一种材料纯化真空装置的制作方法

文档序号:20403224发布日期:2020-04-14 21:10阅读:139来源:国知局
一种材料纯化真空装置的制作方法

本实用新型涉及材料纯化设备技术领域,尤其涉及一种材料纯化真空装置。



背景技术:

有机半导体材料已经广泛应用于有机场效应晶体管、有机太阳能电池、有机发光二极管(oled)等多个领域。尤其是oled行业发展迅速,oled具有宽广角、高对比度和更快的响应时间等优点,已经在显示领域得到广泛的应用。高纯度的有机半导体材料是必不可少的。

有机材料中的杂质会破坏分子堆砌的规律性,这些缺陷会严重影响oled器件的效率及寿命,因此提高有机半导体材料的纯度对提高oled器件性能起着至关重要的作用。目前国内外常用的纯化方法为梯度温区纯化法,通过设置不同温区的温度,在物料承接玻璃管上形成一定的温度梯度,将需要进行纯化的材料放置在高温加热区,使待纯化材料发生从固态直接到气态或者从固态到液态再到气态的转变。气态的材料扩散到低温区内沉积,再直接转变为固态或先转变为液态再至固态。一般情况下,高纯度的目标材料沉积在靠近高温加热区很短的距离内,杂质的沉淀区则远离高温加热区,从而达到了分离杂质的目的。这种方法在加热时,加热区通常只能加热材料接触到物料管底部的部分,材料受热面积小,受热不均匀,导致物态转变速度慢。同时,纯化后的材料沉淀在管壁上,收集这些材料时操作复杂。这些问题在大规模量产中尤为突出,会极大影响纯化效率和纯化后材料的纯度,亟待解决。

现有技术的材料纯化真空装置中,材料受热面积小、受热不均匀,物态转变速度慢,还存在加热速度慢,且物料容器的温度测量不准确可能导致加热温度过低或过高的现象发生。同时,由于必须承受高温及高真空,对真空腔的强度要求较高。而且现有技术的该类纯化装置中,通常需要一根内管和一根外管配套使用,内管用于盛放材料,外管用于制备真空环境,在外管外再设置包括加热组件在内的装置壳体,导致纯化装置的结构复杂,生产成本较高。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提出一种材料纯化真空装置,该材料纯化真空装置既能使得待纯化材料受热较为均匀,提高纯化效果,又能提高物态转变速度,缩短物态转变时间。

一种材料纯化真空装置,包括:壳体,所述壳体限定出真空腔;控温模组,所述控温模组在所述真空腔内;物料容器,所述物料容器可转动的设在所述真空腔内,所述物料容器可被所述控温模组控温。

本实用新型的材料纯化真空装置,由于物料容器可转动地设在真空腔内,纯化过程中待纯化物料能够跟随物料容器的转动发生翻滚,使得待纯化材料受热面积增大,受热较为均匀,提升了纯化的效果。此外,由于控温模组设在真空腔内,不但简化了材料纯化真空装置的结构,还能使得物料容器的加热速度更快,提高了待纯化材料的物态转变速度,从而提高了纯化效率。

