一种过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种过滤装置。


背景技术：

2.在半导体制造过程中，在使用到机械化学研磨将晶圆平坦化时需要使用大量的水，并需要及时将研磨产生的废水排干净，因为研磨区域同时使用的研磨液，对于某些研磨液易结晶以及沉淀，通过简单打孔设置滤网不足以把结块的研磨液排走，结块的研磨液导致排水口堵塞，甚至排液管内产生结晶堵塞排液管，每次堵塞会导致水不能及时排出，由此容易导致两方面的问题：一是机台内部液位上升，水会泄漏出机台外面；二是排液管内部水流下降，导致管道内部形成结晶，进一步堵塞排液管。
3.因此，如何提供一种过滤装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种过滤装置，以解决现有技术存在的废液内的结晶堵塞排水口，从而导致机台液位上升废液泄漏出机台，以及排液管内部形成结晶进一步堵塞排液管的问题。
5.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；
6.其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；
7.所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；
8.所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；
9.所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。
10.可选的，所述保护壳的侧面为一环面，所述进液口设置在所述保护壳的顶部。
11.可选的，所述储存盒为一环形槽，所述环形槽的内环口为所述出液口，所述保护壳的侧面内侧直径和所述环形槽的外环直径相同。
12.可选的，所述储存盒与所述保护壳间可拆卸连接。
13.可选的，所述固体粉碎组件包括：能够绕所述固定轴承转动的气动叶轮；
14.所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，包括：
15.所述气动叶轮周向分布在所述固定轴承的外围，且所述气动叶轮呈放射状沿所述固定轴承至所述保护壳的侧面方向设置。
16.可选的，所述固定轴承上设置有通气孔，利用所述通气孔接入气源从而带动所述气动叶轮转动。
17.可选的，所述过滤结构为空心柱体，所述柱体的顶部为开口，所述柱体的底部设置有数个排液孔，所述柱面上周向的设置有数个固体出口，所述气动叶轮设置在所述空心柱体内。
18.可选的，所述固定装置包括固定轴套和沿所述固定轴套的周向设置的数个固定支脚；
19.所述固定轴套具有一上下贯通的固定孔，所述固定轴套通过所述固定孔套设在所述固定轴承的顶部；
20.每个所述固定支脚的一端连接所述固定轴套，每个所述固定支脚的另一端连接所述保护壳。
21.可选的，所述保护壳上设置有与所述固定支脚对应的连接孔，所述固定支脚通过所述连接孔与所述保护壳连接。
22.可选的，所述固定装置位于所述保护壳上方，所述固定支脚为l型，所述固定支脚的一端横向连接所述固定轴套外侧，所述固定支脚的另一端竖直插入所述连接孔内。
23.与现有技术相比，本实用新型提供的一种过滤装置具有以下有益效果：
24.本实用新型提供的一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。本实用新型通过将所述过滤装置设置在排液口和排液管之间，当废液从所述过滤装置流入排液管时，所述固体粉碎组件能够将流经的废液中的固体粉碎，粉碎后的固体碎屑将从所述过滤结构排出并落入到所述储存盒内。即使有小部分的固体碎屑跟随废液流入排液管，被粉碎后的固体碎屑也不会在所述排液管内形成大块固体再次堵塞排液管。由此，本实用新型提供的过滤装置能够减少排液口处结晶堆积，保持排液管通畅，防止研磨积水漫出。
附图说明
25.图1为本实用新型一实施例提供的过滤装置的侧视图；
26.图2为本实用新型一实施例提供的过滤装置的俯视图；
27.图3为本实用新型一实施例提供的过滤装置的仰视图；
28.其中，100-固定装置，101-固定支脚，102-固定轴套，200-固定轴承，300-保护壳，301-进液口，400-固体粉碎组件，500-储存盒，501-出液口。
具体实施方式
29.下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本实用新型的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本实用
新型某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
30.在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
31.实施例一
32.本实施例提供了一种过滤装置，具体地，请参见附图1-附图3，图1-图3分别为本实用新型提供的过滤装置的侧视图、俯视图以及仰视图，结合图1-图3可以明显看出，本实用新型提供的过滤装置包括：储存盒500、保护壳300、固体粉碎组件400、固定轴承200、过滤结构(图中未标识)和固定装置100；其中，所述保护壳300盖设在所述储存盒500上形成一容纳部，所述保护壳300具有一进液口301，所述储存盒500具有一出液口501；所述进液口301与所述出液口501位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口301和所述出液口501；所述固体粉碎组件400放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件400覆盖所述出液口501；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件400外围；所述固定轴承200的一端连接所述固体粉碎组件400；所述固定轴承200的另一端通过所述固定装置100与所述保护壳300连接。
33.如此设置，本实用新型通过将所述过滤装置设置在排液口和排液管之间，当废液从所述过滤装置流入排液管时，所述固体粉碎组件400能够将流经的废液中的固体粉碎，粉碎后的固体碎屑将从所述过滤结构排出并落入到所述储存盒500内。即使有小部分的固体碎屑跟随废液流入排液管，被粉碎后的固体碎屑也不会在所述排液管内形成大块固体再次堵塞排液管。由此，本实用新型提供的过滤装置能够减少排液口处结晶堆积，保持排液管通畅，防止研磨积水漫出。
