一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及本发明涉及工业零件清洗设备领域，具体涉及一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置。


背景技术：

2.现有工业零件清洗一般需要通过超声波使用纯水、煤油和碱性溶液对工业零件进行清洗和油封，此类清洗方法适用于去除零件表面的不可皂化油与灰尘、杂质等，对于刻蚀机气体分配器表面小孔内的杂质、灰尘等难以去除，清洗过后仍需要通过人工进行逐个小孔的疏通，会出现小孔堵塞被遗漏的现象，还会增加操作人员的劳动强度。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是提供一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，解决了气体分配器清洗效率低，清理不干净的技术问题。
4.为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架、设在框架上的清洗仓、仓盖、设在清洗仓下方的储液箱、水泵、设在仓盖上的调压阀，所述调压阀通过管道与水泵的出口连接，所述水泵的进口通过管道与储液箱相连，所述仓盖通过固定装置与清洗仓连接，所述清洗仓内设有用于安装气体分配器的装夹工装，所述清洗仓的下方设有储液箱。
5.作为优选的技术方案，所述调压阀设在仓盖的中心。
6.作为优选的技术方案，所述清洗仓的外形与气体分配器的形状相匹配。
7.作为优选的技术方案，所述清洗仓的下方设有滤网。
8.作为优选的技术方案，所述框架的四周设有四块平板，所述框架的底端设有底板，四块所述平板与底板构成储液箱。
9.作为优选的技术方案，所述平板为透明板。
10.作为优选的技术方案，所述固定装置包括对称设在仓盖边缘的固定夹、对称设在清洗仓的外表面的卡块，所述固定夹上设有搭扣，所述搭扣与卡块对应设置。
11.作为优选的技术方案，所述装夹工装上对称设有把手。
12.作为优选的技术方案，所述框架的底端设有万向轮。
13.作为优选的技术方案，所述框架采用铝型材制成。
14.本实用新型的有益效果是：一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，与传统方案相比：
15.1)通过调压阀增大清洗液的冲洗压力，从而更好地清洗气体分配器上的小孔，采用装夹工装对气体分配器进行固定，清洗更加稳定，省时省力，进一步优选的，调压阀设在仓盖的中心，清洗效果更加均匀；
16.2)优选的，清洗仓外形与气体分配器匹配，气体分配器在清洗仓中清洗时更加稳定；
17.3)优选的，透明板能够观察气体分配器清洗状态；
18.4)优选的，圆形的凹槽辅助目测是否偏心；
19.5)优选的，固定装置安装简单，紧固效果好；
20.6)优选的，把手易于操作人员安装和拆卸装夹工装；
21.7)优选的，万向轮使得移动更灵活，省时省力。
附图说明
22.图1是本实用新型的结构图；
23.图2是装夹工装的结构图；
24.图3是清洗仓的结构图；
25.图4是固定装置的结构图。
26.在图1-4中，1、框架；2、清洗仓；201、环形底板；3、仓盖；4、调压阀；5、装夹工装；501、外挡边；502、通槽；503、内挡边；6、储液箱；7、水泵；8、固定装置；801、固定夹；802、搭扣；803、卡块；9、把手；10、气体分配器；11、万向轮。
具体实施方式
27.下面结合附图对本实用新型进一步描述。
28.本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
29.请参阅图1-4，本实用新型提供一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架1、设在框架1上的清洗仓2、仓盖3、设在清洗仓2下方的储液箱6、水泵7、设在仓盖3上的调压阀4，所述调压阀4通过管道与水泵7的出口连接，所述水泵7的进口通过管道与储液箱6相连；
30.所述仓盖3通过固定装置8与清洗仓2连接，所述清洗仓2内设有用于安装气体分配器的装夹工装5，具体的，所述清洗仓2的底部设有环形底板201，所述装夹工装5上设有外挡边501，所述外挡边501与环形底板201配合对装夹工装5进行限位，所述装夹工装5上设有容纳气体分配器10的圆形的通槽502，所述通槽502内设有内挡边503，所述内挡边503对气体分配器10进行限位，进一步的，所述装夹工装5与环形底板201紧固连接，所述气体分配器10与内挡边503紧固连接，装夹工装5固定住气体分配器10；
31.所述清洗仓2的下方设有储液箱6，所述储液箱6中储存有清洗液，水泵7抽吸清洗液，清洗液通过管道进入调压阀4，调压阀4增加清洗液的压力，从而使得清洗液具有高压，冲洗力大，这样气体分配器上的小孔中的污垢更容易清洗，进一步的，所述调压阀4设在仓盖3的中心，这样清洗液从中间向两边扩散，清洗效果更加均匀；
32.清洗仓2与储液箱6相通，清洗后气体分配器10后的清洗液回流至储液箱6，进一步的，在水泵7和储液箱6之间设置过滤装置防止异物堵塞水泵7，需要注意的是，过滤装装置为本领域的公知技术，并未在附图中表示，连接水泵的管道未在附图中表示，水泵可通过安
装座直接安装在工作面，不再详细阐述。
33.如图1-4所示，所述清洗仓2的外形与气体分配器10的形状相匹配，保证气体分配器10放入后在冲洗时保持平稳。
34.如图1-4所示，所述清洗仓2的下方设有滤网，对清洗液进行过滤后回流至储液箱6，防止异物堵塞水泵7。
35.如图1-4所示，所述框架1的四周设有四块平板，所述框架1的底端设有底板，四块所述平板与底板构成储液箱6，结构简单实用，进一步的，所述平板为透明板，透明板易于观察气体分配器的清洗情况，并随时观察清洗液是否足够以及清洗液的浑浊度。
36.如图1-4所示，所述固定装置8包括对称设在仓盖3边缘的固定夹801、对称设在清洗仓2的外表面的卡块803，所述卡块803与清洗仓紧固连接，所述固定夹801上设有搭扣802，所述搭扣802与卡块803对应设置，将搭扣802扣到卡块803上，固定夹801压紧仓盖3，从而仓盖3能够盖紧清洗仓2。
37.如图1-4所示，所述装夹工装5上对称设有把手9，便于操作人员安装和拆卸装夹工装5。
38.如图1-4所示，所述框架1的底端设有万向轮11，清洗仓2可移动，操作方便。
39.如图1-4所示，所述框架1采用铝型材制成，重量轻，支撑效果好。
40.实施例
41.一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架1、设在框架1上的清洗仓2、仓盖3、设在清洗仓2下方的储液箱6、水泵7、设在仓盖3上的调压阀4，所述调压阀4通过管道与水泵7的出口连接，所述水泵7的进口通过管道与储液箱6相连，所述仓盖3通过固定装置8与清洗仓2连接，所述清洗仓2内设有用于安装气体分配器10的装夹工装5，所述清洗仓2的下方设有储液箱6，所述调压阀4设在仓盖3的中心，所述清洗仓2的外形与气体分配器10的形状相匹配，所述清洗仓2的下方设有滤网，所述框架1的四周设有四块透明板，所述框架1的底端设有底板，四块所述透明板与底板构成储液箱6，所述平板为透明板，所述固定装置8包括对称设在仓盖3边缘的固定夹801、对称设在清洗仓2的外表面的卡块803，所述固定夹801上设有搭扣802，所述搭扣802与卡块803对应设置，所述装夹工装5上对称设有把手9，所述框架1的底端设有万向轮11，所述框架1为采用铝型材制成。
42.上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。