在一些实施例中,所述的材料纯化真空装置,还包括转动驱动装置,所述转动驱动装置用于驱动所述物料容器转动。

在一些具体的实施例中,所述转动驱动装置包括驱动机构和磁力传动机构,所述驱动机构通过所述磁力传动机构驱动所述物料容器转动。

在一些更具体的实施例中,所述物料容器的转速范围为:1r/min-200r/min。

在一些实施例中,所述的材料纯化真空装置,还包括抽真空装置,所述抽真空装置用于将所述真空腔抽成真空状态。

在一些更具体的实施例中,所述抽真空装置包括:真空泵系统和真空阀,所述真空泵系统用于将所述真空腔抽成真空状态,所述真空阀设在真空泵系统与所述壳体之间。

在一些可选的实施例中,所述抽真空装置还包括冷肼,所述冷肼用于吸附杂质。

在一些实施例中,所述物料容器由至少两个管状容器串联组成。

在一些实施例中,所述壳体还设置有照明灯、观察开口、放气阀和壳体门。

在一些实施例中,所述真空腔的工作真空度不超过0.001pa。

在一些实施例中,所述控温模组的控温范围为:5-800℃。

在一些实施例中,所述控温模组为至少两个,每个所述控温模组能独立地控温。

在一些实施例中,所述的材料纯化真空装置,还包括检测所述物料容器温度的温度检测器和控制所述控温模组的温度控制器。

在一些实施例中,所述控温模组与所述物料容器间距小于5cm。

在一些实施例中,所述的材料纯化真空装置,还包括滑动托架,所述控温模组和所述物料容器放置所述滑动托架上。

在一些具体的实施例中,所述滑动托架与所述控温模组之间设置隔热垫。

在一些实施例中,所述的材料纯化真空装置,还包括冷却装置,所述冷却装置用于冷却所述物料容器。

在一些实施例中,所述物料容器在一端设置有滤网。

在一些实施例中,所述真空腔内还设有可拆卸的衬板。

在一些实施例中,相邻两个所述控温模组之间设置有隔热板。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的材料纯化真空装置的结构示意图。

图2是本实用新型具体实施方式提供的材料纯化真空装置的局部结构示意图。

图3是本实用新型具体实施方式提供的物料容器的结构示意图。

图4是本实用新型具体实施方式提供的另一个物料容器的结构示意图。

图5是本实用新型具体实施方式提供的又一个物料容器的结构示意图。

图6是本实用新型具体实施方式提供的再一个物料容器的结构示意图。

附图标记:

1、壳体;1a、壳体门;1b、真空腔;2、衬板;3、冷却装置;4、照明灯;5、滤网;6、真空阀;7、冷肼;8、真空检测器;9、分子泵;10、前级机械泵;11、放气阀;12、观察开口;13、磁力传动机构;14、驱动机构;15、控温模组;16、物料容器;17、温度检测器;18、温度控制器;19、隔热板;20、滑动托架;21、隔热垫。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征,用于区别描述特征,无顺序之分,无轻重之分。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图6描述本实用新型实施例的材料纯化真空装置的具体结构。

如图1所示,本实用新型实施例的材料纯化真空装置包括壳体1、控温模组15和物料容器16,壳体1限定出真空腔1b,控温模组15在真空腔1b内,物料容器16可转动的设在真空腔1b内,物料容器16可被控温模组15控温。

可以理解的是,由于物料容器16可转动地设在真空腔1b内,因此在纯化过程中物料容器16可以在真空腔1b内转动,也就是说在纯化过程中待纯化物料能够跟随物料容器16的转动发生翻滚,相比现有技术中仅加热物料管底部材料的技术方案,本实用新型的材料纯化真空装置的待纯化材料受热较为均匀,受热面积增大,提高了物态转变速度。这里需要额外说明的是,物料容器16的转动可以是绕物料容器16的中心线(如图1中所示)的旋转运动,也可以是绕驱动物料容器16转动的驱动装置的转动轴所在直线的旋转运动,物料容器16的转动可以是顺时针方向重复圆周转动,也可以是逆时针方向重复圆周运动,还可以是在任一个方向运动一定角度后,再向相反方向运动一定角度的反复运动,上述转动中也可以包括在任意位置的停顿。在此不对物料容器16的转动方向和方式作出具体限制,物料容器的转动方式可以根据实际需要作出选择。

此外,由于控温模组15设在真空腔1b内,相比现有内外管的纯化装置,本实用新型的材料纯化真空装置省略了外管,结构更加简单。并且由于控温模组15设在真空腔1b内,使得物料容器16的加热速度更快,提高了待纯化材料的物态转变速度,从而提高了纯化效率。与此同时,设在真空腔1b内的控温模组15能够更为准确地调整真空腔1b内温区的温度,从而在一定程度上提升纯化效果。这里需要说明的是,控温模组15可以设在物料容器16周围的任意位置,例如,物料容器16的下方、上方、物料容器16的一侧或者物料容器16的两侧等位置。在实际使用中,控温模组15可以根据实际需要设在真空腔1b内的任意位置。这里需要补充说明的是,控温模组15将物料容器16划分成多个温度分区,从而更好的实现物料纯化。

