一种外延炉生产用洗气装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种外延炉生产用洗气装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明和大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。众所周知，外延炉是半导体生产加工的一种设备。
3.但是，现有的外延炉生产用洗气装置净化效果不好，使得该洗气装置在使用过程中不能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，导致没有净化好的气体被排放到大气层，使废气污染到大气环境，当人们吸入这些有害气体后，健康就无法得不到保障，从而降低了该洗气装置的使用品质，也降低了人们的工作效率，让人们使用起来不是很省心，所以现有的外延炉生产用洗气装置无法满足人们的使用需求，给人们的工作带来不便。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种外延炉生产用洗气装置，具备净化效果好等优点，解决了一般外延炉生产用洗气装置净化效果不好的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述洗气装置净化效果好的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种外延炉生产用洗气装置，包括炉体，所述炉体的外壁固定连接有废气管，所述废气管的一端固定连接有连接块，所述连接块的顶部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁活动连接有螺栓，所述连接块的外壁固定连接有弯管，所述弯管的外壁开设有固定孔，所述弯管的外壁固定连接有水箱，所述水箱的一侧固定连接有供水管。
8.所述水箱的底部固定连接有排水管，所述排水管的外壁活动连接有活动销，所述水箱的内侧壁固定连接有滑道，所述滑道的内壁活动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有活性炭过滤棒，所述水箱的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的一端固定连接有挡块。
9.优选的，所述水箱的顶部开设有安装孔，且弯管通过安装孔与水箱固定连接。
10.优选的，所述滑道的形状大小和滑块的形状大小均相互匹配，且活性炭过滤棒通过滑块与滑道活动连接。
11.优选的，所述螺栓的外壁活动连接有垫圈，且垫圈为橡胶垫圈。
12.优选的，所述螺栓的形状大小和螺纹槽的形状大小均相互匹配，且螺栓通过螺纹槽与连接块活动连接。
13.优选的，所述排水管的外壁开设有通孔，且通孔的形状大小和活动销的形状大小均相互匹配，且活动销通过通孔与排水管活动连接。
14.优选的，所述固定杆的一端与水箱的顶部固定连接，且固定杆的一端与挡块的底
部固定连接。
15.(三)有益效果
16.与现有技术相比，本实用新型提供了一种外延炉生产用洗气装置，具备以下有益效果：
17.1、该外延炉生产用洗气装置，通过炉体、废气管、水箱、安装孔、弯管、固定孔、供水管、排水管、活动销、连接块、螺纹槽、螺栓和螺母的相互配合使用，达到了该洗气装置净化效果好的目的，从而解决了一般外延炉生产用洗气装置净化效果不好的问题，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，且该洗气装置的净化工作变得更加高效，让人们不再担心废气会污染大气环境，不但提升了该洗气装置的环保作用，也保障了人们的呼吸健康，从而提高了该洗气装置的使用品质，也提高了人们的工作效率，让人们使用起来更加的省心，满足了人们的使用需求，给人们的工作带来便利。
18.2、该外延炉生产用洗气装置，通过滑道、滑块和活性炭过滤棒的相互配合使用，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对水箱内的废水进行净化，从而不会污染到宝贵的水资源，进一步满足了人们的使用需求，值得推广使用。
19.3、该外延炉生产用洗气装置，通过设置的固定杆和挡块，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的将下落的物体挡在弯管的外面，让弯管不会发生堵塞的情况，进一步满足了人们的使用需求，值得推广使用。
附图说明
20.图1为本实用新型结构示意图；
21.图2为本实用新型挡块和水箱连接示意图；
22.图3为本实用新型炉体和废气管连接示意图；
23.图4为本实用新型图1中a处结构放大图。
