一种实用高效抛光废液处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及抛光废液的处理技术领域，特别是涉及一种实用高效抛光废液处理装置。


背景技术：

2.芯片是全球竞相研发的顶级工业技术，抛光硅晶圆是第二步关键技术，但由此产生的抛光废液环保处理问题，是硅片抛光加工企业面临的紧迫的问题。现有的抛光废液处理装置由多个设备完成多个工序，每个设备由不同的厂商生产，组成整个处理系统后，由于各自设备之间不易整合在一起，造成占地空间大，成套性差，不易于空间布置和工艺布置。
3.由此可见，上述现有的抛光废液处理装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。如何能创设一种新的实用高效抛光废液处理装置，实属当前重要研发课题之一。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种实用高效抛光废液处理装置，使其占用空间小，设备之间整合度高，成套性好，便于工艺布置，从而克服现有的抛光废液处理装置的不足。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种实用高效抛光废液处理装置，包括废液箱、压滤机、卸料盘和搅拌组件，所述废液箱为上方开放的箱体，所述搅拌组件安装在废液箱上方，搅拌组件的叶片伸入废液箱内，所述压滤机设置在废液箱的上方，并在压滤机的滤饼出口与废液箱侧壁上沿间倾斜放置有平板状的卸料盘。
6.作为本实用新型的一种改进，所述废液箱放置在斜坡支架上，废液箱上跨支有门形支架，所述门形支架的两立柱固定连接在废液箱的两侧壁外，压滤机安装在门形支架之上。
7.进一步地，所述废液箱内设有两道隔板，隔板的两侧固定连接在废液箱两侧内壁，隔板的上端与废液箱上端齐平，隔板的下端距离废液箱底部留有闸口，两个隔板将废液箱分隔成底部连通的等容积的三个区域，分别为第一区域、第二区域和第三区域，所述卸料盘遮盖在第一区域和第二区域的上方，所述搅拌组件安装在第三区域上方，叶片伸入第三区域内搅拌。
8.进一步地，所述卸料盘由焊接在废液箱上沿角钢提供支撑，卸料盘倾斜放置在角钢之上，所述卸料盘与水平面之间的角度为30
°
。
9.进一步地，所述卸料盘下端与废液箱的上沿之间留有狭缝，所述狭缝的宽度为10mm。
10.进一步地，所述搅拌组件安装在废液箱上方，废液箱两侧壁上沿之间焊接有两根槽钢梁，所述搅拌组件通过螺栓连接安装在槽钢梁上。
11.进一步地，所述废液箱的底部具有坡度，废液箱底部坡度与斜坡支架的坡度一致，
坡度值为1:24。
12.进一步地，所述废液箱上设有清液溢流口，所述清液溢流口位于距废液箱上沿300mm处。
13.进一步地，所述废液箱、卸料盘和隔板上设置加强筋，废液箱的箱体内壁、隔板表面和卸料盘表面做防腐处理，所述废液箱外壁涂防锈漆。
14.进一步地，所述压滤机的清液排放管路上设有一支路，支路连通至配置罐，所述配制罐后管路连通至压料泵前。
15.采用这样的设计后，本实用新型至少具有以下优点：
16.1、各设备之间高度整合，占用空间小，成套性好，便于工艺设置。
17.2、卸料盘倾角30
°
，下端预设10mm的狭缝，专门为压滤机漏液回箱而设，干湿分开，有利滤饼保持形状，方便转运。
18.3、废液箱内设置隔板，隔板距废液箱底部留有100mm高的闸口,底部过料，减少扰动。
19.4、废液箱上距沿300mm处设清液溢流口，必要时上清液能较早分离出去。
20.5、废液箱底部设置24:1的坡度，防止死区形成，避免硬沉淀的形成。
附图说明
21.上述仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。
22.图1是本实用新型提供的一种实用高效抛光废液处理装置的结构示意图。
23.图2是废液箱的结构示意图。
24.附图标记说明：1
‑
废液箱；2
‑
压滤机；3
‑
卸料盘；4
‑
搅拌组件；5
‑
斜坡支架；6
‑
隔板；7
‑
闸口；8
‑
加强筋；9
‑
清液溢流口；10
‑
第一区域；11
‑
第二区域；12
‑
第三区域；13
‑
配制罐；14
‑
压料泵。
具体实施方式
25.请参阅图1和图2，本实用新型提供一种实用高效抛光废液处理装置，包括废液箱1、压滤机2、卸料盘3、搅拌组件4、斜坡支架5和门形支架(图中未示出)，所述废液箱1放置在斜坡支架5之上，两个门形支架跨支在废液箱1之上，每个门形支架的两根立柱紧贴废液箱1的两侧外壁，并与废液箱1焊接在一起，所述压滤机2安装在门形支架之上。所述废液箱1内设置有两道隔板6，隔板6的上端与废液箱1的上沿齐平，隔板6的下端距离废液箱1的底部留有闸口7。优选的，闸口7的高度为100mm。所述隔板6将废液箱1分隔成等容积的三个区域，在第一区域10和第二区域11的上方，废液箱1的上沿焊接有角钢支架，卸料盘3以30
°
倾角倾斜放置在角钢支架之上，由角钢支架提供支撑，使得卸料盘3将废液箱1的第一区域10和第二区域11遮盖。在第三区域12的上方，废液箱1两侧壁之间焊接架设有两根槽钢梁，所述搅拌组件4通过螺栓连接安装在槽钢梁上，搅拌组件4的叶片伸入废液箱1的第三区域12内，对废液进行搅拌。
26.优选的，所述卸料盘3上端承接至压滤机2的滤饼出口，卸料盘3的下端延伸至废液箱1的上沿，并与废液箱1上沿之间留有10mm的狭缝，用于漏液回流至废液箱1.
27.优选的，所述废液箱1的底部为坡底设计，底部的坡度与斜坡支架5的坡度一致，均为1:24。
28.优选的，所述废液箱1的第三区域12内，在废液箱1壁面上设有清液溢流口9，所述清液溢流口9位于距废液箱1上沿300mm处，在必要时使清液溢分离。
29.优选的，所述废液箱1、卸料盘3和隔板6上均设置有加强筋8，保证其刚性。在废液箱1内壁、卸料盘3表面和隔板表面进行防护处理，并在废液箱1外壁面涂防锈漆。
30.优选的，所述压滤机2的清液排放管路上设有一支路，支路连通至配置罐13，所述配制罐后管路连通至压料泵14前。
31.本实用新型在使用时，抛光废液储存至废液箱1内(压滤机2和卸料盘3中也存有部分上一次的老料)，通过向废液箱1内依次加入各种助剂并伴随搅拌将废液ph调中、诱发凝胶、絮凝，此为废液的预处理。预处理后的废液静置后表层可出清液，清液可排走，浑浊液由压料泵14泵入至压滤机2进行固液分离，压制成滤饼，压滤机2出滤水较少时表明料满，停止上料后切换阀门，并通入压缩空气，进一步压干滤饼。滤饼通过卸料盘3排放至废液箱侧壁之外的小车内，由于卸料盘3与废液箱上沿间留有10mm狭缝，漏液可回流至废液箱1内。压滤机2的清液排放管路上另设有一支支路，支路连通至配制罐13，配制罐13后的管路再连通至压滤泵14前，使得配制罐13内配置的助剂通过压料泵14再泵入压滤机2内挂浆以便下次使用，部分清液得到循环利用。为形成连续操作，废液箱1不必全清空，剩余1/3左右时即可入料。
32.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，本领域技术人员利用上述揭示的技术内容做出些许简单修改、等同变化或修饰，均落在本实用新型的保护范围内。