一种推车式气体处理设备的制作方法

本实用新型涉及气体净化技术领域，具体是推车式气体处理设备。

背景技术：

通常的半导体厂房中，洁净气体统一储存于特定的储存槽之内，并通过厂房管路，给厂房的特定地点提供。由于气体分析仪、校正器等设备均需要使用洁净气体，而气体分析仪等设备仅能在厂房的特定地点使用，造成使用上的不便，也形成了检测上的死角。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种移动方便、安全可靠、净化效率高的推车式气体处理设备。

为了实现上述目的，本实用新型推车式气体处理设备，包括：

壳体，所述壳体底部设有滚轮，所述壳体内设有抽屉式摆放空间；

气体净化装置，所述气体净化装置设于所述壳体内，包括：

第一缓冲槽；

供气压缩泵，所述供气压缩泵从所述壳体外吸取环境气体，并将环境气体导入至所述第一缓冲槽；

除水器，所述除水器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体的水分；

微粒过滤器，所述微粒过滤器连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体中的微粒；

储气槽，环境气体经过所述除水器及所述微粒过滤器处理后成为洁净气体，所述洁净气体被导入并存放于所述储气槽中。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述壳体内还设有斜式面板。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述壳体内设有抽屉式托盘。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述壳体还设有空气滤网。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述抽屉式摆放空间包括散热系统和带有散热孔的散热架，设于所述壳体内，以供至少一仪器散热。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述仪器为连通所述储气槽的气体分析仪，所述气体净化装置为所述气体分析仪提供洁净气体。

上述的推车式气体处理设备，其中，还包括所述壳体内的环形管，所述环形管连通所述第一缓冲槽，所述环形管冷却环境气体。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括定时排水装置和卸水储水瓶，所述卸水储水瓶连通所述定时排水装置，所述定时排水装置连接所述除水器，并且所述定时排水装置使所述卸水储水瓶定时收集所述除水器从环境气体去除的水分。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括干燥器，环境气体依序经过所述环形管、除水器和微粒过滤器，所述环境气体干燥并达到-60oC以下之露点的条件而成为洁净气体，所述洁净气体从所述干燥器进入所述储气槽。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括气体切换开关，，设于所述壳体内，并连通于所述干燥器以及所述储气槽之间，其中，所述气体切换开关选择性切换所述洁净气体或外部输入的洁净气体进入所述储气槽。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括连接所述储气槽的安全泄压单元，所述安全泄压单元检测所述储气槽内的气体压力并且当所述储气槽内的气体压力超过预设的安全压力值时自动进行泄压。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括第一压力控制单元以及第二压力控制单元，所述第一压力控制单元连接所述储气槽，第二压力控制单元连接所述第一压力控制单元，所述第一压力控制单元以及所述第二压力控制单元依次以第一压力控制参数以及第二压力控制参数对所述洁净气体进行压力控制，所述第一压力控制参数大于所述第二压力控制参数。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述气体净化装置还包括缓冲槽，设于所述壳体之中，并且所述第二压力控制单元连接所述缓冲槽，所述缓冲槽连通至少一仪器，所述缓冲槽用以暂存所述第二压力控制单元降压后的洁净气体后导入降压后的洁净气体至所述至少一仪器。

上述的推车式气体处理设备，其中，还包括电源控制装置，设于所述壳体之中，并连接所述气体净化装置以及所述至少一仪器，所述电源控制装置对所述气体净化装置以及所述至少一仪器进行供电控制。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括电路板，设于所述壳体之中，所述电路板包括温度安全单元，其具有温度保护功能、过载跳脱开关以及压力控制单元。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括不断电单元，设于所述壳体内，并连接所述电路板。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括紧急停止按钮，设于所述壳体内，并且连接于所述不断电单元以及外部电源之间，用以紧急停止供电。

上述的推车式气体处理设备，其中，所述电源控制装置还包括第二过载跳脱单元以及滤波单元，设于所述壳体内，并且所述第二过载跳脱单元连接所述不断电单元以及所述滤波单元，所述滤波单元接收并滤除外部电源的噪声，所述第二过载跳脱单元当外部电源过载时进行断电。

实用新型的有益效果是：移动方便、安全可靠、净化效率高。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型操作示意图；

图3是本实用新型结构框图；

图4是本实用新型电源控制装置结构框图。

其中，附图标记

1~推车式气体处理设备

10~气体净化装置

11~壳体

12~滚轮

13~抽屉式摆放空间

14~抽屉式托盘

15~空气滤网

21~第一缓冲槽

22~第二缓冲槽

31~供气压缩泵

32~真空泵

41~除水器

42~微粒过滤器

43~环形管

44~干燥器

50~卸水储水瓶

51~定时排水装置

52~气体切换开关

60~储气槽

61~安全泄压装置

70~压力控制单元

80~气体杂质吸附过滤器

81~第一压力控制单元

82~第二压力控制单元

90~第三缓冲槽

200~仪器

300~电源控制装置

301~温度安全单元

302~第一过载跳脱单元

303~压力控制单元

304~电路板

305~电源供应单元

306~紧急停止按钮

307~不断电单元

308~第二过载跳脱单元

309~滤波单元

310~插头

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作具体的描述：如图1至4所示，本实用新型提供一种可移动的推车式气体处理设备1，其内部设有抽屉式摆放空间13以及气体净化装置10，抽屉式摆放空间13可供放置分析仪、校正器等仪器，气体净化装置10可以在厂房各处将环境气体净化为洁净气体，并将洁净气体供分析仪、校正器等仪器使用。

