱201的顶部插接有一溢流管道,该溢流管道的另一端
连通至排污地沟;
41.进一步的,所述切割液原液桶202上安装有排放阀;
42.优选的,所述切割液原液桶202上插接有连杆浮球液位计206;
43.优选的,所述压滤收集液箱201并联设置有两台。
44.进一步的,所述系统还具有清洗功能,如图1所述:
45.所述脏水箱2经电动三通阀一101和进料泵(其为由变频控制的螺杆泵)连通至压滤机3的进料口,且电动三通阀一101与清液存储箱5相连通;所述压滤机3的进料口经清洗控制阀7连通至脏水箱2;当需要清洗时,通过进料泵从清液存储箱5中抽取清液,随后经电动三通阀一101、进料泵、清洗控制阀7回流至脏水箱2,从而实现了对管路和进料泵的清洗;
46.另外:需要注意的是,上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案,本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进,均在本专利的保护范围之内。
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