本实用新型的材料纯化真空装置,由于物料容器16可转动地设在真空腔1b内,纯化过程中待纯化物料能够跟随物料容器16的转动发生翻滚,使得待纯化材料受热较为均匀,提升了纯化的效果。此外,由于控温模组15设在真空腔1b内,不但简化了材料纯化真空装置的结构,还能使得物料容器16的加热速度更快,提高了待纯化材料的物态转变速度,从而提高了纯化效率。

在一些实施例中,控温模组15为至少两个,每个控温模组15能独立地控温。因此,多个控温模组可根据实际情况独立地设定是否工作、工作状态以及工作温度。控温模组15的材质可以为导热性能良好的金属,例如黄铜、铝等。控温模组15可以是电阻炉或者电磁感应炉等加热炉,当然,控温模组15的材料、类型均可根据实际情况选择并不限于上述方式。控温模组的优选个数为2-10个,更优选的个数为3-5个。

这里需要说明的是,控温模组15是指可独立控制的最小单元,例如,在有的实施例中,多个控温模组15可以是多个独立的控温设备,而在有实施例中,一个控温设备上设置有多个可以独立控制的控温模组。

在一些实施例中,材料纯化真空装置还包括转动驱动装置,转动驱动装置用于驱动物料容器16转动。可以理解的是,转动驱动装置的存在能够保证物料容器16能够稳定的转动,保证了物料容器16内的待纯化材料的受热均匀度,提高了待纯化物料的物态转变速度,从而提高了材料纯化真空装置的纯化效率。

在一些具体的实施例中,如图1所示,转动驱动装置包括驱动机构14和磁力传动机构13,驱动机构14通过磁力传动机构13驱动物料容器16转动。可以理解是,采用磁力传动机构13作为驱动机构14与物料容器16之间的连接器,能够在保证物料容器16能够稳定转动的同时无需在壳体1上开设安装转轴和联轴器的轴孔,这样既简化了壳体1及转动驱动装置的结构,又保证了真空腔1b的密封性,较好地避免了纯化过程中由于壳体1漏气导致的待纯化材料氧化的现象。这里需要额外说明的是,磁力传动机构仅是优选的方式,并不限制采用其他传动机构。转动驱动装置的作用是驱动物料容器16转动,在此不对转动驱动装置的位置作出限制,也就是说,在某些实施例中,转动驱动装置也可位于真空腔1b内,即驱动机构14和传动机构均设在真空腔1b内部。而在某些实施例中,驱动机构14设在真空腔1b外,磁力传动机构13设在真空腔1b内。

此外,驱动机构14可以是伺服电机、步进电机、旋转气缸等旋转驱动件,也就是驱动机构14可以根据实际情况做出选择,在此不对驱动机构14的具体类型做出限定。

在一些更具体的实施例中,物料容器16的转速范围可为1r/min-200r/min,或可为5r/min-100r/min,或也可为10r/min-50r/min。可以理解的是,物料容器16的转速过大可能会造成材料飞溅,物料容器16的转速过大或者过小都会影响物料的受热均匀度,当物料容器16的转速范围在1r/min-200r/min时待纯化物料的受热均匀度较好,提高了待纯化物料的物态转变速度,从而提高了材料纯化真空装置的纯化效率。当然,物料容器16的转速可以根据实际需要做出适应性调整,并不限于本实施例的1r/min-200r/min。

在一些实施例中,材料纯化真空装置还包括抽真空装置,抽真空装置用于将真空腔1b抽成真空状态。由此,较好地实现了在纯化的过程中真空腔1b内的真空度较高,从而避免了待纯化材料氧化的现象发生。

