一种气体过滤器的制作方法

文档序号:31643414发布日期:2022-09-27 19:14阅读:118来源:国知局
一种气体过滤器的制作方法

1.本实用新型涉及环保设备技术领域,尤其涉及一种气体过滤器。


背景技术:

2.半导体行业在生产的过程中,会产生大量的有机物以及有毒有害气体,这些气体包含了有机气体、酸性气体、碱性气体和有毒气体,成分复杂,被直接排放到空气中,会破坏大气层,危害人体健康,造成雾霾、酸雨等自然灾害的发生。
3.现有技术(cn215742524u)公开了一种气体过滤器,包括过滤器筒体和过滤网,还包括网筒支架和转动轴,过滤网安装在网筒支架上,网筒支架固定在转动轴上,过滤网设于过滤器筒体的内部,过滤器筒体的顶端设有顶盖,过滤器的底部设有底盖,转动轴的一端贯穿顶盖且与顶盖转动连接,转轴的另一端穿过过滤器筒体与底盖转动连接;过滤器筒体的一侧设有进气管,过滤器的另一侧设有出气管,顶盖设有冲洗管道,底盖设有排污管道,冲洗管道和排污管道均设有阀门;该气体过滤器,安装在管道上可实现对其简单操作即可清洗,避免气体泄漏,造成对环境的污染及安全隐患问题,同时延长设备的更换周期,确保设备安全生产。
4.但是上述过滤器只通过过滤网进行过滤,半导体生产过程中产生的废气成分较多、较为复杂,不能对其进行深度过滤,过滤效果不好。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种气体过滤器,旨在解决过滤器只通过过滤网进行过滤,过滤效果不好的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供了一种气体过滤器,包括主体和过滤组件,所述主体设置有过滤腔,所述过滤腔位于所述主体内部,所述过滤组件设置于所述过滤腔内;
7.所述过滤组件包括第一滤网、集气斗、导气管、进液管、排液阀和第二滤网,所述第一滤网与所述主体拆卸连接,并位于所述主体一侧,所述集气斗与所述主体固定连接,并位于所述过滤腔内,所述导气管与所述集气斗连通,并位于所述集气斗一侧,所述进液管与所述主体连通,并位于所述主体顶部,所述排液阀设置于所述主体一侧,所述第二滤网与所述主体拆卸连接,并位于所述主体远离所述第一滤网一侧。
8.其中,所述主体包括外壳、进气管和排气机构,所述外壳与所述进液管固定连接,并位于所述进液管底部,所述进气管与所述外壳连通,并位于所述外壳一侧,所述排气机构设置于所述外壳远离所述进气管一侧。
9.其中,所述排气机构包括排气管、安装架、电机和若干扇叶,所述排气管与所述外壳连通,并位于所述外壳远离所述进气管一侧,所述安装架与所述排气管拆卸连接,并位于所述排气管内部,所述电机与所述安装架拆卸连接,并位于所述安装架一侧,若干所述扇叶分别与所述电机的输出端固定连接,均位于所述电机远离所述安装架一侧。
10.其中,所述进液管具有管盖,所述管盖位于所述进液管顶部。
11.其中,所述主体还包括观察窗,所述观察窗与所述外壳固定连接,并位于所述外壳靠近所述排液阀一侧。
12.其中,所述过滤组件还包括过滤罩,所述过滤罩与所述进气管拆卸连接,并位于所述进气管远离所述外壳一侧。
13.其中,所述过滤组件还包括密封圈,所述密封圈设置于所述集气斗与所述导气管之间。
14.其中,所述过滤组件还包括加热器,所述加热器与所述外壳固定连接,并位于所述外壳内部。
15.其中,所述过滤组件还包括吸水层,所述吸水层设置于所述排气管靠近所述第二滤网一侧。
16.其中,所述主体还包括两个把手,两个所述把手分别与所述外壳固定连接,分别位于所述外壳两侧。
17.本实用新型的一种气体过滤器,所述主体为所述过滤组件提供安装条件,所述过滤腔用于存储吸收液,过滤废气,所述第一滤网和所述第二滤网均由活性炭纤维复合过滤介质材料制成,半导体生产过程中产生的废气首先通过所述第一滤网,所述第一滤网将废气中的有毒废气和有机废气吸收,初步过滤废气,所述集气斗使废气集中并进入所述导气管,保证废气进入下一过滤环节,通过所述进液管将吸收液加入所述过滤腔中,并没过所述导气管,所述导气管引导废气进入吸收液中,所述吸收液会吸收废气中的酸性废气和碱性废气,从而完成对废气的深度过滤,深度过滤完成的废气再经过所述第二滤网进行最终过滤,通过三重过滤环节,将半导体生产过程中产生的废气中的各种成分吸收过滤,过滤效果良好,深度过滤完成后通过所述排液阀将吸收液排出,进行处理,解决了过滤器只通过过滤网进行过滤,过滤效果不好的问题。
附图说明
18.为了更清楚地说明本审请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1是本实用新型提供的一种气体过滤器的整体结构示意图。
20.图2是本实用新型提供的一种气体过滤器的纵向剖视图。
21.图3是本实用新型提供的一种气体过滤器的主视图。
22.1-主体、2-过滤组件、3-外壳、4-进气管、5-排气机构、6-第一滤网、7-集气斗、8-导气管、9-进液管、10-排液阀、11-第二滤网、12-排气管、13-安装架、 14-电机、15-扇叶、16-管盖、17-观察窗、18-过滤腔、19-过滤罩、20-密封圈、21-加热器、22-吸水层、23-把手。
