一种带风力均布导向功能的风刀结构的制作方法

1.本实用新型涉及匀胶机设备技术领域，尤其涉及一种带风力均布导向功能的风刀结构。


背景技术：

2.匀胶机又称旋涂仪，它通过快速旋转基片，将基片表面的功能性胶液通过离心力展成为均匀的液膜，并将多余的胶液甩出。该类设备广泛应用于半导体光刻前道工序、太阳能电池和锂电池制造、显示器等行业。
3.匀胶过程中光刻胶的干燥速度不仅取决于光刻胶的自身性质(如所用溶剂体系的挥发性)，而且还取决于匀胶过程中基片周围的空气状况,匀胶机与基片的连接是通过强力真空吸附产生的压力提供的摩擦力实现,尽管密闭碗实际上并非完全是一个密不透气的环境，在匀胶过程中排风罩能让很小的气流通过，与位于匀胶台旋转头(吸盘)下面的底部排气口想配合，排风罩成为一个排风系统的通道，以达到减小不希望有的随机湍流的目的。传统设备排气时，容易因风力不均导致的转速不稳定，不能保持平稳的高速旋转，同时真空吸力也会将工作环境内悬浮的胶质颗粒甚至是胶液吸入内部管路，日积月累导致管路狭窄，真空度下降，基片无法稳固吸附，或直接造成真空回路堵塞，设备故障停机。


