一种研磨装置用清洗装置的制作方法

本实用新型涉及研磨装置领域，特别涉及一种研磨装置用清洗装置。

背景技术：

研磨是半导体工艺中必不可少的制作工艺，通过研磨机进行研磨，通过研磨机的研磨头与半导体材料转动接触形成挤压从而进行研磨，研磨完成后要将研磨头取下进行清洗。

研磨头在研磨后其表面会附有半导体研磨残留物，清洗的时候直接通过喷出的水对研磨头表面进行冲刷，从而清洗掉残留物，但是清洗后的水并没有经过处理便进行排放，使得半导体残留物依然留在清洗后的水中，导致这些水排到外界中会对土地以及水源造成污染。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种研磨装置用清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种研磨装置用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的内部开设有清洗腔，所述清洗腔内壁的一侧固定连接有喷头，所述清洗腔的内壁的两侧分别固定穿插连接有进水管和出水管，所述进水管的一端与喷头的进水口固定穿插连接，所述清洗腔内壁另一侧固定连接有连接杆，所述连接杆的一侧固定连接有放置板，所述清洗腔内壁的底端转动连接有转杆，所述转杆的顶端固定连接有转盆，所述转盆的内腔设置有无纺布，所述转盆的内壁遍布开设有滤水孔。

优选的，所述清洗箱的底端固定连接有电机箱，所述电机箱内壁的底端转动连接有转柱，所述转柱的顶端与转杆的底端固定连接，所述转柱的外壁固定套接有第一齿轮，所述电机箱内壁的一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴传动连接有第二齿轮，所述第一齿轮的外壁和第二齿轮的外壁啮合连接。

优选的，所述转盆的顶端开设有卡槽，所述无纺布的边侧与卡槽的内壁活动卡接，所述卡槽的内部且位于无纺布的上方位置处活动卡接有橡胶卡环。

优选的，所述清洗腔的内壁且位于转盆的上方位置处固定连接有导流罩，所述清洗腔内壁的底端固定连接有导流块，所述转杆活动穿插连接于导流块的中部。

优选的，所述清洗箱的正面铰接有密封门，所述密封门的一侧固定连接有l型块。

优选的，所述清洗箱的一侧转动连接有转轴，所述转轴的外壁固定连接有转板。

优选的，所述清洗箱底端的四个边角处均固定连接有支撑腿，四个所述支撑腿的底端均固定连接有支撑底座。

本实用新型的技术效果和优点：

（1）本实用利用转盆、无纺布和滤水孔的设置，通过转盆转动，使得清洗后的水在离心力的作用下，通过无纺布进行水和残留物的分离，从而使得水通过滤水孔排出，残留物留在了无纺布上，避免清洗后的水直接排放污染环境；

（2）本实用新型利用卡槽和橡胶卡环的设置，通过橡胶卡环将无纺布的边侧卡在卡槽内进行定位，防止无纺布转动时移位，同时可快速将橡胶卡环从卡槽内取出，使得无纺布可快速取出进行更换，提高了无纺布更换的便捷性；

（3）本实用新型利用导流罩的设置，通过导流罩的导流作用使得清洗后的水沿着导流罩的顶端可全部流至转盆内，防止水和残留物直接排出清洗箱，提高了残留物与水分离程度。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型正面剖视结构示意图。

图3为本实用新型图2的a处局部放大结构示意图。

图4为本实用新型导流罩立体结构示意图。

图中：1、清洗箱；2、清洗腔；3、喷头；4、进水管；5、连接杆；6、放置板；7、转杆；8、转盆；9、无纺布；10、滤水孔；11、出水管；12、伺服电机；13、转柱；14、第一齿轮；15、卡槽；16、橡胶卡环；17、导流罩；18、导流块；19、密封门；20、l型块；21、转轴；22、转板；23、支撑腿；24、支撑底座；25、第二齿轮；26、电机箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-4所示的一种研磨装置用清洗装置，包括清洗箱1，清洗箱1的内部开设有清洗腔2，清洗腔2内壁的一侧固定连接有喷头3，清洗腔2的内壁的两侧分别固定穿插连接有进水管4和出水管11，进水管4的一端与喷头3的进水口固定穿插连接，清洗腔2内壁另一侧固定连接有连接杆5，连接杆5的一侧固定连接有放置板6，清洗腔2内壁的底端转动连接有转杆7，转杆7的顶端固定连接有转盆8，转盆8的内腔设置有无纺布9，无纺布9可以使水渗出但无法渗出半导体残留物，从而可以对水与半导体残留物进行分离，转盆8的内壁遍布开设有滤水孔10；

清洗箱1的底端固定连接有电机箱26，电机箱26内壁的底端转动连接有转柱13，转柱13的顶端与转杆7的底端固定连接，转柱13的外壁固定套接有第一齿轮14，电机箱26内壁的一侧固定安装有伺服电机12，伺服电机12的输出轴传动连接有第二齿轮25，第一齿轮14的外壁和第二齿轮25的外壁啮合连接，伺服电机12为转盆8转动提供驱动力，清洗箱1的一侧安装有开关，伺服电机12通过开关与外部电源电性连接，便于操作人员对伺服电机12进行控制，提高了操作的安全性和便捷性；

转盆8的顶端开设有卡槽15，无纺布9的边侧与卡槽15的内壁活动卡接，卡槽15的内部且位于无纺布9的上方位置处活动卡接有橡胶卡环16，橡胶卡环16将无纺布9的边侧卡入卡槽15中，从而对无纺布9起到一个固定作用，防止转盆8转动时无纺布9移位；

清洗腔2的内壁且位于转盆8的上方位置处固定连接有导流罩17，导流罩17使得清洗后的水都可流至转盆8内，清洗腔2内壁的底端固定连接有导流块18，转杆7活动穿插连接于导流块18的中部，导流块18的顶端斜面全部朝向出水管11，从而使得清洗腔2内的水可快速通过出水管11流出；

清洗箱1的正面铰接有密封门19，密封门19的一侧固定连接有l型块20，l型块20充当一个把手的作用；

清洗箱1的一侧转动连接有转轴21，转轴21的外壁固定连接有转板22，当转板22转动至搭在l型块20上，对密封门19起到一个定位的作用，从而将密封门19进行关闭；

清洗箱1底端的四个边角处均固定连接有支撑腿23，四个支撑腿23的底端均固定连接有支撑底座24。

本实用新型工作原理：将研磨头放置于放置板6上，关上密封门19，顺时针转动转板22使得转板22搭在l型块20上，对密封门19进行定位，通过进水管4向喷头3内注入水，喷头3喷出水对研磨头进行清洗，打开伺服电机12的开关，使得转杆7转动带动转盆8转动，清洗后的水通过导流罩17流入转盆8上的无纺布9上，随着转盆8转动，使得水在离心力的作用下与无纺布9分离并通过滤水孔10流出，最后沿着导流块18流至出水管11并通过出水管11排出清洗腔2，残留物便留在无纺布9上，实现水与残留物的分离。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。