超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于超声雾化热解喷涂反应室领域，尤其涉及一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构。
【背景技术】
[0002]超声雾化热解喷涂(简称USP)是一种常见的薄膜材料制备工艺，在科研和生产中有广泛的用途，这种方法擅长氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制备。合理的工艺参数下，USP薄膜的质量可以与溅射法、CVD方法制备的薄膜材料相当，但成本却大幅度降低。
[0003]超声雾化热解喷涂反应室上部设有一个用于固定衬底的载台，该载台上方设有碘钨灯，从而通过该碘钨灯在载台附近的区域形成一个高温热反应区域。雾化后的雾滴从雾化源喷出，由下往上射向载台，从而在此处发生热解反应。载台为转动转台，该载台通过一根转动杆与电机的输出轴下端同轴连接，而电机通过支架固定在上盖的上表面，且上盖与反应室的顶面密封连接，更换已经喷涂好的产品时可以将上盖打开。
[0004]载台附近的区域为高温热反应区域，现有结构不具有热屏蔽功能，大量热能会传导到反应室顶部，这样就会造成能源浪费。同时，雾化后的雾滴也会充满反应室顶部的内腔，而雾滴为强酸或强碱性液滴，具有很强的腐蚀性，这样就会腐蚀非反应区域，为此急需解决上述技术难题。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，欲防止热和雾化的雾滴过多地转移到反应室的顶部。
[0006]本实用新型的技术方案如下:一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，包括反应室(1)和上盖(8)，其中反应室(1)内的上部水平设有一个用于固定衬底的载台(2)，该载台的上方设有一个加热体外壳(3)，在加热体外壳(3)内设有加热体(4)，通过该加热体在载台(2)附近形成高温热反应区域；所述载台(2)通过一根转动杆(5)与电机(6)的输出轴下端同轴连接，该电机通过电机支架(7)支撑在所述上盖(8)的上表面，而上盖(8)与所述反应室(1)上端面之间设有0型密封圈，且上盖(8)在需要时可以打开，其特征在于:所述加热体外壳(3)外固定有一个抽气罩(9)，该抽气罩顶部通过一个固定架(10)固定在圆环形的热反射罩(11)底面上，这个热反射罩的外边缘紧靠所述反应室(1)的内壁，其间隙量小于0.3mm;所述热反射罩(11)顶面通过一组下固定柱(12)吊装在一块水冷热屏蔽板(13)的底面上，该水冷热屏蔽板为圆环形结构，其外边缘紧靠反应室(1)的内壁，其间隙量小于0.3mm，且水冷热屏蔽板(13)顶面通过一组上固定柱(14)吊装在所述上盖(8)的下表面上；所述水冷热屏蔽板(13)上开有冷却水道，并在水冷热屏蔽板顶面竖直设有一根进水管(15)和一根出水管(16)，这两根水管的下端均与水冷热屏蔽板(13)上的冷却水道连通，且这两根水管的上端均从所述上盖(8)处伸到反应室(1)外面。
[0007]采用以上技术方案，本实用新型能通过热反射罩实现热反射，并通过水冷热屏蔽板进一步实现冷却，防止热量传导地反应室顶部，进而节能；同时，热反射罩和水冷热屏蔽板的外边缘紧靠反应室的内壁，这样又能避免误会后的雾滴大量转移到反应室内壁的非反应区域，从而防止腐蚀非反应区域的部件，进而很好地克服了现有技术的缺陷，具有很好的实用性。
[0008]在本案中，所述进水管(15)和出水管(16)设在电机(6)的两侧。
[0009]采用以上结构设计，本实用新型就能够改善热屏蔽效果。
[0010]作为优选，所述热反射罩(11)和水冷热屏蔽板(13)均为锅盖状结构，其外边缘与所述反应室(1)内壁之间的间隙量均为0.2mm。
[0011]采用以上结构设计，就能进一步改善本实用新型的热屏蔽效果，并防止雾化后的雾滴转移到反应室(1)顶部的非反应区域。
[0012]为了便于就地取材，所述加热体(4)选用碘钨灯。
[0013]有益效果:本实用新型能通过热反射罩实现热反射，并通过水冷热屏蔽板进一步实现冷却，防止热量传导地反应室顶部，进而节能；同时，热反射罩和水冷热屏蔽板的外边缘紧靠反应室的内壁，这样又能避免误会后的雾滴大量转移到反应室内壁的非反应区域，从而防止腐蚀非反应区域的部件，进而很好地克服了现有技术的缺陷，具有很好的实用性。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:
[0016]如图1所示，一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，主要由反应室1、载台