24.图中：1、炉体；2、废气管；3、垫圈；4、水箱；5、安装孔；6、弯管；7、固定孔；8、供水管；9、排水管；10、活动销；11、滑道；12、滑块；13、活性炭过滤棒；14、固定杆；15、挡块；16、连接块；17、螺纹槽；18、螺栓；19、螺母。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1
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4，一种外延炉生产用洗气装置，包括炉体1，炉体1的外壁固定连接有废气管2，废气管2的一端固定连接有连接块16，连接块16的顶部开设有螺纹槽17，螺纹槽17的内壁活动连接有螺栓18，螺栓18的形状大小和螺纹槽17的形状大小均相互匹配，且螺栓18通过螺纹槽17与连接块16活动连接，螺栓18的外壁活动连接有垫圈3，且垫圈3为橡胶垫圈，橡胶是指具有可逆形变的高弹性聚合物材料，在室温下富有弹性，在很小的外力作用下能产生较大形变，除去外力后能恢复原状，螺栓18的外壁活动连接有螺母19，连接块16的外壁固定连接有弯管6，弯管6的外壁开设有固定孔7，弯管6的外壁固定连接有水箱4，水箱4的
顶部开设有安装孔5，且弯管6通过安装孔5与水箱4固定连接，水箱4的一侧固定连接有供水管8。
27.水箱4的底部固定连接有排水管9，排水管9的外壁活动连接有活动销10，排水管9的外壁开设有通孔，且通孔的形状大小和活动销10的形状大小均相互匹配，且活动销10通过通孔与排水管9活动连接，再通过炉体1、废气管2、水箱4、安装孔5、弯管6、固定孔7、供水管8、排水管9、活动销10、连接块16、螺纹槽17、螺栓18和螺母19的相互配合使用，达到了该洗气装置净化效果好的目的，从而解决了一般外延炉生产用洗气装置净化效果不好的问题，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，且该洗气装置的净化工作变得更加高效，让人们不再担心废气会污染大气环境，不但提升了该洗气装置的环保作用，也保障了人们的呼吸健康，从而提高了该洗气装置的使用品质，也提高了人们的工作效率，让人们使用起来更加的省心，满足了人们的使用需求，给人们的工作带来便利，水箱4的内侧壁固定连接有滑道11，滑道11的内壁活动连接有滑块12，滑块12的一侧固定连接有活性炭过滤棒13，滑道11的形状大小和滑块12的形状大小均相互匹配，且活性炭过滤棒13通过滑块12与滑道11活动连接，再通过滑道11、滑块12和活性炭过滤棒13的相互配合使用，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对水箱4内的废水进行净化，从而不会污染到宝贵的水资源，进一步满足了人们的使用需求，值得推广使用，水箱4的顶部固定连接有固定杆14，固定杆14的一端固定连接有挡块15，固定杆14的一端与水箱4的顶部固定连接，且固定杆14的一端与挡块15的底部固定连接，再通过设置的固定杆14和挡块15，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的将下落的物体挡在弯管6的外面，让弯管6不会发生堵塞的情况，进一步满足了人们的使用需求，值得推广使用。
28.该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
29.在使用时，当该外延炉生产用洗气装置在使用时，此时人们用供水管8给水箱4注满干净的水，然后废气从炉体1进入废气管2，然后进入弯管6，然后水箱4内的水开始从固定孔7漫入弯管6，然后积在弯管6中的水开始净化废气，然后净化后的气体从弯管6排出，同时活性炭过滤棒13开始净化废气残留下来的杂质，然后打开活动销10，然后净化过的水从排水管9排出，从而完成工作。
30.综上所述，该外延炉生产用洗气装置在使用过程中，达到了该洗气装置净化效果好的目的，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，且该洗气装置的净化工作变得更加高效，让人们不再担心废气会污染大气环境，不但提升了该洗气装置的环保作用，也保障了人们的呼吸健康，从而提高了该洗气装置的使用品质，也提高了人们的工作效率，让人们使用起来更加的省心，满足了人们的使用需求，给人们的工作带来便利，同时，通过滑道11、滑块12和活性炭过滤棒13的相互配合使用，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对水箱4内的废水进行净化，从而不会污染到宝贵的水资源，同时，通过设置的固定杆14和挡块15，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的将下落的物体挡在弯管6的外面，让弯管6不会发生堵塞的情况，进一步满足了人们的使用需求，值得推广使用。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。