专利名称：尾气吸收塔的制作方法
技术领域：
本实用新型主要涉及一种化学气相沉积法中，用于尾气排放的装置，具体涉及一种尾气吸收塔。
背景技术：
化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术， 是在相当高的温度下，混合气体与基体表面相互作用，使混合气体中的某些成分分解，并在基体上形成一种金属或化合物的固态薄膜或镀层。近年来，为了提高金属切削工具及金属材料的耐磨性，也采用CVD技术进行表面薄膜或镀层。在CVD方法中，基本组成包含初始气源，而初始起源包括惰性气体(如氮或氩)，还原气体(如氢气)以及各种反应气体(如甲烷、 二氧化碳、水蒸气、氨)。大量混合气体进入反应室，CVD的反应温度通常为900 2000°C， 因此，高温下，产生大量的酸性气体，如果将这些尾气直接排入大气中，势必对环境造成很大的破坏。
发明内容为了解决以上问题，本实用新型提供一种净化尾气，减少对环境造成危害的尾气吸收塔。本实用新型是通过如下技术方案实现的尾气吸收塔，包括塔体，塔体上、下两端分别设有尾气入口和尾气出口，其特征在于塔体下端设有吸收液出口，点火装置安装在尾气入口的下端，在塔体内尾气入口的上端安装伞形挡板，伞形挡板上端安装喷淋装置I，尾气出口通过管路与引风机连接。上述的尾气吸收塔，为了进一步净化进入大气中的尾气，在塔体内还设有喷淋装置II，喷淋装置II安装在尾气出口的下端。本实用新型的有益效果是本实用新型由于设置了点火装置，CVD反应产生的尾气经管道进入点火装置，点火后产生的烟气，在引风机的作用下，从尾气入口进入塔体内。 由于设有喷淋装置，由喷淋装置喷淋碱性中和液，吸收烟气，吸收液顺着伞形挡板流向塔体下端，经吸收液出口收集，集中处理，因此净化了尾气。由于在尾气出口处设置第二道喷淋装置，进一步净化了尾气，减少对大气造成的破坏。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，尾气吸收塔，包括塔体(3)，塔体(3)上、下两端分别设有尾气入口(6) 和尾气出口(1)，塔体(3)下端设有吸收液出口(9)，点火装置(8)安装在尾气入口(6)的下端，在塔体(3)内尾气入口(6)的上端安装伞形挡板(5)，伞形挡板(5)上端安装喷淋装置I(4)，尾气出口(1)通过管路与引风机(10)连接。上述的尾气吸收塔，设有喷淋装置II (2)，喷淋装置II (2)安装在尾气出口(1)的下端。本实用新型的工作原理是CVD反应产生的尾气经管道(7)进入点火装置，点火后产生的烟气，在引风机的作用下，从尾气入口和伞形挡板之间的空隙进入塔体内。由喷淋装置喷淋碱性中和液，吸收烟气，吸收液顺着伞形挡板流向塔体下端，经吸收液出口收集，集中处理，因此净化了尾气。
权利要求1.尾气吸收塔，包括塔体(3)，塔体(3)上、下两端分别设有尾气入口(6)和尾气出口(1)，其特征在于塔体(3)下端设有吸收液出口(9)，点火装置(8)安装在尾气入口(6)的下端，在塔体(3)内尾气入口(6)的上端安装伞形挡板(5)，伞形挡板(5)上端安装喷淋装置 I (4)，尾气出口(1)通过管路与引风机(10)连接。
2.按照权利要求1所述的尾气吸收塔，其特征在于设有喷淋装置II(2)，喷淋装置II(2)安装在尾气出口(1)的下端。
专利摘要本实用新型涉及尾气吸收塔。采用的技术方案是包括塔体，塔体上、下两端分别设有尾气入口和尾气出口，其特征在于塔体下端设有吸收液出口，点火装置安装在尾气入口的下端，在塔体内尾气入口的上端安装伞形挡板，伞形挡板上端安装喷淋装置Ⅰ，尾气出口通过管路与引风机连接。本实用新型由于设置了点火装置，CVD反应产生的尾气经管道进入点火装置，点火后产生的烟气，在引风机的作用下，从尾气入口进入塔体内。由于设有喷淋装置，由喷淋装置喷淋碱性中和液，吸收烟气，吸收液顺着伞形挡板流向塔体下端，经吸收液出口收集，集中处理，因此净化了尾气。由于在尾气出口处设置第二道喷淋装置，进一步净化了尾气，减少对大气造成的破坏。
文档编号B01D53/78GK202224041SQ20112030085
公开日2012年5月23日 申请日期2011年8月18日 优先权日2011年8月18日
发明者朴万成, 李成哲, 李权星, 梁旭光, 王宏刚, 王树才, 申光哲, 金上万, 金哲男, 黄宇哲 申请人:沈阳金研机床工具有限公司