一种氖气回收系统的制作方法

1.本发明涉及氖气回收技术领域，具体说是一种氖气回收系统。


背景技术：

2.氖气是一种无色、无嗅、非易燃的稀有气体，仅以单质的形式存在，一般从空气中分离获得，氖在放电时发出橘红色辉光，通常用于特种灯具制造，此外，还可用于低温冷却剂、电压调节以及激光混合气等领域，随着氖气的使用范围越来越广泛，氖气回收系统被应用的也越来越多。
3.申请号为cn201610528196.0的中国专利公开了一种由氖氦混合气生产纯氖的装置及其方法，该装置包括冷箱、第一氮吸附器、第二氮吸附器、真空泵、氦气压缩机、氦膨胀机、氦膨胀机制动端、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器，其中冷箱中设置有第一气液分离器、第二气液分离器、第一板翅式换热器、第二板翅式换热器、第三气液分离器、精馏塔、氦膨胀机和真空液氮换热器；第一氮吸附器、第二氮吸附器、真空泵、氦气压缩机、氦膨胀机制动端、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器均设置在冷箱的外部。该装置通过将吸附器放在冷箱之外，避免了在冷态下的加温再生的过程，避免了冷箱中的剧烈的工况变化，从而极大地改善了冷箱的热应力设计，也避免了因为重复的加温再生而可能导致的泄漏，此专利没有预选对混合气体进行过滤，从而降低了制备出氖气的纯度，同时，没有将混合气体中有毒有害化合物进行去除，混合气体中有毒有害化合物会对反应设备内部造成腐蚀，从而缩短设备的使用寿命。
4.然而，现有的氖气回收系统在使用过程中存在很大的缺陷，现有的氖气回收系统通入空气时，空气中的颗粒杂质会进入系统，对系统的管道造成阻塞，从而对回收系统的制备过程造成影响，现有的氖气回收系统没有除去气体中有毒有害的化合物气体，化合物气体进入系统中，会对系统的内壁造成腐蚀，从而缩短系统的使用寿命，现有的氖气回收系统在制备前没有过滤气体以及在制备氖气过程中缺失提纯步骤，不能更全面的去除气体中的杂质，倒置制备的氖气纯度不高。


技术实现要素：

5.针对现有技术中的问题，本发明提供了一种氖气回收系统。
6.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种氖气回收系统，包括过滤箱、空分塔、氮吸附器、除氢组件、精馏塔气液分离器和压缩机，所述空分塔的进气端通过管道与过滤箱连接，通过在该氖气回收系统前加装过滤箱，过滤箱中的除杂箱体能将混合气体中较大颗粒杂质滤除，避免杂质进入系统将系统中的管道堵塞，使系统的管道长时间使用也能保持通畅，进而使该系统的各种制备反应能顺利进行，同时，也降低了系统维护清理的负担，通过使用混合气体净化箱，混合气体净化箱内的活性炭过滤层对气体中的有毒有害化合物气体进行吸附，避免有毒有害化合物气体进入系统中对系统内部造成腐蚀，使系统更加的耐用，同时，通过除去有毒有害化合物气体保护系统内部不被腐蚀，使系统的各种管