具体实施方式
23.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型
的限制。此外,在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
24.请参阅图1至图3,本实用新型提供一种气体过滤器,包括主体1和过滤组件2,所述主体1设置有过滤腔18,所述过滤腔18位于所述主体1内部,所述过滤组件2设置于所述过滤腔18内;
25.所述过滤组件2包括第一滤网6、集气斗7、导气管8、进液管9、排液阀 10和第二滤网11,所述第一滤网6与所述主体1拆卸连接,并位于所述主体1 一侧,所述集气斗7与所述主体1固定连接,并位于所述过滤腔18内,所述导气管8与所述集气斗7连通,并位于所述集气斗7一侧,所述进液管9与所述主体1连通,并位于所述主体1顶部,所述排液阀10设置于所述主体1一侧,所述第二滤网11与所述主体1拆卸连接,并位于所述主体1远离所述第一滤网 6一侧。
26.在本实施方式中,所述主体1为所述过滤组件2提供安装条件,所述过滤腔18用于存储吸收液,过滤废气,所述第一滤网6和所述第二滤网11均由活性炭纤维复合过滤介质材料制成,半导体生产过程中产生的废气首先通过所述第一滤网6,所述第一滤网6将废气中的有毒废气和有机废气吸收,初步过滤废气,所述集气斗7使废气集中并进入所述导气管8,保证废气进入下一过滤环节,通过所述进液管9将吸收液加入所述过滤腔18中,并没过所述导气管8,所述导气管8引导废气进入吸收液中,吸收液会吸收废气中的酸性废气和碱性废气,从而完成对废气的深度过滤,深度过滤完成的废气再经过所述第二滤网11进行最终过滤,通过三重过滤环节,将半导体生产过程中产生的废气中的各种成分吸收过滤,过滤效果良好,深度过滤完成后通过所述排液阀10将吸收液排出,进行处理,解决了过滤器只通过过滤网进行过滤,过滤效果不好的问题。
27.进一步的,所述主体1包括外壳3、进气管4和排气机构5,所述外壳3与所述进液管9固定连接,并位于所述进液管9底部,所述进气管4与所述外壳3 连通,并位于所述外壳3一侧,所述排气机构5设置于所述外壳3远离所述进气管4一侧;所述排气机构5包括排气管12、安装架13、电机14和若干扇叶 15,所述排气管12与所述外壳3连通,并位于所述外壳3远离所述进气管4一侧,所述安装架13与所述排气管12拆卸连接,并位于所述排气管12内部,所述电机14与所述安装架13拆卸连接,并位于所述安装架13一侧,若干所述扇叶15分别与所述电机14的输出端固定连接,均位于所述电机14远离所述安装架13一侧;所述主体1还包括观察窗17,所述观察窗17与所述外壳3固定连接,并位于所述外壳3靠近所述排液阀10一侧;所述主体1还包括两个把手23,两个所述把手23分别与所述外壳3固定连接,分别位于所述外壳3两侧。
28.在本实施方式中,所述外壳3为所述进气管4和所述排气机构5提供安装条件,所述进气管4使废气进入过滤器中进行过滤,所述排气管12使经过过滤后的废气排出,所述安装架13为所述电机14提供安装条件,所述电机14带动若干所述扇叶15转动,从而使所述过滤腔18中的废气通过所述排气管12排出,避免废气在所述过滤腔18中堆集,导致所述过滤腔18中压强过大,使吸收液沿着所述导气管8逆流,所述观察窗17由透明材料制成,用于观察吸收液的情况,方便人工定期更换吸收液,保证过滤效果良好,两个所述把手23方便人工对过滤器进行搬运。
29.进一步的,所述进液管9具有管盖16,所述管盖16位于所述进液管9顶部;所述过滤
组件2还包括过滤罩19,所述过滤罩19与所述进气管4拆卸连接,并位于所述进气管4远离所述外壳3一侧;所述过滤组件2还包括密封圈20,所述密封圈20设置于所述集气斗7与所述导气管8之间;所述过滤组件2还包括加热器21,所述加热器21与所述外壳3固定连接,并位于所述外壳3内部;所述过滤组件2还包括吸水层22,所述吸水层22设置于所述排气管12远离所述安装架13一侧。
30.在本实施方式中,所述管盖16将所述进液管9密封,保证所述过滤腔18 中的废气不会从所述排气管12以外的地方排出,保证过滤效果良好,所述过滤罩19将废气中的水蒸气和粉尘微粒过滤,延长了所述第一滤网6的使用寿命,也防止废气中的水蒸气将吸收液稀释,保证过滤效果良好,所述密封圈20使所述导气管8和所述集气斗7连接更紧密,不会漏气,保证废气全部进入深度过滤环节,所述加热器21对吸收液进行加热,在吸收液饱和时,通过升温的方式使吸收液继续对废气进行吸收,提高了吸收液的利用率,所述吸水层22由高吸水树脂和木浆等材料制成,将经过深度过滤后的废气中的水蒸气和吸收液升温挥发的水蒸气吸收,延长了所述第二滤网11的使用寿命。
31.以上所揭露的仅为本技术一种较佳实施例而已,当然不能以此来限定本技术之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本技术权利要求所作的等同变化,仍属于本技术所涵盖的范围。
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