技术实现要素：

4.为了解决上述问题，本实用新型提出一种带风力均布导向功能的风刀结构，以更加确切地解决上述所述传统匀胶机中排气不稳定，且结构易堵塞的问题。
5.本实用新型通过以下技术方案实现的：
6.本实用新型提出一种带风力均布导向功能的风刀结构，包括风刀本体，所述风刀本体由风刀座和风刀盖构成，所述风刀座内部沿其长度方向开设有匀流气道，风刀盖通过若干个定位螺钉与风刀座固定连接，风刀座与风刀盖之间留有与匀流气道相通的风息，风息的间隙为4-5mm，所述风刀座的一端一体成型有连接管端，连接管端内部开设有与匀流气道连通的气孔，气孔位于连接管端端口位置设有内螺纹部
7.进一步的，所述风刀座连接风刀盖的位置处设有凹口槽面，风刀盖配合卡合于凹口槽面中，且风刀盖与凹口槽面的贴合面之间垫设有密封橡胶垫片。
8.所述风刀座内部且位于匀流气道的一侧开设有与其相平行的收集槽，收集槽为“凹”字形槽腔，且收集槽的槽腔深度为5-8mm。
9.所述收集槽中设有集尘条，集尘条为与收集槽内腔壁配适贴合的“凹”字形槽盒体。
10.所述风刀座底部且对应收集槽的位置螺接有一对调距螺栓，调距螺栓呈垂直收集槽的槽底贯穿，且调距螺栓的内端部与集尘条的底部相转接。
11.本实用新型的有益效果：
12.1、本实用新型中连接管端通过端部的内螺纹部并联于匀胶机的离心排风管路中，
匀胶机的密封内腔中的气体沿风刀本体的风息吸入，最后通入连接管端所并联的离心排风管路中，风刀结构的排风原理是压缩空气形成的气流，排风均匀稳定不产生紊流，保证基片涂液层的平整效果，同时无污染、无噪音；
13.2、本实用新型在匀胶机的密封内腔中产生的温润气体沿风息中进入时，悬浮的胶质颗粒或者胶液在收集槽中的集尘条进行聚集储存，且由于风刀座与风刀盖之间采用定位螺钉连接固定，方便结构间的拆卸和安装，同时方便定期拆卸清理或者更换；
14.3、本实用新型通过对调距螺栓进行拧转，调节集尘条上端与风息之间的间距，从而达到调节风息的间距大小，可根据涂抹不同光刻胶的特性来调节排风量的大小。
附图说明
15.图1为本实用新型的一种带风力均布导向功能的风刀结构的分解图；
16.图2为本实用新型的一种带风力均布导向功能的风刀结构的立体结构示意图；
17.图3为本实用新型的一种带风力均布导向功能的风刀结构的正视图；
18.图4为图2中a-a处的剖视图；
19.图5为图2中b-b处的剖视图。
20.图中：1、风刀座；101、连接管端；1011、气孔；1012、内螺纹部；102、匀流气道；103、收集槽；104、风息；2、风刀盖；201、定位螺钉；3、集尘条；301、调距螺栓。
具体实施方式
21.为了更加清楚完整的说明本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
22.请参考图1-图5，本实用新型提出一种带风力均布导向功能的风刀结构，包括风刀本体，风刀本体由风刀座1和风刀盖2构成，风刀座1内部沿其长度方向开设有匀流气道102，风刀盖2通过若干个定位螺钉201与风刀座1固定连接，风刀座1与风刀盖2之间留有与匀流气道102相通的风息104，风息104的间隙为4-5mm，风刀座1的一端一体成型有连接管端101，连接管端101内部开设有与匀流气道102连通的气孔1011，气孔1011位于连接管端101端口位置设有内螺纹部1012，连接管端101通过端部的内螺纹部1012并联于匀胶机的离心排风管路中，匀胶机的密封内腔中的气体沿风刀本体的风息104吸入，最后通入连接管端101所并联的离心排风管路中，风刀结构的排风原理是压缩空气形成的气流，排风均匀稳定不产生紊流，保证基片涂液层的平整效果，同时无污染、无噪音，风刀座1连接风刀盖2的位置处设有凹口槽面，风刀盖2配合卡合于凹口槽面中，且风刀盖2与凹口槽面的贴合面之间垫设有密封橡胶垫片，保证风刀座1与风刀盖2连接处的连接密封效果。
23.结合图2和图5所示，风刀座1内部且位于匀流气道102的一侧开设有与其相平行的收集槽103，收集槽103为“凹”字形槽腔，且收集槽103的槽腔深度为5-8mm，收集槽103中设有集尘条3，集尘条3为与收集槽103内腔壁配适贴合的“凹”字形槽盒体，当匀胶机的密封内腔中产生的温润气体沿风息104中进入时，悬浮的胶质颗粒或者胶液在收集槽103中的集尘条3进行聚集储存，且由于风刀座1与风刀盖2之间采用定位螺钉201连接固定，方便结构间的拆卸和安装，同时方便定期拆卸清理或者更换。
24.如图5所示，风刀座1底部且对应收集槽103的位置螺接有一对调距螺栓301，调距
螺栓301呈垂直收集槽103的槽底贯穿，且调距螺栓301的内端部与集尘条3的底部相转接，通过对调距螺栓301进行拧转，调节集尘条3上端与风息104之间的间距，从而达到调节风息104的间距大小，可根据涂抹不同光刻胶的特性来调节排风量的大小。
25.本实用新型安装时，风刀本体一端的连接管端101通过端部的内螺纹部1012并联于匀胶机的离心排风管路中，匀胶机的密封内腔中的气体沿风刀本体的风息104吸入，最后通入连接管端101所并联的离心排风管路中，风刀结构的排风原理是压缩空气形成的气流，排风均匀稳定不产生紊流，保证基片涂液层的平整效果，同时无污染、无噪音；
26.本实用新型在匀胶机的密封内腔中产生的温润气体沿风息104中进入时，悬浮的胶质颗粒或者胶液在收集槽103中的集尘条3进行聚集储存，且由于风刀座1与风刀盖2之间采用定位螺钉201连接固定，方便结构间的拆卸和安装，同时方便定期拆卸清理或者更换；
27.本实用新型通过对调距螺栓301进行拧转，调节集尘条3上端与风息104之间的间距，从而达到调节风息104的间距大小，可根据涂抹不同光刻胶的特性来调节排风量的大小。
28.当然，本实用新型还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。