道、罐体以及精密器件不被破坏，能够降低该系统发生故障的概率，进而降低系统使用过程中泄露事故发生的概率，所述空分塔的输送端通过管道与氮吸附器的进气端连接，所述氮吸附器的输送端通过管道与除氢组件的进气端连接，通过使用空分塔，能够将混合气体制备成粗氖氦气，为进一步获取氖气打下了基础，通过在空分塔后连接氮吸附器，能够除去粗氖氦气中的氮气，进而提高粗氖氦气中氖氦气体的纯度，通过在空分塔后设置除氢组件，对粗氖氦气中的氢气进行去除，避免氢气在系统中含量过高产生爆炸，通过在除氢组件后连接脱水器，能够将除氢过程中产生的水分脱去，配合除氢组件和氮吸附器，对存氖氦气体提纯，所述除氢组件的输送端通过管道与精馏塔的进气端连接，所述精馏塔的输送端通过管道连接有气液分离器，所述气液分离器的输送端通过管道连接有杜瓦瓶，通过气液分离器将液态的氖和气态的氦分离，分离后的液氖装入杜瓦瓶中，通过该系统预先对气体进行过滤，以及制备氖气过程中不断提纯气体，所述杜瓦瓶的输送端通过管道连接有复热筒，所述复热筒的输送端通过管道连接有压缩机，所述压缩机的输出端连接有储氖罐，通过在该系统中设置复热筒，能够将回收的液氖转化为氖气，同时，通过使用压缩机将氖气进行压缩并灌装在储氖罐中，方便将该系统回收的氖气进行运输售卖，为该系统回收的产品的使用提供便利；其中，所述过滤箱为中空结构，所述过滤箱内分别设有除杂箱体、混合气体净化箱、气体干燥箱和混合气体增压泵，所述过滤箱上分别开设有混合气体捕获口和混合气体送入口，所述除杂箱体与混合气体捕获口连接贯通，除杂箱体、混合气体增压泵、混合气体净化箱和气体干燥箱通过管道依次连接贯通，且气体干燥箱与混合气体送入口连接贯通，过滤箱外侧壁位于混合气体捕获口处焊接有安装板，将需要回收的混合气体从过滤箱的混合气体捕获口送入，通过除杂箱体过滤，将混合气体中较大颗粒杂质滤除，通过混合气体增压泵将除杂后的混合气体加压送入混合气体净化箱，通过混合气体净化箱除去混合气体中有毒有害的化合物气体，通过混合气体净化箱的混合气体通入气体干燥箱，经气体干燥箱干燥除湿后送入空分塔，通过设置气体干燥箱，能够除去气体中的水分，使气体进入该系统时保持干燥，避免气体水在系统内部参与吸热放热，影响系统制备反应的速度，通过除去水，通过使用过滤箱对进入系统中的混合气体进行过滤，避免杂质、有毒有害化合物气体以及水进入系统并随系统制备流程向后走且在回收的氖气中残留。
7.优选的，除杂箱体上开设有除杂进气口和除杂出气口，除杂箱体内设有空腔，除杂箱体空腔内设有过滤棉，除杂箱体通过除杂进气口与混合气体捕获口连接，除杂出气口通过管道与混合气体增压泵的进气端连通。
8.优选的，混合气体净化箱上开设有净化进气口和净化出气口，混合气体净化箱内设有腔体，混合气体净化箱腔体内设有若干层活性炭过滤层，净化进气口通过管道与混合气体增压泵的输出端连接贯通，净化出气口通过管道与气体干燥箱连接贯通，气体干燥箱内设置有干燥剂。
9.优选的，空分塔分为上下塔，上下塔压力不同，上下塔之间设置有冷凝蒸发器，并向其中通入液氮，空分塔中的上下塔之间冷凝蒸发器因为上下压力不同，通入的混合气体冷凝液化放热，空分塔中的液氮吸热沸腾气化，分别为下塔提供所需回流液，为上塔提供所需上升蒸汽，气体中氖、氦、氢等低沸点气体以不凝气体存在，氧、氮等性对沸点较高的气体冷凝至塔釜，返回下塔，顶部的不凝气体为达到含氖氦较高的粗氖氦气。
10.优选的，氮吸附器内设置有能够吸附氮分子的锂分子筛，氮吸附器设置有多个，多个氮吸附器通过管道串联使用，氮吸附器中的锂分子筛能够很好的吸附氮气，通过设置多个氮吸附器，最大限度的除去气体中的氮气。
