一种喷涂均匀的真空镀膜机的制作方法

文档序号:25510443发布日期:2021-06-18 16:25阅读:133来源:国知局
一种喷涂均匀的真空镀膜机的制作方法

本实用新型涉及镀膜机领域,具体为一种喷涂均匀的真空镀膜机。



背景技术:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延和pld激光溅射沉积等很多种,其主要思路是分成蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。

现有真空镀膜机在实际使用过程中或多或少都存在有一定的缺点,比如在镀膜时,需要将工件一个个的挂在镀膜仓的内部再取下,较为费时费力,并且效率低下,镀膜不均匀,另外镀膜机在使用一段时间后内壁会残留大量的电镀液,清理起来较为繁琐,即便有部分装置可以自动清理,但此类装置安置在镀膜仓内占用空间较大,设计不合理,影响加工件的镀膜产量,不便于推广使用,因此我们提出了一种喷涂均匀的真空镀膜机。



技术实现要素:

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题,本实用新型提出一种喷涂均匀的真空镀膜机,具有喷涂均匀、便于装卸、便于清理和设计合理的特点。

(二)技术方案

为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种喷涂均匀的真空镀膜机,包括有镀膜仓,所述镀膜仓顶面的中部安装有电机,所述电机的底部连接有转轴,所述转轴的底端连接有卡板,所述卡板的内部卡装有装配板,所述装配板的底部连接有连接杆,所述连接杆的底端连接有安装板,所述安装板的底部安装有吊筒,所述吊筒的内部开设有内筒槽,所述吊筒的一侧开设有外槽,所述内筒槽的内部卡接有卡接块,所述卡接块的底部连接有吊杆,所述镀膜仓的顶部安装有电动升降杆,所述电动升降杆的顶端连接有顶板,所述顶板的底部连接有活动杆,所述活动杆的底端连内有回形板,所述回形板的上方连接有水管,所述水管的另一端连接有增压水泵,所述增压水泵的上方连接安装有水箱,所述回形板的外侧和底部分别设有喷头,所述镀膜仓的一侧连接有连接通道,所述连接通道的另一端连接有真空镀膜装置,所述镀膜仓的底部连接有排水口。

优选的,所述镀膜仓的正面设有开关门,且开关门上设有观察窗。

优选的,所述转轴和活动杆与镀膜仓的连接处均设有密封套环,且活动杆的长度值大于镀膜仓的高度值。

优选的,所述卡板的上方插装有固定栓,且固定栓穿过装配板将装配板固定在卡板的内部。

优选的,所述吊筒环绕设在安装板的底部,且吊筒内外层错位分布。

优选的,所述吊杆的底端挂有加工件,且加工件正对连接通道的一侧。

优选的,所述真空镀膜装置的外侧设有控制器,且控制器分别电性连接电机、电动升降杆、增压水泵和真空镀膜装置。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果:通过电机、卡板和吊筒,使挂有加工价的吊杆可以通过卡接块卡入吊筒的内部,而后再将装配板卡入卡板的内部,实现整体式上下料,同时加工件也便于在吊筒内取放,而后电机带动加工件转动,不仅便于装卸,而且转动过程在喷涂较为均匀,另一方面通过电动升降杆、回形板和多角度设置的喷头,使电动升降杆可以带动回形板上下运动,而后水箱内的水通过增压水泵从喷头喷出,对镀膜仓的内壁进行上下清理,自动化清理效果较好,同时不使用时置于装置最上方,不占用镀膜空间,结构设计合理,便于推广使用。

附图说明

图1为本实用新型结构剖视示意图;

图2为本实用新型结构喷头示意图;

图3为本实用新型结构吊筒示意图;

图4为本实用新型结构正面示意图。

附图标记:

1、镀膜仓;101、开关门;102、观察窗;2、电机;3、转轴;4、卡板;41、固定栓;5、装配板;6、连接杆;7、安装板;8、吊筒;9、内筒槽;10、外槽;11、卡接块;12、吊杆;13、电动升降杆;14、顶板;15、活动杆;16、回形板;17、水管;18、排水口;19、增压水泵;20、水箱;21、喷头;22、连接通道;23、真空镀膜装置;231、控制器。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本实用新型进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本实用新型的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-4所示,本实用新型提出的一种喷涂均匀的真空镀膜机,包括有镀膜仓1,镀膜仓1顶面的中部安装有电机2,电机2的底部连接有转轴3,转轴3的底端连接有卡板4,卡板4的内部卡装有装配板5,装配板5的底部连接有连接杆6,连接杆6的底端连接有安装板7,安装板7的底部安装有吊筒8,吊筒8的内部开设有内筒槽9,吊筒8的一侧开设有外槽10,内筒槽9的内部卡接有卡接块11,卡接块11的底部连接有吊杆12,镀膜仓1的顶部安装有电动升降杆13,电动升降杆13的顶端连接有顶板14,顶板14的底部连接有活动杆15,活动杆15的底端连内有回形板16,回形板16的上方连接有水管17,水管17的另一端连接有增压水泵19,增压水泵19的上方连接安装有水箱20,回形板16的外侧和底部分别设有喷头21,镀膜仓1的一侧连接有连接通道22,连接通道22的另一端连接有真空镀膜装置23,镀膜仓1的底部连接有排水口18。

为了解决现有装置存在喷涂不均匀、装卸麻烦和不便于清理的问题,我们通过电机2、卡板4和吊筒8,使挂有加工价的吊杆12可以通过卡接块11卡入吊筒8的内部,而后再将装配板5卡入卡板4的内部,实现整体式上下料,同时加工件也便于在吊筒8内取放,而后电机2带动加工件转动,不仅便于装卸,而且转动过程在喷涂较为均匀,另一方面通过电动升降杆13、回形板16和多角度设置的喷头21,使电动升降杆13可以带动回形板16上下运动,而后水箱20内的水通过增压水泵19从喷头21喷出,对镀膜仓1的内壁进行上下清理,自动化清理效果较好,同时不使用时置于装置最上方,不占用镀膜空间,结构设计合理,便于推广使用。

进一步的,镀膜仓1的正面设有开关门101,且开关门101上设有观察窗102,通过打开开关门101可以将装配板5取出,进而连带下方吊挂的加工件取出,取放较为方便,同时通过观察窗102可以观察作业情况,便于及时调整,从而提高了装置的合理性。

需要说明的是,转轴3和活动杆15与镀膜仓1的连接处均设有密封套环,且活动杆15的长度值大于镀膜仓1的高度值,密封套可以保持镀膜仓1内部的真空环境,避免漏气,而活动杆15高度值较高使得回形板16可以充分的上下运动,清理范围更广。

进一步的,卡板4的上方插装有固定栓41,且固定栓41穿过装配板5将装配板5固定在卡板4的内部,固定栓41起到插入固定的作用,保证装配板5与卡板4连接的稳定性,后面取出装配板5之前,只需直接将固定栓41拔出即可,操作简单方便,便于推广使用。

进一步的,吊筒8环绕设在安装板7的底部,且吊筒8内外层错位分布,吊筒8的设置可以吊挂多个加工件,而错位设置使得喷涂接触面更加均匀,吊筒8也可以矩阵设置和高低分错设置等,根据加工件的种类进行选择调整。

进一步的,真空镀膜装置23的外侧设有控制器231,且控制器231分别电性连接电机2、电动升降杆13、增压水泵19和真空镀膜装置23,真空镀膜装置23主要用于真空镀膜,而控制器231便于使用者对装置进行自动化操控,从而提高了装置的智能化程度。

本实用新型的工作原理及使用流程:首先在镀膜前将吊挂加工件的吊杆12通过卡接块11放入内筒槽9的内部,使吊杆12穿过外槽10进入,然后卡接块11下落卡在吊筒8的内部,而后打开开关门101,将装配板5卡入卡板4的内部,插入固定栓41进行固定,关闭开关门101打开真空镀膜装置23,将镀膜仓1营造成真空环境,而后电机2通过转轴3带动加工件缓慢转动,真空镀膜装置23通过连接通道22对镀膜仓1内部悬挂的加工件进行喷涂镀膜,镀膜完成后打开开关门101,拔出固定栓41后即可将装配板5取出,重新更换加工件,当需要对镀膜仓1的内壁进行清理时,增压水泵19抽取水箱20内部的水通过喷头21喷出,同时电动升降杆13通过顶板14带动活动杆15运动,由上至下对镀膜仓1的内壁进行清理,清理完成的污水可以通过排水口18排出,即可。

应当理解的是,本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理,而不构成对本实用新型的限制。因此,在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外,本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1