在一些更具体的实施例中,如图1所示,抽真空装置包括真空泵系统和真空阀6,真空泵系统用于将真空腔1b抽成真空状态,真空阀6设在真空泵系统与壳体1之间。可以理解的是,将物料容器16内装好待纯化物料并且将物料容器16装入真空腔1b后,打开真空阀6启动真空泵,将真空腔1b抽成真空状态后控温模组15开始加热物料容器16。真空阀6和真空泵系统的存在保证了待纯化物料纯化过程中,真空腔1b内的真空度始终处于较高的状态,从而最大限度地避免了待纯化物料发生氧化的现象。

在一些可选的实施例中,如图1所示,抽真空装置还包括冷肼7,冷肼7用于吸附杂质。可以理解的是,真空腔1b内可能会存在一些杂质,在抽真空过程中这些杂质有可能进入真空泵系统中从而影响真空泵系统的正常工作,在真空泵系统和壳体1之间设置冷肼7能够将抽真空时抽到的杂质吸附住,避免杂质进入真空泵系统中从而影响真空泵系统的正常工作。冷肼7分为柱体和筒体两部分,柱体呈u形,用于存放干冰或液氮,制造低温环境,柱体与筒体中间通过密封圈连接。当然,在本实用新型的其他实施例中,抽真空装置可以根据实际需要选用其他过滤装置吸附杂质。

在一些可选的实施例中,如图1所示,真空泵系统包括前级机械泵10和分子泵9。首先需要说明的是,在有的实施例中,真空泵系统也可以包括前级机械泵10和冷凝泵,在有的实施例中,真空泵也可以包括前级机械泵10、分子泵9和冷凝泵。真空泵系统的结构并不限于上述方式,只要真空泵系统能将真空腔1b抽至所需要的真空条件即可,也就是说真空泵系统的可以根据实际需要选择部件。

可以理解的是,前级机械泵10可以将真空腔1b抽到低真空度的环境,然后再由分子泵9将真空腔1b到较高真空度的状态。当真空泵系统包括前级机械泵10和分子泵9时能够将真空腔1b抽吸到真空度较高的状态,如0.001pa,从而最大限度的避免纯化过程中待纯化物料发生氧化的现象。

在一些可选的实施例中,如图1所示,抽真空装置还包括真空检测器8,真空检测器8能够测量真空腔1b的真空度并且反馈给真空泵系统。可以理解的是,真空检测器8的存在能够实时监测真空腔1b的真空度,如果在纯化的过程中发生空气进入真空腔1b内时,能够及时通知用户,从而保证了纯化过程中物料容器16始终处于期望的真空环境下。

需要说明的是,物料容器16的形状不作限制。物料容器16的目的是承装待纯化物料,并能受控地转动。物料容器16可以是圆管状,如现有的纯化设备中所通常使用的一个直径单一的圆管。物料容器16也可以是由至少两个管状容器串联组成的,控温模组15设置在管状容器直径较大的部分,即盛放材料的区域。

在一些实施例中,如图3-图6所示,物料容器16由至少两个管状容器串联组成。如图3所示,物料容器16由五个球形管状容器串联组成。如图4所示,物料容器16由三个圆柱形管状容器串联组成。如图5所示,物料容器16由三个椭球形管状容器串联组成。如图6所示,物料容器16由两个椭球形管状容器和一个球形管状容器串联组成。这样能够增加物料容器16容纳的待纯化物料的数量,从而使得在一次纯化过程中纯化更多的待纯化物料。并且,在物料容器16转动过程中,材料保持在容纳空间中从而不易产生横向的位移,待纯化的物料能保持在期望的温区位置,纯化后的物料能降低被污染的几率,使得纯化速率更快和纯度更高。需要说明的是,物料容器16的材质可以是玻璃或者石英或者其他根据实际待纯化材料确定的其他材料。与此同时,管状容器可以包括球形、圆柱形、椭球形及其他形状等多种形状。而多个管状容器的形状可以是相同的也可以是不同的。