11.优选的，除氢组件顶部设有多个氧气罐，除氢组件内部设有接触炉，接触炉温度保持在70-180度，氧气罐通过管道与接触炉连接贯通，除氢组件顶部安装有催化条，催化条的底部连接有钯条，钯条位于接触炉内部，除氢组件与精馏塔之间的连接管道上接有脱水器。
12.优选的，精馏塔内设有冷凝器，且精馏塔内的设置气压调节器，将粗氖氦气通入精馏塔中，通过气压调节器对精馏塔内气压进行调节，并加压，通过液氮将粗氖氦气冷却至-k，进一步对粗氖氦气冷却，并将精馏塔中的压力向下调节，使用液氖继续对粗氖氦气冷却，粗氖氦气中的氖气液化。
13.优选的，除氢组件内设置有易于吸附氧分子的碳分子筛，且碳分子筛位于处氢组件的输出管口处，通过设置炭分子筛能将除氢后残留的氧气吸附去除，避免充入的氧气残留对系统回收的氖气纯度造成影响。
14.优选的，该氖气回收系统加装有换热器，空分塔、精馏塔以及复热筒通过管道接入换热器，且空分塔、精馏塔以及复热筒与换热器形成换热关系，通过使用换热器进行换热，使该系统能最大化利用系统中的冷能。
15.优选的，该氖气回收系统的使用方法具体包括以下步骤：步骤一：将需要回收的混合气体从过滤箱的混合气体捕获口送入，通过除杂箱体过滤，将混合气体中较大颗粒杂质滤除，通过混合气体增压泵将除杂后的混合气体加压送入混合气体净化箱，通过混合气体净化箱除去混合气体中有毒有害的化合物气体，通过混合气体净化箱的混合气体通入气体干燥箱，经气体干燥箱干燥除湿后送入空分塔；步骤二：通入的混合气体冷凝液化放热，空分塔中的液氮吸热沸腾气化，分别为下塔提供所需回流液，为上塔提供所需上升蒸汽，气体中氖、氦、氢等低沸点气体以不凝气体存在，氧、氮等性对沸点较高的气体冷凝至塔釜，返回下塔，顶部的不凝气体为达到含氖氦较高的粗氖氦气；步骤三：将粗氖氦气通入精馏塔中，并加压，通过液氮将粗氖氦气冷却至70-80k，进一步对粗氖氦气冷却，并将精馏塔中的压力向下调节，使用液氖继续对粗氖氦气冷却，粗氖氦气中的氖气液化，通过气液分离器将液态的氖和气态的氦分离，分离后的液氖装入杜瓦瓶中。
16.本发明的有益效果：（1）本发明中，通过在该氖气回收系统前加装过滤箱，过滤箱中的除杂箱体能将混合气体中较大颗粒杂质滤除，避免杂质进入系统将系统中的管道堵塞，使系统的管道长时间使用也能保持通畅，进而使该系统的各种制备反应能顺利进行，从而提高该系统使用的可靠性，同时，也降低了系统维护清理的负担，从而节省了清理维护的成本，通过使用混合气体净化箱，混合气体净化箱内的活性炭过滤层对气体中的有毒有害化合物气体进行吸附，避免有毒有害化合物气体进入系统中对系统内部造成腐蚀，使系统更加的耐用，从而延长该系统的使用寿命，同时，通过除去有毒有害化合物气体保护系统内部不被腐蚀，使系统的各种管道、罐体以及精密器件不被破坏，能够降低该系统发生故障的概率，进而降低系统使用过程中泄露事故发生的概率，从而提高该系统使用的安全性，通过设置气体干燥箱，能
够除去气体中的水分，使气体进入该系统时保持干燥，避免气体水在系统内部参与吸热放热，影响系统制备反应的速度，通过除去水，从而提高该系统回收氖气的效率，通过使用过滤箱对进入系统中的混合气体进行过滤，避免杂质、有毒有害化合物气体以及水进入系统并随系统制备流程向后走且在回收的氖气中残留，进而使该系统回收的氖气中杂质更少，从而提高该系统回收氖气的纯度。
