一种自动硅片涂胶机的制作方法

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种自动硅片涂胶机。

背景技术：

随着半导体行业的生产和技术发展，对生产设备的自动化要求越来越高。硅片的涂胶处理是半导体行业必不可少的环节。以往硅片的涂胶多是靠人工手动完成，工作效率低，且难以保证最终的胶膜厚度和均匀程度。因此，急需提供一种涂胶效率高且涂胶均匀的自动涂胶机。

技术实现要素：

针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供一种自动硅片涂胶机，其通过设置的多个涂胶盒内实现自动涂胶，依次取放，提高了涂胶效率，且能实现涂胶均匀的效果。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：

一种自动硅片涂胶机，包括机架，机架的上端设有控制屏，下端设有工位，所述工位上设有多个涂胶盒，且所述涂胶盒内设有可旋转的吸盘，所述涂胶盒上设有盒盖，且盒盖上设有进胶管，所述盒盖上设有连接杆，且连接杆的后端可旋转的装设于涂胶盒的后侧并通过驱动装置驱动连接杆的旋转带动盒盖的关闭，所述工位的两侧分别设有烘干板。

优选的，所述工位的中部设有安装槽，所述涂胶盒装设于所述安装槽内，所述吸盘设于所述涂胶盒内并通过设置于工位下部的驱动电机驱动旋转。

优选的，所述工位的前侧设有废物回收槽，且废物回收槽的一侧设有分别控制驱动装置工作的开关，进而控制所述连接杆带动盒盖的关闭。

优选的，所述机架的一侧设有储胶桶，且该储胶桶通过进胶管于涂胶盒实现硅片的涂胶，所述进胶管上设有电磁阀，电磁阀和驱动装置通过控制系统控制，且可通过控制屏设置电磁阀的开闭及驱动装置驱动盒盖打开的间隔时间。

优选的，所述吸盘中部开设有通气孔，与外接真空设备连通，所述吸盘的上表面开设有多个环形槽，且吸盘上横向开设有连通多个环形槽和通气孔的连通槽。

优选的，所述烘干板通过电加热，且可通过控制屏设置烘干温度，所述烘干板上设有若干凸条，以便于硅片的烘干取放。

优选的，所述盒盖采用透明玻璃材料。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型采用吸盘的旋转及进胶管进胶实现自动涂胶，且多个涂胶盒同时工作，并自动控制涂胶，提高了工作效率及涂胶质量；

2、所述吸盘中部开设有通气孔，与外接真空设备连通，所述吸盘的上表面开设有多个环形槽，且吸盘上横向开设有连通多个环形槽和通气孔的连通槽，采用上述结构设计，增加了硅片的吸附面积，提高了硅片吸附的稳定性。下面结合附图与实施例，对本实用新型进一步说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的主视图；

图2是图1中工位出的俯视图；

图3是图2中吸盘的结构示意图；

图4是图2中烘干板的结构示意图。

图中各附图标记说明如下。

机架1、控制屏2、工位3、涂胶盒4、吸盘5、通气孔5a、环形槽5b、连通槽5c、盒盖6、进胶管7、连接杆8、烘干板9、凸条9a、安装槽10、驱动电机11、废物回收槽12、开关13、储胶桶14。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1和图2，一种自动硅片涂胶机，包括机架1，机架1的上端设有控制屏2，下端设有工位3，所述工位3上设有多个涂胶盒4，且所述涂胶盒4内设有可旋转的吸盘5，所述涂胶盒4上设有盒盖6，且盒盖6上设有进胶管7。所述盒盖6上设有连接杆8，且连接杆8的后端可旋转的装设于涂胶盒4的后侧并通过驱动装置驱动连接杆8的旋转带动盒盖6的关闭，所述工位3的两侧分别设有烘干板9。本实用新型采用上述结构设计，通过吸盘5吸附固定所述硅片，并通过驱动装置驱动连接杆8带动盒盖6关闭同时向硅片上涂胶，通过吸盘5的旋转出现的离心运动使硅片上的胶水均匀分布其上实现涂胶，提高了涂胶质量；多个涂胶盒4的设置可实现依次涂胶取放，提高了工作效率。所述烘干板9的设置可实现涂胶完成后的硅片烘干的作用，且可通过所述控制屏2设定烘干板9的烘干温度，盒盖6的打开时间及进胶管7的进料间隔时间及进料量。

进一步的，所述工位3的中部设有安装槽10，所述涂胶盒4装设于所述安装槽10内，所述吸盘5设于所述涂胶盒4内并通过设置于工位3下部的驱动电机11驱动旋转。所述安装槽10的设计不仅可实现涂胶盒4的安装，还可以实现在涂胶过程中出现胶水溢出硅片外侧缘时对多余胶水回收的作用，在本实施例中，所述涂胶盒4的四周封闭，下端连通便于多余胶水回收，四周封闭主要避免在吸盘5高速转动过程中出现多余胶水洒出的情况。

所述工位3的前侧设有废物回收槽12，用于在工位上的废弃物收集，且废物回收槽12的一侧设有分别控制驱动装置工作的开关13，进而控制所述连接杆8带动盒盖6的关闭。

所述机架1的一侧设有储胶桶14，且该储胶桶14通过进胶管7于涂胶盒4实现硅片的涂胶，所述进胶管7上设有电磁阀，电磁阀和驱动装置通过控制系统控制，且可通过控制屏2设置电磁阀的开闭及驱动装置驱动盒盖6打开的间隔时间。在本实施例中，所述控制系统设置：每个盒盖6设置关闭后的自动打开时间及驱动电机11的工作间隔时间及电磁阀的开闭间隔时间，工作时，当人工将硅片放置在吸盘5上后，通过按下开关13关闭后，所述驱动电机11旋转同时电磁阀打开实现涂胶，设置的涂胶时间完毕后，电磁阀自动关闭，盒盖6自动打开，同时驱动电机11关闭即可取下硅片。

请参阅图3，具体的，所述吸盘5中部开设有通气孔5a，与外接真空设备连通，所述吸盘5的上表面开设有多个环形槽5b，且吸盘5上横向开设有连通多个环形槽5b和通气孔5a的连通槽5c。采用上述结构设计，增加了硅片的吸附面积，提高了硅片的稳定性。

请参阅图4，在本实施例中，所述烘干板9通过电加热，且可通过控制屏2设置烘干温度，所述烘干板9上设有若干凸条9a，以便于硅片的烘干取放。

在本实施例中，所述盒盖6采用透明玻璃材料，以便于观察涂胶情况。

本实用新型工作原理：首先，将硅片放置在吸盘5上吸附固定，然后按下开关13关闭所述盒盖6，同时所述驱动电机11带动吸盘5旋转，电磁阀打开并开始涂胶，一定时间后，涂胶完成，电磁阀和驱动电机11自动关闭，盒盖6自动打开取下硅片放置于所述烘干板9上即可，本实用新型多个涂胶盒4的设置可依次进行取放涂胶，提高了涂胶效率。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制，采用与其相同或相似的其它装置，均在本实用新型保护范围内。