34.优选的，所述保护壳300的侧面为一环面，所述进液口301设置在所述保护壳300的顶部。由于排液口的形状往往是圆形开口，由此，本实用新型提供的所述过滤装置更容易放置到所述排液口处。
35.优选的，所述储存盒500为一环形槽，所述环形槽的内环口为所述出液口501，所述保护壳300的侧面内侧直径和所述环形槽的外环直径相同。由此，所述储存盒500能够与上述的侧面为环面的保护壳300相匹配。同时，所述保护壳300的侧面内侧直径和所述环形槽的外环直径相同保证了所述保护壳300和所述储存盒500之间连接处无缝隙，从而使得从所述固体出口排出的固体碎屑都能够落入所述储存盒500内，而不会从所述储存盒500与所述保护壳300相连处漏出。
36.优选的，所述储存盒500与所述保护壳300间可拆卸连接。如此设置，当机台处于维护保养期间，能够将所述储存盒500拆卸，清除所述储存盒500内收集的结晶沫，避免所述储存盒500内的结晶沫过多溢出，影响排液管的排液效率或导致排液管堵塞。
37.优选的，所述固体粉碎组件400包括：能够绕所述固定轴承200转动的气动叶轮；所述固定轴承200的一端连接所述固体粉碎组件400，包括：所述气动叶轮周向分布在所述固
定轴承200的外围，且所述气动叶轮呈放射状沿所述固定轴承200至所述保护壳300的侧面方向设置。由此，所述气动叶轮在转动过程中能够将所述废液中的固体粉碎。同时，所述气动叶轮结构简单轻便、安装维护简单，仅需通气就可以实现转动。
38.优选的，所述固定轴承200上设置有通气孔，利用所述通气孔接入气源从而带动所述气动叶轮转动。其中，因机台本身具有气源，由此，本实用新型提供的过滤装置可以在不增加新的动力来源情况下，将所述气源接入所述通气孔内，从而保证所述气动叶轮工作，从而降低成本。
39.优选的，所述过滤结构为柱面形，所述过滤结构为空心柱体，所述柱体的顶部为开口，所述柱体的底部设置有数个排液孔，所述柱面上周向的设置有数个固体出口，所述气动叶轮设置在所述空心柱体内。需要进一步说明的是，所述排液孔的直径较小，仅能保证废液流过，而废液中的固体碎屑无法从所述排液孔中流出。同时，为了更快更多的排出废液，所述排液孔密集的分布在所述空心柱体的底部。由此，当废液流经所述过滤结构时，液体会从所述排液孔中流出，而被所述气动叶轮粉碎后的固体碎屑会通过所述固体出口排出到所述储存盒500内。避免了所述固体碎屑跟随废液直接从所述出液口501排出到排液管内。
40.优选的，所述固定装置100包括固定轴套102和沿所述固定轴套102的周向设置的数个固定支脚101，所述固定轴套102具有一上下贯通的固定孔，所述固定轴套102通过所述固定孔套设在所述固定轴承200的顶部；每个所述固定支脚101的一端连接所述固定轴套102，每个所述固定支脚101的另一端连接所述保护壳300。如此设置，所述固定装置100的形状既不会影响废液从所述进液口301进入，同时还能够将所述固定轴承200和所述保护壳300的固定。
41.在其中一种优选实施方式中，所述保护壳300上设置有与所述固定支脚101对应的连接孔，所述固定支脚101通过所述连接孔与所述保护壳300连接。由此，所述固定支脚101通过与所述连接孔相连从而将所述固定装置100与所述保护壳300的相对位置固定。
42.优选的，所述固定装置100位于所述保护壳300上方，所述固定支脚101为l型，所述固定支脚101的一端横向连接所述固定轴套102外侧，所述固定支脚101的另一端竖直插入所述连接孔内。如此设置，所述固定装置100设置在所述保护壳300上方，保障了所述固定装置100的位置不会影响所述固体粉碎组件400和所述过滤结构。同时所述固定支脚101的形状也更便于所述固定装置100与所述保护壳300连接。在其中一种优选实施方式中，所述固定支脚101有4个，4个所述固定支脚101分别对称设置在所述固定轴套102外侧。由此，保障了所述固定装置100与所述保护壳300在连接时受力均匀，当所述固体粉碎组件400转动时，所述固定装置100与所述保护壳300间能够稳定连接。
43.另外，在本文各个实施方式中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明说中的各个组件。元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
44.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅
表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
45.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
46.综上，在本实用新型提供的一种过滤装置，包括：储存盒500、保护壳300、固体粉碎组件400、固定轴承200、过滤结构和固定装置100；其中，所述保护壳300盖设在所述储存盒500上形成一容纳部，所述保护壳300具有一进液口301，所述储存盒500具有一出液口501；所述进液口301与所述出液口501位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口301和所述出液口501；所述固体粉碎组件400放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件400覆盖所述出液口501；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件400外围；所述固定轴承200的一端连接所述固体粉碎组件400；所述固定轴承200的另一端通过所述固定装置100与所述保护壳300连接。本实用新型通过将所述过滤装置设置在排液口和排液管之间，当废液从所述过滤装置流入排液管时，所述固体粉碎组件400能够将流经的废液中的固体粉碎，粉碎后的固体碎屑将从所述过滤结构排出并落入到所述储存盒500内。即使有小部分的固体碎屑跟随废液流入排液管，被粉碎后的固体碎屑也不会在所述排液管内形成大块固体再次堵塞排液管。由此，本实用新型提供的过滤装置能够减少排液口处结晶堆积，保持排液管通畅，防止研磨积水漫出。
47.上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。