17.（2）本发明中，空分塔中的上下塔之间冷凝蒸发器因为上下压力不同，通过使用空分塔，能够将混合气体制备成粗氖氦气，为进一步获取氖气打下了基础，通过在空分塔后连接氮吸附器，能够除去粗氖氦气中的氮气，进而提高粗氖氦气中氖氦气体的纯度，通过在空分塔后设置除氢组件，对粗氖氦气中的氢气进行去除，避免氢气在系统中含量过高产生爆炸，从而进一步提高该系统使用的安全性，通过在除氢组件后连接脱水器，能够将除氢过程中产生的水分脱去，配合除氢组件和氮吸附器，对存氖氦气体提纯，从而进一步提高该系统回收氖气的纯度。
18.（3）本发明中，通过该系统预先对气体进行过滤，以及制备氖气过程中不断提纯气体，从而提高该系统回收的氖气的纯度，通过在该系统中设置复热筒，能够将回收的液氖转化为氖气，从而为该系统回收的氖气提供更广阔的使用场景，同时，通过使用压缩机将氖气进行压缩并灌装在储氖罐中，方便将该系统回收的氖气进行运输售卖，为该系统回收的产品的使用提供便利，通过使用换热器进行换热，使该系统能最大化利用系统中的冷能，降低系统回收过程时的能耗，节省回收成本，从而提高该系统使用的经济效益。
附图说明
19.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
20.图1为本发明整体结构示意图。
21.图2为本发明过滤箱剖视图。
22.图3为本发明除杂箱体剖视图。
23.图4为本发明混合气体净化箱剖视图。
24.图中：1、过滤箱；101、混合气体捕获口；102、安装板；103、混合气体送入口；104、除杂箱体；1041、除杂进气口；1042、除杂出气口；1043、过滤棉；105、混合气体净化箱；1051、净化进气口；1052、活性炭过滤层；1053、净化出气口；106、气体干燥箱；107、混合气体增压泵；2、空分塔；3、氮吸附器；4、除氢组件；5、氧气罐；6、催化条；7、脱水器；8、精馏塔；9、气液分离器；10、杜瓦瓶；11、复热筒；12、压缩机；13、储氖罐。
具体实施方式
25.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
26.如图1-图4所示，本发明所述的一种氖气回收系统，包括过滤箱1、空分塔2、氮吸附器3、除氢组件4、精馏塔8气液分离器9和压缩机12，空分塔2的进气端通过管道与过滤箱1连接，通过在该氖气回收系统前加装过滤箱1，过滤箱1中的除杂箱体104能将混合气体中较大颗粒杂质滤除，避免杂质进入系统将系统中的管道堵塞，使系统的管道长时间使用也能保持通畅，进而使该系统的各种制备反应能顺利进行，从而提高该系统使用的可靠性，同时，
也降低了系统维护清理的负担，从而节省了清理维护的成本，通过使用混合气体净化箱105，混合气体净化箱105内的活性炭过滤层1052对气体中的有毒有害化合物气体进行吸附，避免有毒有害化合物气体进入系统中对系统内部造成腐蚀，使系统更加的耐用，从而延长该系统的使用寿命，同时，通过除去有毒有害化合物气体保护系统内部不被腐蚀，使系统的各种管道、罐体以及精密器件不被破坏，能够降低该系统发生故障的概率，进而降低系统使用过程中泄露事故发生的概率，从而提高该系统使用的安全性，空分塔2的输送端通过管道与氮吸附器3的进气端连接，氮吸附器3的输送端通过管道与除氢组件4的进气端连接，通过使用空分塔2，能够将混合气体制备成粗氖氦气，为进一步获取氖气打下了基础，通过在空分塔2后连接氮吸附器3，能够除去粗氖氦气中的氮气，进而提高粗氖氦气中氖氦气体的纯度，通过在空分塔2后设置