气体溶解液制造装置的制作方法

文档序号:26192734发布日期:2021-08-06 18:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体溶解液制造装置,其特征在于,具备:

气体供给管线,该气体供给管线供给作为气体溶解液的原料的气体;

液体供给管线,该液体供给管线供给作为气体溶解液的原料的液体;

气体溶解液生成部,该气体溶解液生成部将所述气体与所述液体混合而生成气体溶解液;

气液分离部,该气液分离部将生成的所述气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体;以及

气体溶解部,该气体溶解部设置于所述液体供给管线,且使气液分离后的所述排出气体溶解于所述液体,

所述气体溶解部由中空纤维膜构成,该中空纤维膜由气体透过性膜构成。

2.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

在所述液体供给管线设置有升压泵,该升压泵使向所述气体溶解液生成部供给的所述液体的压力上升,

所述气体溶解部在所述液体供给管线中与所述升压泵相比设置于下游侧。

3.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

在所述液体供给管线设置有升压泵,该升压泵使向所述气体溶解液生成部供给的所述液体的压力上升,

所述气体溶解部在所述液体供给管线中与所述升压泵相比设置于上游侧,

在所述气体溶解部与所述气液分离部之间具备使气液分离后的所述排出气体的压力下降的压力调整部。

4.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

向所述气体溶解部供给的所述排出气体的压力被设定为比向所述气体溶解部供给的所述液体的压力低。

5.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,具备:

送出管线,该送出管线从所述气液分离部向所述使用点送出所述供给液体;以及

排水管线,该排水管线从所述送出管线分支地设置,并与排水口连接,

在所述排出管线连接有稀释管线,该稀释管线供给用于稀释所述供给液体的稀释用液体,

在所述稀释管线设置有调整所述稀释用液体的流量的流量调整部。

6.根据权利要求5所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

所述流量调整部根据输送至所述排水管线的所述供给液体的流量来调整所述稀释用液体的流量。

7.根据权利要求5所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

在所述排水管线设置有浓度测定部,该浓度测定部对输送至所述排水口的所述供给液体的浓度进行测定,

所述流量调整部根据由所述浓度测定部测定出的所述供给液体的浓度来调整所述稀释用液体的流量。

8.根据权利要求7所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

在所述排水管线设置有压力释放阀,

所述浓度测定部设置在所述压力释放阀的下游侧,

所述稀释管线在所述压力释放阀的下游侧与所述排水管线连接。

9.根据权利要求7所述的气体溶解液制造装置,其特征在于,

在所述排水管线设置有压力释放阀,

所述浓度测定部设置在所述压力释放阀的上游侧,

所述稀释管线在所述压力释放阀的上游侧与所述排水管线连接,

在所述稀释管线设置有升压泵。


技术总结
本发明提供一种能够将未溶解于气体溶解液的气体再利用来生成高浓度的气体溶解液的气体溶解液制造装置。气体溶解液制造装置(1)具备:气体供给管线(2),供给作为气体溶解液的原料的气体;液体供给管线(3),供给作为气体溶解液的原料的液体;气体溶解液生成部(4),将气体与液体混合而生成气体溶解液;气液分离部(5),将生成的气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体;以及气体溶解部(6),设置于液体供给管线(4),且使气液分离后的排出气体溶解于液体。气体溶解部(6)由中空纤维膜构成,该中空纤维膜由气体透过性膜构成。

技术研发人员:小泽卓;荒木裕二;中川洋一;渡边敏史
受保护的技术使用者:株式会社荏原制作所
技术研发日:2021.01.25
技术公布日:2021.08.06
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