一种硅片制造用清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片制造技术领域，具体涉及一种硅片制造用清洗装置。


背景技术：

2.硅是极为常见的一种元素，然而它极少以单质的形式在自然界出现，而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式，广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，以硅片形成的微电子技术广泛运用于航空、航天、工业、农业和国防等领域。
3.目前在硅片制造加工过程中，其表面容易附着一些灰尘脏污，常用的处理方法多采用人工擦拭清洗，这样容易有灰尘脏污被遗漏，容易清洗不充分，且清洗效率不高，为此，我们提出一种硅片制造用清洗装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种硅片制造用清洗装置，便于对多组硅片同时进行清洗，提高清洗效率，且清洗彻底充分，减少灰尘脏污的遗漏残留。
5.为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：
6.一种硅片制造用清洗装置，包括箱体，所述箱体的内腔下端设置有支撑过滤组件，所述箱体的左右两侧均设置有液压推杆，所述箱体的顶部设置有清洗机构，所述箱体的左右两侧均设置有限位机构，所述箱体的左侧壁底部设置有排水管。
7.优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述支撑过滤组件包括支撑横板，所述支撑横板的左右两端均卡接有槽座，所述槽座远离与支撑横板的一端与箱体相固接，所述支撑横板的顶部均匀开设有圆弧卡槽，所述圆弧卡槽的内腔左右两侧壁均设置有弹性塞垫，所述支撑横板的顶部左右两侧均设置有螺纹柱，且螺纹柱的底部活动贯穿支撑横板的底部与槽座的内腔底部相固接，所述螺纹柱上螺纹连接有六角法兰面锁紧螺母，通过六角法兰面锁紧螺母与螺纹柱的螺纹连接配合，便于对支撑横板在槽座上卡接后进一步的限位固定，且便于拆装。
8.优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述支撑横板的底部设置有盒体，所述盒体的内腔底部设置有承载过滤网，所述承载过滤网的顶部左右两侧均固接有横向l形板，所述横向l形板活动套接在螺纹柱上，且横向l形板位于支撑横板的底部，便于对支撑横板在槽座上限位的同时，也对横向l形板进行限位固定。
9.优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述清洗机构包括空心横板，所述液压推杆的顶部动力伸缩端与空心横板相固接，所述空心横板的底部均匀固接有清洗板，所述清洗板的左右两侧壁均设置有柔性刷毛，所述空心横板的底部均匀开设有排水孔，且排水孔与柔性刷毛一一相对应，所述空心横板的右侧设置有进水管，且进水管的右侧输入端通过导管与外部输水设备相连通，便于向空心横板中输送硅片清洗液。
10.优选地，上述用于硅片制造用清洗装置中，所述限位机构包括气缸，所述气缸的动力伸缩端伸入箱体的内腔，所述气缸伸入箱体内腔的动力伸缩端固接有纵向条板，所述纵向条板贴近箱体内腔中心处的一侧壁自前向后等间距设置有弹性限位垫，便于纵向条板对硅片限位时的柔性防护。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.本实用新型结构设计合理，一方面通过将多组硅片竖直插在支撑横板顶部均匀开设的圆弧卡槽中，然后在圆弧卡槽中通过弹性塞垫进行硅片左右两侧的阻尼限位，再通过气缸的伸缩调节带动纵向条板上的弹性限位垫对硅片前后两侧进行压紧，便于对多组硅片清洗前的限位；另一方面通过空心横板中充满清洗液，清洗液通过排水孔向柔性刷毛上输送，通过液压推杆的伸缩调节带动多组清洗板进行上下来回移动，通过相邻两组清洗板之间的两组柔性刷毛作用在一组硅片的左右两侧上，从而便于对多组硅片同时进行清洗，提高清洗效率，且清洗彻底充分，减少灰尘脏污的遗漏残留。
13.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型的使用状态结构示意图一；
16.图2为本实用新型的使用状态结构示意图二；
17.图3为本实用新型的使用状态结构示意图三；
18.图4为本实用新型的支撑过滤组件的结构示意图；
19.图5为本实用新型的螺纹柱与槽座的连接状态示意图；
20.图6为本实用新型的圆弧卡槽的结构示意图；
