一种循环水洗式的废气处理设备的制作方法

1.本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种循环水洗式的废气处理设备。


背景技术：

2.工艺废气处理设备既属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块如：化学气相沉淀、刻蚀、离子注入和扩散,以及非晶硅薄膜太阳能、液晶薄膜的工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及全氟化合物与挥发性有机化合物类气体等，这些气体在排放前都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。现有的废弃处理装置常设置为塔式结构，废气由底部进气口进入，流经填充料及喷淋系统后从上部的出气口排出。现有的废弃处理设备中水洗液由顶部喷出，废气与喷淋液的接触行程较短，对废气的处理效果较差。


技术实现要素：

3.本实用新型意在提供一种循环水洗式的废气处理设备，其具有废气与喷淋液的接触时间长，对废气的处理效果好的特点。
4.为达到上述目的，本实用新型的基本方案如下：
5.一种循环水洗式的废气处理设备，包括依次设置的预处理机构、水洗机构和回收机构，所述预处理机构用于对废气进行预处理，所述水洗机构用于对废气喷淋水洗液并吸收废气内的有害气体，所述回收机构用于循环使用后的水洗液，
6.所述水洗机构包括水洗罐，所述水洗罐内设置有若干相互平行的分隔板，所述分隔板垂直于水洗罐的底壁，所述分隔板将水洗罐划分为若干第一水洗区域和若干第二水洗区域，所述第一水洗区域和第二水洗区域间隔设置，所述第一水洗区域和第二水洗区域均用于流通废气，且所述第一水洗区域和第二水洗区域内废气的流通方向相反，所述分隔板上开设有若干通槽，所述通槽用于连通相邻的第一水洗区域和第二水洗区域，各个所述第一水洗区域和第二水洗区域依次相连并形成迂回的流通通道，
7.所述第一水洗区域内设置有第一喷头，所述第一喷头的喷淋方向与废气在第一水洗区域内的流通方向相反，所述第二水洗区域内设置有第二喷头，所述第二喷头的喷淋方向与废气在第二水洗区域内的流通方向相反。
8.进一步地，所述第一喷头与水洗罐的顶壁固定连接，所述第一喷头用于向下喷淋水洗液，所述第二喷头与水洗罐的底壁固定连接，所述第二喷头用于向上喷淋水洗液，所述第二喷头的喷淋压力大于第一喷头的喷淋压力。
9.进一步地，所述预处理机构包括预处理箱，所述预处理箱用于容纳预处理液，所述预处理箱上设置有进气管和连接管，所述进气管用于向预处理液内通入废气，所述连接管用于连通预处理箱和水洗罐。
10.进一步地，所述回收机构包括回收箱和水泵，所述回收箱用于储存水洗罐内流出的水洗液，所述回收箱内设置有用于过滤水洗液的滤网，所述水泵用于向各个第一喷头和第二喷头输送过滤后的水洗液。
11.进一步地，所述水洗罐的底部开设有若干用于连通水洗罐和回收箱的连接槽，所述连接槽内设置有用于封闭或开启连接槽的封闭组件。
12.进一步地，所述封闭组件包括启闭板和压缩弹簧，所述启闭板与连接槽滑动配合，所述启闭板与连接槽的侧壁之间形成有用于容纳水洗液流通的间隙，所述连接槽内形成有凸台，所述凸台设置于启闭板和分隔板之间，所述回收箱内设置有支撑架，所述压缩弹簧的一端与支撑架固定连接，所述压缩弹簧的另一端与启闭板固定连接，当弹簧处于自然状态下时，所示启闭板与凸台相抵以封闭连接槽。
13.进一步地，所述水洗罐上设置有排气检测组件，所述排气检测组件包括排气箱、设置于排气箱内的气体传感器、电路板、分别与排气箱相连通的排气管和回流管，所述回流管与连接管相连通，所述排气管内设置有排气阀，所述回流管内设置有回流阀，所述气体传感器、排气阀和回流阀分别与电路板电性连接。
14.与现有技术相比本方案的有益效果是：
15.通过设置气体流向相反的第一流通区域和第二流通区域，延长气体在水洗罐内的流动行程，以增加气体与喷淋液的接触时长，从而提升废气的处理效果；第一水洗区域和第二水洗区域内废气的流动方向均为竖向设置，通过提高水洗罐的高度即可成倍延长废气的流通距离，在同等占地面积的情况下能够获得较好的废气处理效果；通过回收机构有效对水洗液进行回收处理，提升水洗液的利用率；对于废气中各类密度大小不同的气体均能够有较好的处理效果，避免密度小的气体聚集在水洗罐的顶部以及密度大的气体聚集在水洗罐的底部，使得各类气体能够在第一水洗区域或者第二水洗区域内充分流动，提升废气的处理效果。
附图说明
16.图1为实施例的外形结构示意图；
17.图2为实施例的剖面结构示意图；
18.图3为图2中a处的局部放大示意图。
19.说明书附图中的附图标记包括：
20.1、预处理箱；11、进气管；12、连接管；14、连接槽；141、凸台；2、水洗罐；21、分隔板；211、通槽；22、第一水洗区域；221、第一喷头；23、第二水洗区域；231、第二喷头；3、回收箱；31、滤网；32、回收管；321、水泵；33、支撑架；331、压缩弹簧；332、启闭板；4、排气箱；41、排气管；42、回流管。