电源控制装置300提供多重安全保护机制，监测推车式气体处理设备1内部的各部件的运转情况以及外部供电情况，并于异常发生时及时供电或断电，以延长推车式气体处理设备中各部件的使用寿命。

如图1所示，推车式气体处理设备1包括壳体11、滚轮12、抽屉式摆放空间13以及抽屉式托盘14。抽屉式托盘14以及抽屉式摆放空间13设于壳体11内。滚轮12设于壳体11底部，推车式气体处理设备1可依使用者需求在厂房内移动。

实施例中，壳体11可为不锈钢材质并且符合人体工学操作。壳体11具有一斜式面板，抽屉式摆放空间13为可抽出式，通过推拉方式移出，可以同时放置多台气体处理仪器如分析仪、校正器等以供使用。抽屉式摆放空间13是具有散热系统及带散热孔的散热架空间。抽屉式摆放空间13可以有一或多个可抽出式带散热孔的散热架。

参照图2，本实施例中，壳体11的抽屉式摆放空间13可包括一或多个可抽出式带散热孔的散热架，可以抽出以供一或多台仪器200例如气体分析仪摆放。举例来说，另一实施例中，散热架可迭放多台气体分析仪200。推车式气体处理设备1内部包括气体净化装置10、至少一仪器200以及电源控制装置300。气体净化装置10连通该至少一仪器200，该仪器200可以为气体分析仪、校正器或是其他仪器，该气体净化装置10对该仪器200供应洁净气体。

可抽出式散热架具有散热孔，可供设置于其中的仪器200方便排出热气以进行散热。壳体11的两侧如前侧、右侧可包括门板，该门板可以打开以方便对内部部件进行维修与保养。该抽屉式托盘14可为弹出式，可放置输入设备例如金属工业键盘及鼠标等以进行各项输入。

参照图1，壳体11还包括空气滤网15如超高效率空气滤网(Ultra Low Penetration Air Filter，ULPA)散热滤网，空气滤网15设于壳体11底部，可滤除该推车式气体处理设备1内部的微粒，净化空气，并可提供内部仪器的散热，以保护内部部件。

参照图3，气体净化装置10包括第一缓冲槽21、供气压缩泵31、除水器41、微粒过滤器42、环形管43、干燥器44、卸水储水瓶50、定时排水装置51、气体切换开关52、储气槽60以及安全泄压装置61，上述组件均设于壳体11内。

供气压缩泵31从该壳体11之外吸取环境气体，并将环境气体导入至第一缓冲槽21，第一缓冲槽21用以暂存环境气体，使环境气体以较稳定的压力进入环形管43。

环境气体依序经过环形管43、除水器41以及微粒过滤器42，进入干燥器44。环形管43用于冷却环境气体。除水器41去除环境气体的水分。微粒过滤器42去除环境气体中的微粒。干燥器44将环境气体干燥并达到-60oC(含以下)露点的条件而成为洁净气体。该环境气体经过环形管43、除水器41、微粒过滤器42以及干燥器44的处理后，成为该洁净气体，该洁净气体从干燥器44进入储气槽60。

定时排水装置51连接除水器41以及微粒过滤器42，其包括一定时器以及滤水阀，定时排水装置51收集除水器41以及微粒过滤器42从环境气体中所去除的水分并于定时器所设定的时间到达时自动打开滤水阀进行泄水。由此，可避免滤水阀因卡垢而漏气，有效防止因漏气而造成泵异常运转不停，进而使机器产生异常工作状况的情形发生。

卸水储水瓶50连接定时排水装置51，可通过定时排水装置51周期性地收集除水器41从环境气体中所去除的水分。

洁净气体被导入及存放于储气槽60之中，储气槽60内的气体压力大于1大气压，例如，介于40psi~80psi之间，其气体供应速率可以为，例如，每分钟1.5公升。

气体切换开关52，设于壳体11内，并连通于干燥器44以及储气槽60之间，其中，气体切换开关52可依使用者需求来选择性切换干燥器44产生的洁净气体或外部输入的洁净气体例如厂区干燥洁净空气(clean dry air, CDA)进入该储气槽60。由此气体净化装置10所产生的洁净气体以及外部输入的洁净气体的交叉使用，可避免供气压缩泵31频繁运转，从而延长其使用寿命。