21.图7为本实用新型的清洗机构的结构示意图；
22.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
23.1-箱体，2-支撑过滤组件，201-螺纹柱，202-盒体，203-承载过滤网，204-圆弧卡槽，205-弹性塞垫，206-横向l形板，207-六角法兰面锁紧螺母，208-槽座，209-支撑横板，3-液压推杆，4-清洗机构，401-空心横板，402-清洗板，403-柔性刷毛，404-排水孔，405-进水管，5-限位机构，501-弹性限位垫，502-纵向条板，503-气缸，6-排水管。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1-7所示，一种硅片制造用清洗装置，包括箱体1，箱体1的内腔下端设置有支撑过滤组件2，支撑过滤组件2包括支撑横板209，支撑横板209的左右两端均卡接有槽
座208，槽座208远离与支撑横板209的一端与箱体1相固接，支撑横板209的顶部均匀开设有圆弧卡槽204，圆弧卡槽204的内腔左右两侧壁均设置有弹性塞垫205，支撑横板209的顶部左右两侧均设置有螺纹柱201，且螺纹柱201的底部活动贯穿支撑横板209的底部与槽座208的内腔底部相固接，螺纹柱201上螺纹连接有六角法兰面锁紧螺母207，通过六角法兰面锁紧螺母207与螺纹柱201的螺纹连接配合，便于对支撑横板209在槽座208上卡接后进一步的限位固定，且便于拆装，支撑横板209的底部设置有盒体202，盒体202的内腔底部设置有承载过滤网203，承载过滤网203的顶部左右两侧均固接有横向l形板206，横向l形板206活动套接在螺纹柱201上，且横向l形板206位于支撑横板209的底部，便于对支撑横板209在槽座208上限位的同时，也对横向l形板206进行限位固定，箱体1的左右两侧均设置有液压推杆3，箱体1的顶部设置有清洗机构4，清洗机构4包括空心横板401，液压推杆3的顶部动力伸缩端与空心横板401相固接，空心横板401的底部均匀固接有清洗板402，清洗板402的左右两侧壁均设置有柔性刷毛403，空心横板401的底部均匀开设有排水孔404，且排水孔404与柔性刷毛403一一相对应，空心横板401的右侧设置有进水管405，且进水管405的右侧输入端通过导管与外部输水设备相连通，便于向空心横板401中输送硅片清洗液，箱体1的左右两侧均设置有限位机构5，限位机构5包括气缸503，气缸503的动力伸缩端伸入箱体1的内腔，气缸503伸入箱体1内腔的动力伸缩端固接有纵向条板502，纵向条板502贴近箱体1内腔中心处的一侧壁自前向后等间距设置有弹性限位垫501，便于纵向条板502对硅片限位时的柔性防护，箱体1的左侧壁底部设置有排水管6。
26.本实施例的一个具体应用为：本实用新型结构设计合理，通过将多组硅片竖直插在支撑横板209顶部均匀开设的圆弧卡槽204中，然后在每组圆弧卡槽204中都通过两组弹性塞垫205进行硅片两侧的阻尼限位，再通过气缸503的伸缩调节带动纵向条板502上的弹性限位垫501对硅片另外两侧进行压紧，同时通过弹性限位垫501的弹性变形进行柔性保护，从而便于对多组硅片清洗前的限位固定，通过将进水管405与外界输水设备相连通向空心横板401中输入并充满清洗液，清洗液通过排水孔404向柔性刷毛403上流淌输送，通过液压推杆3的伸缩调节带动空心横板401上的多组清洗板402进行上下来回移动，进一步带动任意相邻两组清洗板402之间的两组柔性刷毛403作用在对应的一组硅片的左右两表面上，从而便于对多组硅片同时进行清洗，提高清洗效率，且清洗彻底充分，减少灰尘脏污的遗漏残留，清洗后的污液经过承载过滤网203过滤后流入箱体1的内腔底部，通过排水管6进行集中排出，而过滤出的脏污通过盒体202和承载过滤网203的配合进行收集，在清洗完成后，将硅片取下收集，通过在螺纹柱201上旋拧松弛六角法兰面锁紧螺母207并将其取下，然后将支撑横板209从槽座208上取下，最后将盒体202、承载过滤网203和横向l形板206一起取下，从而便于对过滤出的脏污进行清理，方便装置的下次使用。
27.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
28.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说
明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。