具体实施方式
21.下面结合说明书附图，并通过具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：
22.实施例：
23.一种循环水洗式的废气处理设备，如图1所示，包括依次设置的预处理机构、水洗机构和回收机构，预处理机构用于对废气进行预处理，水洗机构用于对废气喷淋水洗液并
吸收废气内的有害气体，回收机构用于循环使用后的水洗液，
24.如图1所示，水洗机构包括水洗罐2，水洗罐2内设置有四块相互平行的分隔板21，分隔板21垂直于水洗罐2的底壁，分隔板21将水洗罐2划分为三个第一水洗区域22和两个第二水洗区域23，第一水洗区域22和第二水洗区域23间隔设置，第一水洗区域22和第二水洗区域23均用于流通废气，且第一水洗区域22和第二水洗区域23内废气的流通方向相反，分隔板21上开设有若干通槽211，通槽211用于连通相邻的第一水洗区域22和第二水洗区域23，相邻两个分隔板21上的通槽211高度间隔设置。各个第一水洗区域22和第二水洗区域23依次相连并形成迂回的流通通道。第一水洗区域22内设置有第一喷头221，第一喷头221与水洗罐2的顶壁固定连接，第一喷头221用于向下喷淋水洗液，第一喷头221的喷淋方向与废气在第一水洗区域22内的流通方向相反，第二水洗区域23内设置有第二喷头231，第二喷头231与水洗罐2的底壁固定连接，第二喷头231用于向上喷淋水洗液，第二喷头231的喷淋方向与废气在第二水洗区域23内的流通方向相反。第二喷头231的喷淋压力大于第一喷头221的喷淋压力。
25.如图2所示，预处理机构包括预处理箱1，预处理箱1用于容纳预处理液，预处理液的体积需要大于预处理箱1体积的2/3，预处理液设置为双氧水，能够除去废气中的二氧化硫等气体。预处理箱1上设置有进气管11和连接管12，进气管11用于向预处理液内通入废气，连接管12用于连通预处理箱1和水洗罐2，连接管12的设置高度高于预处理液的液面。水洗罐2上设置有排气检测组件，排气检测组件包括排气箱4、设置于排气箱4内的气体传感器(图中未示出)、电路板(图中未示出)、分别与排气箱4相连通的排气管41和回流管42，回流管42与连接管12相连通，排气管41内设置有排气阀(图中未示出)，回流管42内设置有回流阀(图中未示出)，气体传感器、排气阀和回流阀分别与电路板电性连接。
26.如图1和2所示，回收机构包括回收箱3和水泵321，回收箱3用于储存水洗罐2内流出的水洗液，回收箱3内设置有用于过滤水洗液的滤网31，回收箱3上设置回收管32，回收管32与各个第一喷头221和第二喷头231相连通，水泵321设置于回收管32上，回收管32与回收箱3的连接位置低于滤网31。
27.如图2和图3所示，水洗罐2的底部开设有若干用于连通水洗罐2和回收箱3的连接槽14，连接槽14内设置有用于封闭或开启连接槽14的封闭组件。封闭组件包括启闭板332和压缩弹簧331，启闭板332与连接槽14滑动配合，启闭板332与连接槽14的侧壁之间形成有用于容纳水洗液流通的间隙，连接槽14内形成有凸台141，凸台141设置于启闭板332和分隔板21之间，回收箱3内设置有支撑架33，压缩弹簧331的一端与支撑架33固定连接，压缩弹簧331的另一端与启闭板332固定连接，当弹簧处于自然状态下时，所示启闭板332与凸台141相抵以封闭连接槽14。
28.本方案具体实施方式如下：
29.初始状态下，压缩弹簧331处于压缩状态下，启闭板332与凸台141相抵。处理废气时，废气由进气管11通入预处理箱1内，并经预处理液初步处理后由连接管12进入水洗罐2内，第一喷头221向下喷淋水洗液，废气沿第一水洗区域22向上流通并经通槽211进入第二流通区域，第二喷头231向上喷淋水洗液，废气沿第二水洗区域23向下流动并通过通槽211进入下一第一水洗区域22内，循环上述过程至废气进入排气箱4内。气体传感器检测排气箱4内的废气浓度，当检测到废气达到排放标准后，电路板控制排气阀开启，处理后的废气排
入大气内，如若检测到废气未达排放标准，电路板控制回流阀开启，将废气通过连接管12输入水洗罐2内，重新对废气进行水洗。水洗罐2内的水洗液在喷淋后聚集在水洗罐2底部，当水洗液的重力大于弹簧的弹力时，水洗液挤压启闭板332向下移动，使得水洗液通过间隙进入回收箱3内。水洗液经过滤网31的过滤后，由水泵321将其输送至各个第一喷头221和第二喷头231，使得水洗液在本废气处理设备内循环。
30.以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本技术要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。