除氢组件4，对粗氖氦气中的氢气进行去除，避免氢气在系统中含量过高产生爆炸，从而进一步提高该系统使用的安全性，通过在除氢组件4后连接脱水器7，能够将除氢过程中产生的水分脱去，配合除氢组件4和氮吸附器3，对存氖氦气体提纯，从而进一步提高该系统回收氖气的纯度，除氢组件4的输送端通过管道与精馏塔8的进气端连接，精馏塔8的输送端通过管道连接有气液分离器9，气液分离器9的输送端通过管道连接有杜瓦瓶10，通过气液分离器9将液态的氖和气态的氦分离，分离后的液氖装入杜瓦瓶10中，通过该系统预先对气体进行过滤，以及制备氖气过程中不断提纯气体，从而提高该系统回收的氖气的纯度，杜瓦瓶10的输送端通过管道连接有复热筒11，复热筒11的输送端通过管道连接有压缩机12，压缩机12的输出端连接有储氖罐13，通过在该系统中设置复热筒11，能够将回收的液氖转化为氖气，从而为该系统回收的氖气提供更广阔的使用场景，同时，通过使用压缩机12将氖气进行压缩并灌装在储氖罐13中，方便将该系统回收的氖气进行运输售卖，为该系统回收的产品的使用提供便利；其中，过滤箱1为中空结构，过滤箱1内分别设有除杂箱体104、混合气体净化箱105、气体干燥箱106和混合气体增压泵107，过滤箱1上分别开设有混合气体捕获口101和混合气体送入口103，除杂箱体104与混合气体捕获口101连接贯通，除杂箱体104、混合气体增压泵107、混合气体净化箱105和气体干燥箱106通过管道依次连接贯通，且气体干燥箱106与混合气体送入口103连接贯通，过滤箱1外侧壁位于混合气体捕获口101处焊接有安装板102，将需要回收的混合气体从过滤箱1的混合气体捕获口101送入，通过除杂箱体104过滤，将混合气体中较大颗粒杂质滤除，通过混合气体增压泵107将除杂后的混合气体加压送入混合气体净化箱105，通过混合气体净化箱105除去混合气体中有毒有害的化合物气体，通过混合气体净化箱105的混合气体通入气体干燥箱106，经气体干燥箱106干燥除湿后送入空分塔2，通过设置气体干燥箱106，能够除去气体中的水分，使气体进入该系统时保持干燥，避免气体水在系统内部参与吸热放热，影响系统制备反应的速度，通过除去水，从而提高该系统回收氖气的效率，通过使用过滤箱1对进入系统中的混合气体进行过滤，避免杂质、有毒有害化合物气体以及水进入系统并随系统制备流程向后走且在回收的氖气中残留，进而使该系统回收的氖气中杂质更少，从而提高该系统回收氖气的纯度。
27.本发明实施例的一个可选实施方式中，除杂箱体104上开设有除杂进气口1041和除杂出气口1042，除杂箱体104内设有空腔，除杂箱体104空腔内设有过滤棉1043，除杂箱体104通过除杂进气口1041与混合气体捕获口101连接，除杂出气口1042通过管道与混合气体增压泵107的进气端连通。
28.本发明实施例的一个可选实施方式中，混合气体净化箱105上开设有净化进气口1051和净化出气口1053，混合气体净化箱105内设有腔体，混合气体净化箱105腔体内设有若干层活性炭过滤层1052，净化进气口1051通过管道与混合气体增压泵107的输出端连接贯通，净化出气口1053通过管道与气体干燥箱106连接贯通，气体干燥箱106内设置有干燥剂。
