一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统。


背景技术：

2.面板领域中，玻璃基板、掩膜板或者半导体晶圆等面板基材通过药液清洗后，都需要通过diw（去离子水）浸泡或通过喷洒进行漂洗，随着面板显示领域技术的不断更新进步，清洗工艺也发挥着它越来越重要的作用。在清洗工艺中，普通的清洗技术难以将玻璃基板上的微小颗粒去除干净，即使通过增大喷水压力，也比较难将颗粒去除，同时水压过大还可能导致玻璃基板的破碎损坏。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是要提供一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，有效提高洗净力的同时可缩短清洗线的长度，还能够节约纯水用量的目的。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.本实用新型提供了一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，包括气液混合器、泵浦、过滤器和若干个喷嘴，二氧化碳和纯水经管路通入所述气液混合器形成清洗液体，所述气液混合器的出液端与所述泵浦相连，所述清洗液体经所述泵浦加压后接入所述过滤器，所述过滤器的出水侧再与所述若干个喷嘴分别相连。
6.可选地，还包括模拟量压力计和排气阀，所述模拟量压力计和排气阀设置于高压泵浦处，模拟量压力计用于测量管路压力，根据管路中的压力调节排气阀的启停。
7.可选地，在所述高压泵浦的前端管路处还设置有旁路阀和安全阀。
8.可选地，所述气液混合器为起泡器。
9.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
10.本实用新型的用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，通过将纯水和二氧化碳经管路通入气液混合器混合形成含丰富二氧化碳的清洗液体，清洗液体通过高压泵浦加压打入过滤器，过滤器过滤后最终由均匀排布在喷管上的高压喷嘴喷出，对玻璃基板表面进行清洗，清洗液体中含有二氧化碳气泡，当高压液体喷至玻璃基板上时会使气泡与玻璃基板表面碰撞而破裂，产生的力可进一步加强清洗能力，提高玻璃基板表面颗粒物的去除效率。
附图说明
11.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
12.图1是根据本实用新型一个实施例的超高压微细颗粒喷淋系统的结构示意图。
13.其中，附图标记说明如下：
14.1、气液混合器，2、泵浦，3、过滤器，4、喷嘴，5、模拟量压力计，6、排气阀，7、旁路阀，8、安全阀。
具体实施方式
15.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
17.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
18.本实施例描述了一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，包括气液混合器1、泵浦2（优选采用高压泵浦2）、过滤器3和若干个喷嘴4，二氧化碳和纯水经管路通入所述气液混合器1形成清洗液体，所述气液混合器1的出液端与所述泵浦2相连，所述清洗液体经所述泵浦2加压后接入所述过滤器3，所述过滤器3的出水侧再与所述若干个喷嘴4分别相连。所述气液混合器1采用的是起泡器。
19.可选地，还包括模拟量压力计5和排气阀6，所述模拟量压力计5和排气阀6设置于高压泵浦2处，模拟量压力计5用于测量管路压力，根据管路中的压力调节排气阀6的启停。
20.综上可知，本实用新型的用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，通过将纯水和二氧化碳经管路通入气液混合器1混合形成含丰富二氧化碳的清洗液体，清洗液体通过高压泵浦2加压打入过滤器3，过滤器3过滤后最终由均匀排布在喷管上的高压喷嘴4喷出，对玻璃基板表面进行清洗，清洗液体中含有二氧化碳气泡，当高压液体喷至玻璃基板上时会使气泡与玻璃基板表面碰撞而破裂，产生的力可进一步加强清洗能力，提高玻璃基板表面颗粒物的去除效率。
21.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，其特征在于，包括气液混合器、泵浦、过滤器和若干个喷嘴，二氧化碳和纯水经管路通入所述气液混合器形成清洗液体，所述气液混合器的出液端与所述泵浦相连，所述清洗液体经所述泵浦加压后接入所述过滤器，所述过滤器的出水侧再与所述若干个喷嘴分别相连。2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，其特征在于，还包括模拟量压力计和排气阀，所述模拟量压力计和排气阀设置于高压泵浦处，模拟量压力计用于测量管路压力，根据管路中的压力调节排气阀的启停。3.根据权利要求2所述的用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，其特征在于，在所述高压泵浦的前端管路处还设置有旁路阀和安全阀。4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，其特征在于，所述气液混合器为起泡器。

技术总结
本实用新型涉及一种用于玻璃基板清洗的超高压微细颗粒喷淋系统，包括气液混合器、泵浦、过滤器和若干个喷嘴，二氧化碳和纯水经管路通入所述气液混合器形成清洗液体，所述气液混合器的出液端与所述泵浦相连，所述清洗液体经所述泵浦加压后接入所述过滤器，所述过滤器的出水侧再与所述若干个喷嘴分别相连。本申请可有效提高洗净力的同时可缩短清洗线的长度，还能够节约纯水用量的目的。还能够节约纯水用量的目的。还能够节约纯水用量的目的。


技术研发人员：蒋新 许林赟 施利君 宋金林
受保护的技术使用者：苏州晶洲装备科技有限公司
技术研发日：2020.12.28
技术公布日：2022/5/25