安全泄压单元61，连接储气槽60，可侦测储气槽60内的气体压力并且当储气槽60内的气体压力超过预设的安全压力值时自动进行泄压，以稳定储气槽60内的气体压力，防止储气槽60内的气体压力过大。

实施例中，气体净化装置10包括控制单元，控制单元根据储气槽60所提供的气体压力，控制供气压缩泵31的运作，储气槽60连通压力控制单元70，压力控制单元70电性连接控制单元，压力控制单元70感测储气槽60所提供的气体压力。

参照图3，气体净化装置10连通仪器200，该仪器200可以为气体分析仪、校正器或是其他仪器，仪器200连通该储气槽60，由此，气体净化装置10对该仪器200供应洁净气体。该洁净气体进入该仪器200，可进一步由气体杂质吸附过滤器80所滤净。该洁净气体进入该仪器200之前，可进一步由第一压力控制单元81以及第二压力控制单元82控制该洁净气体的压力值。第一压力控制单元81的压力控制参数大于第二压力控制单元82的压力控制参数。举例来说，第一压力控制单元81可将该洁净气体的压力值控制在如10-20psi，而第二压力控制单元82则将该洁净气体的压力值降至如10psi。该洁净气体依序经由第一压力控制单元81以及第二压力控制单元82降压之后导入至第三缓冲槽90。该第二压力控制单元82连接该第三缓冲槽90并且该第三缓冲槽90连通仪器200。该第三缓冲槽90用以暂存降压后的该洁净气体，使该洁净气体以较稳定的压力进入仪器200。

在上述实施例中，仪器200更搭配第二缓冲槽22以及一真空泵32，该第二缓冲槽22连通该仪器200，该真空泵32连接该第二缓冲槽22。真空泵32用以维持仪器200的真空度，该第二缓冲槽22用以将仪器内气体以较稳定的压力由该真空泵32抽出。在本实施例中，第三缓冲槽90为铁氟龙材质，第一缓冲槽21、第二缓冲槽22以及储气槽60为白铁材质，以提升该洁净气体的洁净度。

参照图3，推车式气体处理设备1，还包括电源控制装置300，该电源控制装置300连接该气体净化装置10以及仪器200，用以提供该气体净化装置10以及仪器200的各部件所需的电力并包括多重安全跳脱单元，用以保护电力的供应。

参照图4，电源控制装置300包括温度安全单元301、第一过载跳脱单元302、压力控制单元303、电路板304、电源供应单元305、紧急停止按钮306、不断电单元307、第二过载跳脱单元308、以及滤波单元309。上述组件均设于壳体内并且温度安全单元301、第一过载跳脱单元302以及压力控制单元303设于电路板304上。

滤波单元309，电性连接插头310，接收外部交流电源并过滤外部电源的突波，以滤除电源噪声，防止外部干扰进入推车式气体处理设备1。

第二过载跳脱单元308，电性连接该滤波单元309，该第二过载跳脱单元308感测外部电源的负载量，当外部电源的负载量超过其最大额定安全负载量时，该第二过载跳脱单元307执行断电以保护内部组件。

不断电单元307，电性连接该第二过载跳脱单元308，可于外部电源切断时提供电力，以维持该推车式气体处理设备1的运转。紧急停止按钮306，连接该不断电单元307，可手动切断电力，以立即停止该推车式气体处理设备1的运转以保护内部组件。

电路板304，包括温度安全单元301、第一过载跳脱单元302以及压力控制单元303。该温度安全单元301具有温度保护功能，感测推车式气体处理设备1的各部件的温度，当推车式气体处理设备1的部件过度运转而温度过高时，该温度安全单元301执行断电以保护内部组件。该第一过载跳脱单元302，感测推车式气体处理设备1各部件的负载量，当推车式气体处理设备1的部件过度运转而超过其最大额定负载量时，该第一过载跳脱单元302执行断电以保护内部组件。压力控制单元303电性连接压力控制单元70，压力控制单元70感测该储气槽60所提供的气体压力，当储气槽60所提供的气体压力过大时，该压力控制单元303可执行断电以保护内部组件。

电源供应单元305，电性连接该电路板304，可提供该推车式气体处理设备1内部各部件例如仪器200以及电子式组件如定时排水装置51等所需的直流电力。

在本实施例中，推车式气体处理设备1可同时连通多个仪器200。

在实施例中，由于将第一缓冲槽、供气压缩泵、除水器、微粒过滤器、环形管、干燥器、卸水储水瓶以及储气槽等组件整合在推车式气体处理设备的气体净化装置之中，因此可于厂房各处将环境气体净化为洁净气体，并将该洁净气体供分析仪、校正器等装置使用。在实施例中，内部具有抽屉式摆放空间，可很容易地同时放置多台气体处理仪器来使用该洁净气体或外部的洁净气体。另外，由于电路具有多重安全跳脱开关，可根据运转情形适时提供断电或供电，以层层保护内部部件的运转，延长内部部件的寿命。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。