一种光刻胶过滤装置的制作方法

本实用新型属于液晶显示器制造技术领域，具体涉及一种光刻胶过滤装置。

背景技术：

在半导体器件和平板显示面板制造的光刻工艺中，电路图形需要在基板表面涂布光刻胶，然后曝光、显影。现有技术中在基板表面涂布光刻胶的方法通常为离心涂布，具体方法为：将基板平放在涂布台面上，喷嘴利用均速泵产生的均匀压力，将光刻胶涂布在基板上，然后通过旋转单元使得光刻胶在基板上涂布均匀。然而，为了使光刻胶可以均匀地涂布于基板上，通常会先在基板上涂布大量光刻胶，然后旋转基板使光刻胶均匀涂布，这种涂布方式中大部分的光刻胶都在离心涂布的过程中被排入废液槽中，造成光刻胶利用率低下。而光刻胶材料又比较昂贵，因此生产成本也会大大增加。由此可见，光刻胶的重复利用是必不可少的，但光刻胶在重复利用前需要进行精密过滤方可使用。而现有的过滤装置难以满足其使用要求，因此，需要设计一种光刻胶过滤装置。

技术实现要素：

实用新型要解决的问题

为了解决现有技术中存在的对使用过的光刻胶过滤困难导致光刻胶难以重复利用的问题，本实用新型提供了一种光刻胶过滤装置。

用于解决问题的方案

本实用新型提供了一种光刻胶过滤装置。所述光刻胶过滤装置包括：

第一过滤罐，所述第一过滤罐的顶端设置有第一进料口，所述第一进料口上设置有阀门，所述第一过滤罐的底部呈倒锥形结构，所述第一过滤罐底部设置有第一出料口，所述第一过滤罐内设置有多层聚丙烯丝网，多层所述聚丙烯丝网从上到下按照z字形排布；以及

第二过滤罐，所述第二过滤罐设置于所述第一过滤罐下方，所述第二过滤罐的顶部设置有第二进料口、进气口和排气口，所述第二进料口和所述第一出料口连接，所述第二进料口上设置有阀门，所述第二过滤罐的底部呈锥形结构，在所述第二过滤罐的靠近底部的侧壁上设置有第二出料口，所述第二过滤罐内设置有聚四氟乙烯精密过滤芯。

在以上技术方案中，多层所述聚丙烯丝网从上到下按照z字形排布，使得待过滤的光刻胶在下落过程中沿倾斜设置的所述聚丙烯丝网流动，延长了光刻胶和所述聚丙烯丝网接触的时间，有助于过滤操作的进行，同时光刻胶中过滤出的杂质容易聚集在所述聚丙烯丝网和所述第一过滤罐侧壁的连接处，减少了所述聚丙烯丝网堵塞的可能，延长了所述聚丙烯丝网的使用时间。所述聚四氟乙烯精密过滤芯是一种以超细聚四氟乙烯纤维滤材为过滤介质的固定孔径深层过滤芯，滤材符合fda相关要求，其具有低压差、高流通量、使用寿命长的特性，并且具有性能稳定和广泛的化学兼容性。以上两种过滤芯相互配合，能将光刻胶中的杂质过滤干净，达到再次使用的要求。

所述第一过滤罐的底部呈倒锥形结构，有助于第一次过滤后的光刻胶排入所述第二过滤罐，减少光刻胶残留。所述第二过滤罐的底部呈锥形结构，在所述第二过滤罐的靠近底部的侧壁上设置有第二出料口，这种结构有助于第二次过滤后的光刻胶排出，便于从所述第二过滤罐侧壁接取过滤后的光刻胶。

进一步，根据本实用新型所述的光刻胶涂布装置，所述聚丙烯丝网与水平面的夹角为10-20°，优选为15-20°。该范围内倾斜角度的所述聚丙烯丝网，能更好的发挥过滤作用。

进一步，根据本实用新型所述的光刻胶涂布装置，所述聚丙烯丝网的孔径为0.5-1mm。

进一步，根据本实用新型所述的光刻胶涂布装置，所述聚四氟乙烯精密过滤芯的精度为0.45μm。

进一步，根据本实用新型所述的光刻胶涂布装置，所述进气口设置有阀门和压力表。

进一步，根据本实用新型所述的光刻胶涂布装置，所述排气口设置有阀门。

实用新型的效果

(1)本实用新型所提供的光刻胶过滤装置，包括两级过滤，通过所述聚丙烯丝网和所述聚四氟乙烯精密过滤芯的综合作用，滤除光刻胶中的杂质，使得过滤后的光刻胶达到再次使用的标准；