29.本发明实施例的一个可选实施方式中，空分塔2分为上下塔，上下塔压力不同，上下塔之间设置有冷凝蒸发器，并向其中通入液氮，空分塔2中的上下塔之间冷凝蒸发器因为上下压力不同，通入的混合气体冷凝液化放热，空分塔2中的液氮吸热沸腾气化，分别为下塔提供所需回流液，为上塔提供所需上升蒸汽，气体中氖、氦、氢等低沸点气体以不凝气体存在，氧、氮等性对沸点较高的气体冷凝至塔釜，返回下塔，顶部的不凝气体为达到含氖氦较高的粗氖氦气。
30.本发明实施例的一个可选实施方式中，氮吸附器3内设置有能够吸附氮分子的锂分子筛，氮吸附器3设置有多个，多个氮吸附器3通过管道串联使用，氮吸附器3中的锂分子筛能够很好的吸附氮气，通过设置多个氮吸附器3，最大限度的除去气体中的氮气。
31.本发明实施例的一个可选实施方式中，除氢组件4顶部设有多个氧气罐5，除氢组件4内部设有接触炉，接触炉温度保持在70-180度，氧气罐5通过管道与接触炉连接贯通，除氢组件4顶部安装有催化条6，催化条6的底部连接有钯条，钯条位于接触炉内部，除氢组件4与精馏塔8之间的连接管道上接有脱水器7。
32.本发明实施例的一个可选实施方式中，精馏塔8内设有冷凝器，且精馏塔8内的设置气压调节器，将粗氖氦气通入精馏塔8中，通过气压调节器对精馏塔8内气压进行调节，并加压，通过液氮将粗氖氦气冷却至70-80k，进一步对粗氖氦气冷却，并将精馏塔8中的压力向下调节，使用液氖继续对粗氖氦气冷却，粗氖氦气中的氖气液化。
33.本发明实施例的一个可选实施方式中，除氢组件4内设置有易于吸附氧分子的碳分子筛，且碳分子筛位于处氢组件的输出管口处，通过设置炭分子筛能将除氢后残留的氧气吸附去除，避免充入的氧气残留对系统回收的氖气纯度造成影响。
34.本发明实施例的一个可选实施方式中，该氖气回收系统加装有换热器，空分塔2、精馏塔8以及复热筒11通过管道接入换热器，且空分塔2、精馏塔8以及复热筒11与换热器形成换热关系，通过使用换热器进行换热，使该系统能最大化利用系统中的冷能，降低系统回收过程时的能耗，节省回收成本，从而提高该系统使用的经济效益。
35.本发明实施例的一个可选实施方式中，该氖气回收系统的使用方法具体包括以下步骤：步骤一：将需要回收的混合气体从过滤箱1的混合气体捕获口101送入，通过除杂箱体104过滤，将混合气体中较大颗粒杂质滤除，通过混合气体增压泵107将除杂后的混合气体加压送入混合气体净化箱105，通过混合气体净化箱105除去混合气体中有毒有害的化合物气体，通过混合气体净化箱105的混合气体通入气体干燥箱106，经气体干燥箱106干燥除湿后送入空分塔2；步骤二：通入的混合气体冷凝液化放热，空分塔2中的液氮吸热沸腾气化，分别为下塔提供所需回流液，为上塔提供所需上升蒸汽，气体中氖、氦、氢等低沸点气体以不凝气体存在，氧、氮等性对沸点较高的气体冷凝至塔釜，返回下塔，顶部的不凝气体为达到含氖
氦较高的粗氖氦气；步骤三：将粗氖氦气通入精馏塔8中，并加压，通过液氮将粗氖氦气冷却至70-80k，进一步对粗氖氦气冷却，并将精馏塔8中的压力向下调节，使用液氖继续对粗氖氦气冷却，粗氖氦气中的氖气液化，通过气液分离器9将液态的氖和气态的氦分离，分离后的液氖装入杜瓦瓶10中。
