一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种尾气处理装置，具体涉及一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置。


背景技术：

2.乙硼烷和磷烷均在半导体中有重要作用，其中乙硼烷主要用作硅材料的p型掺杂源，以及硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入；磷烷是重要n型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、离子注入工艺、movcd工艺等工艺中。
3.乙硼烷和磷烷均为剧毒气体，需处理至无毒后排放。干式尾气处理装置用吸附桶完全处理尾气，没有明火，不需要用水资源和高温加热。专利cn109012020a介绍了砷烷磷烷尾气处理装置，采用报警系统连控的切换偶联系统保证主吸附桶饱和时自动切换至应急吸附桶，保证剧毒气体应急处理至tlv值以下，保障安全。
4.乙硼烷和磷烷均有干式吸附剂，磷烷的干式吸附剂对乙硼烷有一定的吸附能力，乙硼烷的干式吸附剂对磷烷没有吸附能力。
5.在某些场合中，乙硼烷和磷烷会同时使用。但是，乙硼烷和璘烷均采用电化学型的磷烷探测器，乙硼烷对磷烷探测器有响应，但较磷烷弱。在有毒气体泄漏的应急状态下，探测器与事故风机连锁，事故风机启动后将泄漏的有毒气体排入尾气处理装置，由于乙硼烷和磷烷探测器无法区分乙硼烷和磷烷，因此无论乙硼烷或磷烷泄漏，事故风机均会启动，将泄漏气体同时排入乙硼烷吸附装置和磷烷吸附装置。若磷烷泄漏，乙硼烷吸附装置无法吸附磷烷，可能导致磷烷超标排放；若乙硼烷泄漏，磷烷吸附装置对乙硼烷的吸附能力无法达到设计能力，也可能会导致乙硼烷排气超标，为此，需要设计一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置来解决上述问题。


技术实现要素：

6.本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，该装置结构设计科学合理，吸附效果好，安全可靠，成本低廉。
7.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，其特征在于，包括第一吸附桶、第二吸附桶和应急吸附桶，所述应急吸附桶的两端分别连接排气管和第一输气管，所述第一吸附桶的两端分别连接第二输气管和连接管，所述第二吸附桶的两端分别连接所述连接管和固定管，所述第一输气管连接第二输气管，所述固定管连接排气管，所述排气管上设置有风机和气体探测器。
8.优选地，所述第一输气管上设置第一安全切断阀，所述第二输气管上设置第二安全切断阀，所述排气管上设置第三安全切断阀，所述固定管上设置第四安全切断阀，所述连接管上设置截止阀。
9.优选地，所述第一吸附桶和第二吸附桶的一侧均设有显色剂视窗，所述第一吸附
桶、第二吸附桶和应急吸附桶内沿气体运动方向均依次设置乙硼烷吸附层和磷烷吸附层，乙硼烷吸附层内填充乙硼烷吸附试剂，磷烷吸附层内填充磷烷吸附试剂，通过显色剂视窗观察试剂变色情况。
10.优选地，所述第一吸附桶和第二吸附桶的侧壁上均设置有温度传感器。
11.本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
12.1、本实用新型结构简单，使用方便，成本低廉，吸附效果好，安全可靠。
13.2、本实用新型可以对两种气体进行吸收，避免吸附漏洞，同时克服吸附桶内填料造成阻力，可以在饱和后切换至应急吸附桶，极大的保证了吸附时的安全性。由于磷烷的干式吸附剂对乙硼烷有一定的吸附能力，乙硼烷的干式吸附剂对磷烷没有吸附能力，故在气体运动的前方设置乙硼烷吸附剂先吸附乙硼烷，在后方设置磷烷吸附剂在吸附磷烷的同时进一步吸附乙硼烷，充分保障乙硼烷和磷烷的吸附效果，提高磷烷探测器的探测精度，有限降低磷烷探测器的误报或漏报概率，安全性高。
14.3、本实用新型将应急吸附桶与第一、第二吸附桶并联连接，在第一、第二吸附桶出现紧急状况时能及时切换至应急吸附桶，充分保障安全，在吸附过程中通过显色剂视窗观察吸附试剂的变色情况判断是否吸附饱和，通过温度传感器检测桶内是否有异常，在排气管上安装气体探测器来监测排出气体是否安全，多重保护防止气体泄漏，安全可靠。
15.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
附图说明
16.图1是本实用新型的结构示意图。
17.图2是本实用新型中取消第二吸附桶的连接结构示意图。
18.附图标记说明：
19.1—应急吸附桶；
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2—第一安全切断阀；
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3—第二安全切断阀；
20.4—第一输气管；
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5—第二输气管；
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6—温度传感器；
21.7—第一吸附桶；
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8—排气管；
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9—第三安全切断阀；
22.10—截止阀；
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11—连接管；
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12—气体探测器；
23.13—第四安全切断阀；
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14—固定管；
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15—风机；
24.16—第二吸附桶；
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17—显色剂视窗。
具体实施方式
25.如图1所示，本实用新型包括第一吸附桶7、第二吸附桶16和应急吸附桶1，所述应急吸附桶1的上端连接排气管8、应急吸附桶1的下端连接第一输气管4，所述第一吸附桶7的下端连接第二输气管5、第一吸附桶7的上端连接有连接管11，所述第二吸附桶16的下端连接连接管11、第二吸附桶16的上端连接固定管14，所述第一输气管4连接在第二输气管5上，所述固定管14连接在排气管8上，所述排气管8上设置有风机15和气体探测器12。
26.本实施例中，所述第一输气管4上设置第一安全切断阀2，所述第二输气管5上设置第二安全切断阀3，所述排气管8上设置第三安全切断阀9，所述固定管14上设置第四安全切断阀13，所述连接管11上设置截止阀10。
27.本实施例中，所述第一吸附桶7和第二吸附桶16的侧面均设有显色剂视窗17，所述
第一吸附桶7、第二吸附桶16和应急吸附桶1内由下至上依次设置乙硼烷吸附层和磷烷吸附层，乙硼烷吸附层内填充乙硼烷吸附试剂，磷烷吸附层内填充磷烷吸附试剂，通过显色剂视窗17观察试剂变色情况判断吸附是否饱和。
28.本实施例中，在排气管8上设置风机15，将气体顺利抽入吸附桶内，克服吸附桶内填料造成的阻力。
29.本实施例中，所述第一吸附桶7和第二吸附桶16的侧壁上均设置有温度传感器6，监控桶内温度是否有异常状况。
30.安装使用时，尾气自第二输气管5进入第一吸附桶7，依次经过乙硼烷吸附层和磷烷吸附层的吸附，然后再进入第二吸附桶16，再次进行吸附，当气体探测器12报警时、或变色指示剂变色时、或温度传感器6超出限值时，将气路切换至应急吸附桶1第一安全切断阀2和第三安全切断阀9开启，第二安全切断阀3和第四安全切断阀13封闭，将尾气送至应急吸附桶1进行吸附处理，保障安全。如图2所示，根据处理尾气的量可以取消第二吸附桶16保留第一吸附桶7和应急吸附桶1。
31.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制。凡是根据实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。