优选的,控温模组15可以设计成与管状容器的形状匹配,以尽可能地接近容器内盛放的材料,由此可以进一步提高待纯化物料的加热速度。

在一些实施例中,如图1-图2所示,壳体1还设置有照明灯4、观察开口12、放气阀11和壳体门1a。可以理解的而是,照明灯4能够照亮真空腔1b,从而方便实验人员从观察开口12观察物料状态。而当物料纯化完毕并降至室温后,可以打开放气阀11使得真空腔1b回到常压状态。

在一些实施例中,如图1所示,材料纯化真空装置还包括滑动托架20,控温模组15和物料容器16放置滑动托架20上。可以理解的是,控温模组15和物料容器16放置在滑动托架20上,且当壳体门1a打开时滑动托架20可以从真空腔1b内抽出,或者滑动托架20直接连接在壳体门1a上。由此,操作人员在纯化开始之前较为容易地将滑动托架20和其上的部件整体取出,并且朝其中的物料容器16内添加待纯化物料,并且,操作人员在纯化完毕之后,同样能够较为容易地将物料容器16取出并且取出纯化完毕后的物料。

在一些可选的实施例中,壳体1的内周壁上设有滑块,而滑动托架20上设有滑槽,这样能够避免滑动托架20在抽出过程中发生歪斜导致物料容器16碰撞壳体1的现象发生。

在一些具体的实施例中,如图2所示,滑动托架20与控温模组15之间设置隔热垫21。可以理解的是,隔热垫21能够降低控温模组15朝向滑动托架20的热量传递,减少热量向壳体1外扩散,从而使得控温模组15的能量绝大多数都用于加热物料容器16,这样保证了控温模组15的能量利用率。

在一些实施例中,真空腔1b的工作压力不超过0.001pa,例如可以为0.0009pa,0.0005pa,0.0001pa,或者0.00001pa。

在一些实施例中,控温模组15的控温范围为5-800℃,也可以为15-600℃,或者也可以为25-500℃。

在一些实施例中,材料纯化真空装置,还包括检测物料容器16温度的温度检测器17和控制控温模组15的温度控制器18。可以理解的是,温度检测器17与物料容器16贴合接触,可以准确监测物料容器16的温度,并进行显示或反馈。温度检测器17和温度控制器18的存在能够保证用户对物料容器16温度的实时监控,保证了纯化过程中物料容器16始终处于期望的温度,从而保证了纯化的效果。此外,多个控温模组15可在控温范围内的不同温度工作,能够使得物料容器16内出现多个独立温度分区,从而有利于待纯化材料纯化的进行。

在一些实施例中,控温模组15与物料容器16间距小于5cm。可以理解的是,控温模组15与物料容器16的距离较近能够较好提升待纯化物料的加热速度,从而提高物态转变速度。

优选地,控温模组15与物料容器16间距小于0.001cm。优选地,物料容器16与控温模组15直接贴合。

在一些可选的实施例中,物料容器16周围可包裹金属丝网,这样能够增加传热性能,使得物料容器16受热更均匀,从而保证纯化的效果。这里需要额外说明的是,金属丝网可采用铜、铝等导热性能较好的金属。

在一些实施例中,材料纯化真空装置还包括冷却装置3,冷却装置3用于冷却物料容器16。由此,当纯化完毕后物料容器16能够较为快速的冷却,从而缩短等待时间。冷却装置3可以为冷却盘管,在物态转变结束后冷却盘管内可通入液体冷媒或者氮气,或者5-30℃的冷却水,从而加快物料容器16的降温速度。

在一些实施例中,物料容器16在一端设置有滤网5。由此,滤网5可以过滤纯化过程中产生的杂质,一方面避免了这些杂质从物料容器16中进入到真空腔1b内,保证了真空腔1b内的洁净度,另一方面避免了真空腔1b内的杂质进入物料容器16从而影响纯化效果的现象发生。

在一些实施例中,真空腔1b内还设有可拆卸的衬板2。衬板2可以采用较为容易清洗且能承受高温和高真空的材料制成,如不锈钢等金属,这样既方便了长时间使用材料纯化真空装置后对壳体1内部的清洁,又保证了真空腔1b内的清洁度,避免了真空腔1b内的杂质对纯化的不良影响。