36.在使用时，首先，将需要回收的混合气体从过滤箱1的混合气体捕获口101送入，通过除杂箱体104过滤，将混合气体中较大颗粒杂质滤除，通过混合气体增压泵107将除杂后的混合气体加压送入混合气体净化箱105，通过混合气体净化箱105除去混合气体中有毒有害的化合物气体，通过混合气体净化箱105的混合气体通入气体干燥箱106，经气体干燥箱106干燥除湿后送入空分塔2，通过在该氖气回收系统前加装过滤箱1，过滤箱1中的除杂箱体104能将混合气体中较大颗粒杂质滤除，避免杂质进入系统将系统中的管道堵塞，使系统的管道长时间使用也能保持通畅，进而使该系统的各种制备反应能顺利进行，从而提高该系统使用的可靠性，同时，也降低了系统维护清理的负担，从而节省了清理维护的成本，通过使用混合气体净化箱105，混合气体净化箱105内的活性炭过滤层1052对气体中的有毒有害化合物气体进行吸附，避免有毒有害化合物气体进入系统中对系统内部造成腐蚀，使系统更加的耐用，从而延长该系统的使用寿命，同时，通过除去有毒有害化合物气体保护系统内部不被腐蚀，使系统的各种管道、罐体以及精密器件不被破坏，能够降低该系统发生故障的概率，进而降低系统使用过程中泄露事故发生的概率，从而提高该系统使用的安全性，通过设置气体干燥箱106，能够除去气体中的水分，使气体进入该系统时保持干燥，避免气体水在系统内部参与吸热放热，影响系统制备反应的速度，通过除去水，从而提高该系统回收氖气的效率，通过使用过滤箱1对进入系统中的混合气体进行过滤，避免杂质、有毒有害化合物气体以及水进入系统并随系统制备流程向后走且在回收的氖气中残留，进而使该系统回收的氖气中杂质更少，从而提高该系统回收氖气的纯度，然后，空分塔2中的上下塔之间冷凝蒸发器因为上下压力不同，通入的混合气体冷凝液化放热，空分塔2中的液氮吸热沸腾气化，分别为下塔提供所需回流液，为上塔提供所需上升蒸汽，气体中氖、氦、氢等低沸点气体以不凝气体存在，氧、氮等性对沸点较高的气体冷凝至塔釜，返回下塔，顶部的不凝气体为达到含氖氦较高的粗氖氦气，通过使用空分塔2，能够将混合气体制备成粗氖氦气，为进一步获取氖气打下了基础，通过在空分塔2后连接氮吸附器3，能够除去粗氖氦气中的氮气，进而提高粗氖氦气中氖氦气体的纯度，通过在空分塔2后设置除氢组件4，对粗氖氦气中的氢气进行去除，避免氢气在系统中含量过高产生爆炸，从而进一步提高该系统使用的安全性，通过在除氢组件4后连接脱水器7，能够将除氢过程中产生的水分脱去，配合除氢组件4和氮吸附器3，对存氖氦气体提纯，从而进一步提高该系统回收氖气的纯度，最后，将粗氖氦气通入精馏塔8中，并加压，通过液氮将粗氖氦气冷却至70-80k，进一步对粗氖氦气冷却，并将精馏塔8中的压力向下调节，使用液氖继续对粗氖氦气冷却，粗氖氦气中的氖气液化，通过气液分离器9将液态的氖和气态的氦分离，分离后的液氖装入杜瓦瓶10中，通过该系统预先对气体进行过滤，以及制备氖气过程中不断提纯气体，从而提高该系统回收的氖气的纯度，通过在该系统中设置复热筒11，能够将回收的液氖转化为氖气，从而为该系统回收的氖气提供更广阔的使用场景，同时，通过使用压缩机12将氖气进行压缩并灌装在储氖罐13中，方便将该系统回收的氖气进行运输售卖，为该系统回收的产品的使用提供便利，通过使用
换热器进行换热，使该系统能最大化利用系统中的冷能，降低系统回收过程时的能耗，节省回收成本，从而提高该系统使用的经济效益。
37.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施方式和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。