一种高能注入机恒温超纯水装置的制作方法

1.本实用新型涉及高能注入机技术领域，具体而言，涉及一种高能注入机恒温超纯水装置。


背景技术：

2.高能注入机的离子注入方式就是把掺杂元素的离子加速，使获得很大动能的杂质离子直接进入晶片中的晶格，离子注入后退火激活，离子束流加速后总电压达到350kv，由于电压高，高压区有发热部件如离子源、分析器线圈等要冷却水，冷却水工作温度需要在一定区间恒定。
3.通常冷却水为超纯水，超纯水在完成冷却工作之后回到恒温装置中时会携带高温并产生蒸汽，影响恒温装置内部恒温稳定，存在影响恒温效果的问题。


技术实现要素：

4.为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，旨在改善影响恒温效果的问题。
5.本实用新型是这样实现的：
6.本实用新型提供一种高能注入机恒温超纯水装置，包括箱体组件、降温组件和恒温组件。
7.所述箱体组件包括箱体、隔板、进水管、输送水管和排水管，所述隔板固定连接于所述箱体内部，所述进水管固定连通于所述箱体一侧顶部，所述输送水管一端固定连通于所述进水管，所述输送水管远离所述进水管一端固定连通于所述隔板，所述输送水管远离所述进水管一端贯穿所述隔板，所述排水管固定连通于所述箱体远离所述进水管一侧底部，所述降温组件包括机壳、换热器和冷凝管，所述机壳固定连通于所述箱体远离所述进水管一侧，所述换热器固定连接于所述机壳内部，所述换热器输出端分别贯穿于所述箱体一侧和机壳远离所述箱体一侧，所述冷凝管固定连通于所述隔板顶部，所述恒温组件包括加热件和温控器，所述加热件固定连接于所述箱体底部，所述温控器固定连接于所述箱体一侧，所述温控器电性连接于所述加热件。
8.在本实用新型的一种实施例中，所述桶体一侧设有透明窗，所述箱体顶部设有箱盖，所述箱盖滑动连接于所述箱体顶部，所述箱体于箱盖之间通过固定螺栓固定。
9.在本实用新型的一种实施例中，所述桶体内设有第一支撑块，所述箱体底部设有夹层，所述加热件固定设置于所述夹层内。
10.在本实用新型的一种实施例中，所述隔板内开设有蒸汽入口，所述蒸汽入口固定连通于所述冷凝管。
11.在本实用新型的一种实施例中，所述隔板底部设有挡板，所述挡板一端固定连接于所述隔板底部，所述挡板另一端固定连接于所述输送水管远离所述进水管一端。
12.在本实用新型的一种实施例中，所述输送水管与所述隔板连接处设有密封圈，所
述输送水管与所述挡板连接处上方设有通孔。
13.在本实用新型的一种实施例中，所述排水管上设有阀门。
14.在本实用新型的一种实施例中，所述机壳内设有固定平台，所述固定平台固定连接于所述机壳内部，所述换热器固定连接于所述固定平台顶部。
15.在本实用新型的一种实施例中，所述换热器包括热水进口、热水出口、冷水出口、冷水进口和水泵，所述热水进口和所述冷水出口固定连通于所述箱体一侧，所述热水出口和所述冷水进口固定连通于所述机壳远离所述箱体一侧，所述热水进口与所述热水出口固定连通，所述水泵固定连通与所述热水进口与所述热水出口之间，所述冷水出口和所述冷水进口固定连通。
16.在本实用新型的一种实施例中，所述冷凝管包括蒸汽导管和冷凝盘管，所述蒸汽导管一端固定连通于所述蒸汽入口，所述冷凝盘管一端固定连通于所述蒸汽导管远离所述蒸汽入口一端，所述冷凝盘管另一端固定连通于所述隔板。
17.本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种高能注入机恒温超纯水装置，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，使超纯水水温下降，温度下降后的超纯水从输送水管出口落入箱体内，温控器控制加热件对其加热，使超纯水温度产生恒温，加热过程中，超纯水产生水蒸气，水蒸气经过冷凝管，冷凝管经过冷却水降温使冷凝之后的水蒸气以水滴的形式再次落入箱体底部，减少箱体内部压力，该装置中，输送水管配合换热器使进入箱体内的高温超纯水得到有效的降温，恒温过程中产生的蒸汽经过冷凝管收集凝结，减少了恒温装置内的压力，使该恒温效果更加稳定。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
19.图1是本实用新型实施方式提供的一种高能注入机恒温超纯水装置第一视角结构示意图；
20.图2为本实用新型实施方式提供的一种高能注入机恒温超纯水装置第一视角结构剖视图；
21.图3为本实用新型实施方式提供的一种高能注入机恒温超纯水装置第二视角结构剖视图；
22.图4为本实用新型实施方式提供的图2中a的放大结构剖视图；
23.图5为本实用新型实施方式提供的冷凝管结构示意图；
24.图6为本实用新型实施方式提供的图2中b的放大结构示意图。
25.图中：100
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箱体组件；110
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箱体；111
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箱盖；112
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固定螺栓；113
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夹层；120
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隔板；121
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蒸汽入口；122
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挡板；130
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进水管；140
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输送水管；141
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密封圈；150
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排水管；151
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阀门；200
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降温组件；210
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机壳；211
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固定平台；220
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换热器；221