(2)本实用新型所提供的光刻胶过滤装置中，所述聚丙烯丝网在所述第一过滤罐中呈z字形排布，与平行设置的聚丙烯丝网相比，能延长光刻胶和所述聚丙烯丝网的接触时间，且能减少杂质堵塞所述聚丙烯丝网的可能，因此过滤效果更好；

(3)本实用新型所提供的光刻胶过滤装置中，所述第一过滤罐和所述第二过滤罐底部的特殊设置，有利于过滤后的光刻胶顺利排出，减少残留，提高光刻胶的回收率。

附图说明

包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本实用新型的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本实用新型的原理。

图1示出了本实用新型一实施例的光刻胶过滤装置的结构示意图。

附图标记说明

1：第一过滤罐；11：第一进料口；12：第一出料口；13：聚丙烯丝网；2：阀门；3：第二过滤罐；31：第二进料口；32：进气口；33：排气口；34：第二出料口；35：聚四氟乙烯精密过滤芯；4：压力表。

具体实施方式

以下将参考附图详细说明本实用新型的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。

另外，为了更好的说明本实用新型，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本实用新型同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件未作详细描述，以便于凸显本实用新型的主旨。

实施例1

图1示出了本实用新型一实施例的光刻胶过滤装置的结构示意图。如图1所示，该光刻胶过滤装置包括：第一过滤罐1，第一过滤罐1的顶端设置有第一进料口11，第一进料口11上设置有阀门2，第一过滤罐1的底部呈倒锥形结构，第一过滤罐1底部设置有第一出料口12，第一过滤罐1内设置有多层聚丙烯丝网13，多层聚丙烯丝网13从上到下按照z字形排布；以及第二过滤罐3，第二过滤罐3设置于第一过滤罐1下方，第二过滤罐3的顶部设置有第二进料口31、进气口32和排气口33，第二进料口31和第一出料口12连接，第二进料口31上设置有阀门2，第二过滤罐3的底部呈锥形结构，在第二过滤罐3的靠近底部的侧壁上设置有第二出料口34，第二过滤罐3内设置有聚四氟乙烯精密过滤芯35。

在本实施例中，多层聚丙烯丝网13从上到下按照z字形排布，使得待过滤的光刻胶在下落过程中沿倾斜设置的聚丙烯丝网13流动，延长了光刻胶和聚丙烯丝网13接触的时间，有助于过滤操作的进行，同时光刻胶中过滤出的杂质容易聚集在聚丙烯丝网13和第一过滤罐1侧壁的连接处，减少了聚丙烯丝网13堵塞的可能，延长了聚丙烯丝网13的使用时间。本实施例中，聚丙烯丝网13与水平面的夹角为15°，聚丙烯丝网13能更好的发挥以上所述的过滤作用。

聚四氟乙烯精密过滤芯35是一种以超细聚四氟乙烯纤维滤材为过滤介质的固定孔径深层过滤芯，滤材符合fda相关要求，其具有低压差、高流通量、使用寿命长的特性，并且具有性能稳定和广泛的化学兼容性。以上两种过滤芯相互配合，能将光刻胶中的杂质过滤干净，达到再次使用的要求。

第一过滤罐的底部呈倒锥形结构，有助于第一次过滤后的光刻胶排入第二过滤罐3，减少光刻胶残留。第二过滤罐3的底部呈锥形结构，在第二过滤罐3的靠近底部的侧壁上设置有第二出料口34，这种结构有助于第二次过滤后的光刻胶排出，便于从第二过滤罐3侧壁接取过滤后的光刻胶。

实施例2

在实施例1的基础上，聚丙烯丝网13的孔径为0.5-1mm。聚四氟乙烯精密过滤芯35的精度为0.45μm。

实施例3

在实施例1的基础上，如图1所示，进气口32设置有阀门2和压力表4。排气口33设置有阀门2。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替代，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。