在一些实施例中,相邻两个控温模组15之间设置有隔热板19。隔热板19能够在一定程度上降低相邻两个控温模组15之间热传递影响不同温区的温度,使得对应每个控温模组15设置的物料容器16的部分的温度保持在所期望的状态,从而提高提纯的效果。这里需要说明的是,在本实用新型中,隔热板19仅仅起到隔热作用,在此不对隔热板19的大小、形状和材质做出具体限定。隔热板1大小、形状和材质可以根据实际需要做出选择。

实施例:

下面参考图1-图2描述本实用新型一个具体实施例的材料纯化真空装置的结构。

如图1-图2所示,本实施例的材料纯化真空装置包括壳体1、控温模组15、物料容器16、转动驱动装置、抽真空装置、滑动托架20、温度检测器17、温度控制器18和冷却装置3,壳体1限定出真空腔1b,壳体1还设置有照明灯4、观察开口12、放气阀11和壳体门1a。控温模组15为三个,控温模组15在真空腔1b内,物料容器16由三个球形管串联而成,每个球形管对应一个控温模组15设置且可被控温模组15独立控温。转动驱动装置包括驱动机构14和磁力传动机构13,驱动机构14通过磁力传动机构13驱动物料容器16转动,抽真空装置用于将真空腔1b抽成真空状态,抽真空装置包括真空泵系统、真空阀6、真空检测器8和冷肼7,真空泵系统用于将真空腔1b抽成真空状态,真空阀6与壳体1相连,且真空阀6、冷肼7、真空检测器8和真空泵系统依次相连。真空泵系统包括前级机械泵10和分子泵9。滑动托架20设在真空腔1b内,物料容器16和控温模组15均设在滑动托架20上。温度检测器17用于检测物料容器16温度,温度控制器18用于控制控温模组15的温度,冷却装置3设在滑动托架20上,冷却装置3用于物态转变完成后材料的冷却。

本实施例的材料纯化真空装置,在真空腔1b内设置物料容器16与控温模组15,且物料容器16能在真空腔1b内转动,增大了材料受热面积,使材料受热更均匀,提高材料物态转变速度。同时相对于现有技术,省略了外管,使得物料容器16加热更快,控温更精确,大大提高材料物态转变速率。同时,真空腔1b内设有冷却装置3,在物态转变结束后,冷却装置3内可通入冷媒,使材料降温速度更快,提高了工作效率。本实施例的材料纯化真空装置尤其适合大规模工业化生产。

本实施例的材料纯化真空装置的工作过程如下:

在工作时,将待纯化材料装入物料容器16一端处,将物料容器16与磁力传动机构13固定好,关闭壳体门1a,关闭放气阀11,打开真空阀6,开启前级机械泵10,同时在冷肼7内放入干冰或者液氮。待真空腔1b的真空抽到10pa以下时,再打开分子泵9,直至真空腔内真空抽到0.001pa以下。通过温度控制器18设置升温程序对不同控温模块设定工作温度且三个控温模组工作在不同温度下,对材料进行加热。同时开启驱动机构14,设定转速,1-200转每分钟,使物料容器16转动。三个控温模组工作在不同温度下,使得物料容器16内形成不同温度的多个分区,可以理解为有从高到低的温度梯度。气态的物料从较高温区进入较低温区后,在较低温区的不同位置又转变回固态,通常目标材料会沉积在离较高温区近的位置,杂质会沉积在离较高温区远的位置,从而实现了目标材料和杂质的分离。物料在物料容器16较高温区内被加热,至到物料容器16内有材料沉积后,保持恒温。通过观察开口12观察,物料容器16较高温区内没有物料剩余后,停止加热,在冷却装置3内通入冷媒进行降温。待物料容器16降温至室温后,关闭真空阀6,关闭分子泵9,待转速降为0后关闭前级机械泵10,打开壳体1的放气阀11通入空气或者惰性气体破真空,待真空腔1b恢复到常压后,打开壳体门1a,取出物料容器16并且收集纯化后的材料。

在本说明书的描述中,参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包括于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1