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热水进口；222
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热水出口；223
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冷水出口；224
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冷水进口；225
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水泵；230
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冷凝管；231
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蒸汽导管；232
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冷凝盘管；300
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恒温组件；310
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加热件；320
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温控器。
具体实施方式
26.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保温的范围。
27.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保温的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保温的范围。
28.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
31.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
33.实施例
34.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种高能注入机恒温超纯水装置包括箱体组件100、降温组件200和恒温组件300，降温组件200固定连通于箱体组件100一侧，降温组件200用于将导入装置内的高温超纯水降温，恒温组件300设置于箱体组件100底部，用于将经过降温组件200降温之后的超纯水进行恒温处理。
35.请参阅图2和3，箱体组件100包括箱体110、隔板120、进水管130、输送水管140和排水管150，箱体110顶部设有箱盖111，箱盖111滑动连接于箱体110顶部，箱盖111方便工作人
员对箱体110内部操作，箱体110于箱盖111之间通过固定螺栓112固定，固定螺栓112起到固定箱盖111与箱体110连接的作用，箱体110底部设有夹层113，夹层113上部采用导热材料，如铜铝合金、导热硅脂，隔板120固定连接于箱体110内部，隔板120采用隔热材料，如陶瓷纤维、石墨等，隔板120内开设有蒸汽入口121，隔板120底部设有挡板122，挡板122一端固定连接于隔板120底部，挡板122另一端固定连接于输送水管140远离进水管130一端，挡板122与隔板120使用相同材质，进水管130固定连通于箱体110一侧顶部，输送水管140一端固定连通于进水管130，输送水管140远离进水管130一端固定连通于隔板120，输送水管140远离进水管130一端贯穿隔板120，输送水管140与隔板120连接处设有密封圈141，输送水管140与挡板122连接处上方设有通孔，输送水管140采用导热材料，如铜铝合金、导热硅脂，输送水管140在箱体110内部呈弯曲状设置，加大于冷却水的接触面积，起到更好的降温效果，排水管150固定连通于箱体110远离进水管130一侧底部，排水管150上设有阀门151。
36.请参阅图2、3、4、5和6，降温组件200包括机壳210、换热器220和冷凝管230，机壳210固定连通于箱体110远离进水管130一侧，机壳210内设有固定平台211，固定平台211固定连接于机壳210内部，换热器220固定连接于固定平台211顶部，换热器220与固定平台211之间为螺栓连接，方便拆卸，换热器220包括热水进口221、热水出口222、冷水出口223、冷水进口224和水泵225，热水进口221和冷水出口223固定连通于箱体110一侧，热水出口222和冷水进口224固定连通于机壳210远离箱体110一侧，热水进口221与热水出口222固定连通，水泵225固定连通与热水进口221与热水出口222之间，冷水出口223和冷水进口224固定连通，冷凝管230固定连通于隔板120顶部，冷凝管230包括蒸汽导管231和冷凝盘管232，蒸汽导管231一端固定连通于蒸汽入口121，冷凝盘管232一端固定连通于蒸汽导管231远离蒸汽入口121一端，冷凝盘管232另一端固定连通于隔板120，在本实施例中，换热器220起到将外部的冷却水导入箱体110内部，使输送水管140内的高温超纯水降温的作用，冷凝管230起到将正在加热的超纯水产生的水蒸气收集凝结起来，经过换热器220降温，减少箱体110内部压力。
37.请参阅图2和3，恒温组件300包括加热件310和温控器320，加热件310固定连接于箱体110底部，温控器320固定连接于箱体110一侧，温控器320电性连接于加热件310,在本实施例中，加热件310为电加热管，通过温控器320电性连接控制电加热管对箱体110内部进行恒温加热。
38.具体的，该一种高能注入机恒温超纯水装置的工作原理：使用时，打开换热器220，使箱体110内的冷却水转动，打开加热件310及温控器320，将高温超纯水从进水管130导入输送水管140内，高温超纯水在输送水管140内经过外部的冷却水冷却，使超纯水水温下降，温度下降后的超纯水从输送水管140出口落入箱体110内，加热件310对其加热，通过温控器320控制，使超纯水温度产生恒温，加热过程中，超纯水产生的水蒸气，经过蒸汽入口121导入冷凝管230内，冷凝之后的水滴从出口落入挡板122上，水滴顺着挡板122流入输送水管140端部的通孔内，再次落入箱体110底部，恒温后的超纯水从排水管150导出使用。
39.需要说明的是，换热器220、加热件310和温控器320具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。
40.换热器220、加热件310和温控器320的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。
41.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保温范围之内。