2、加热体外壳3、加热体4、转动杆5、电机6、电机支架7、上盖8、抽气罩9、固定架10、热反射罩11、下固定柱12、水冷热屏蔽板13、上固定柱14、进水管15和出水管16构成。其中，反应室1为双层结构，其内、外层之间的空腔用于容纳冷却水。反应室1内的上部水平设有一个用于固定衬底的载台2，该载台2的结构为现有结构，在此不做赘述。
[0017]载台2的上方设有一个加热体外壳3，在加热体外壳3内设有加热体4，通过该加热体4在载台2附近形成高温热反应区域。在本案中，加热体4选用碘钨灯。载台2通过一根转动杆5与电机6的输出轴下端同轴连接，该电机6通过电机支架7支撑在上盖8的上表面，而上盖8与反应室1上端面之间设有0型密封圈，且上盖8在需要取出产品或加入衬底时可以打开。
[0018]如图1所不，加热体外壳3外固定有一个抽气罩9，该抽气罩9顶部通过一个固定架10固定在圆环形的热反射罩11底面上，这个热反射罩11的外边缘紧靠反应室1的内壁，其间隙量小于0.3_。热反射罩11顶面通过一组下固定柱12吊装在一块水冷热屏蔽板13的底面上，该水冷热屏蔽板13为圆环形结构，其外边缘紧靠反应室1的内壁，其间隙量小于
0.3mm，且水冷热屏蔽板13顶面通过一组上固定柱14吊装在上盖8的下表面上。作为优选，热反射罩11和水冷热屏蔽板13均为锅盖状结构，其外边缘与反应室1内壁之间的间隙量均为0.2或0.1_。
[0019]水冷热屏蔽板13上开有冷却水道，并在水冷热屏蔽板13顶面竖直设有一根进水管15和一根出水管16，这两根水管的下端均与水冷热屏蔽板13上的冷却水道连通，且这两根水管的上端均从所述上盖8处伸到反应室1外面。另外，进水管15和出水管16设在电机6的两侧。
[0020]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不以本实用新型为限制，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，包括反应室(1)和上盖(8)，其中反应室(1)内的上部水平设有一个用于固定衬底的载台(2)，该载台的上方设有一个加热体外壳(3)，在加热体外壳(3)内设有加热体(4)，通过该加热体在载台(2)附近形成高温热反应区域；所述载台⑵通过一根转动杆(5)与电机(6)的输出轴下端同轴连接，该电机通过电机支架(7)支撑在所述上盖(8)的上表面，而上盖(8)与所述反应室(1)上端面之间设有0型密封圈，且上盖(8)在需要时可以打开，其特征在于:所述加热体外壳(3)外固定有一个抽气罩(9)，该抽气罩顶部通过一个固定架(10)固定在圆环形的热反射罩(11)底面上，这个热反射罩的外边缘紧靠所述反应室(1)的内壁，其间隙量小于0.3_;所述热反射罩(11)顶面通过一组下固定柱(12)吊装在一块水冷热屏蔽板(13)的底面上，该水冷热屏蔽板为圆环形结构，其外边缘紧靠反应室(1)的内壁，其间隙量小于0.3_，且水冷热屏蔽板(13)顶面通过一组上固定柱(14)吊装在所述上盖(8)的下表面上；所述水冷热屏蔽板(13)上开有冷却水道，并在水冷热屏蔽板顶面竖直设有一根进水管(15)和一根出水管(16)，这两根水管的下端均与水冷热屏蔽板(13)上的冷却水道连通，且这两根水管的上端均从所述上盖⑶处伸到反应室⑴外面。2.根据权利要求1所述的超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，其特征在于:所述进水管(15)和出水管(16)设在电机(6)的两侧。3.根据权利要求1所述的超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，其特征在于:所述热反射罩(11)和水冷热屏蔽板(13)均为锅盖状结构，其外边缘与所述反应室(1)内壁之间的间隙量均为0.2mm。4.根据权利要求1-3任一所述的超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，其特征在于:所述加热体(4)选用碘钨灯。
【专利摘要】本实用新型公开一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，反应室内上部设有载台，载台上方设置装有加热体的加热体外壳；载台通过转动杆与电机输出轴下端连接，加热体外壳外固定有抽气罩，抽气罩顶部通过固定架固定在圆环形的热反射罩上；热反射罩顶面通过下固定柱吊装在水冷热屏蔽板，水冷热屏蔽板通过上固定柱吊装在上盖下表面；水冷热屏蔽板上有冷却水道，水冷热屏蔽板顶面设有进水管和出水管，两根水管与水冷热屏蔽板上的冷却水道连通。本实用新型能通过热反射罩实现热反射，并通过水冷热屏蔽板实现冷却，防止热量传导地反应室顶部；热反射罩和水冷热屏蔽板外边缘紧靠反应室内壁，这样又能避免误会后的雾滴大量转移到反应室内壁的非反应区域。
【IPC分类】B05B15/12, B05B15/00
【公开号】CN205008163
【申请号】CN201520614967
【发明人】龚恒翔, 廖杰
【申请人】重庆理工大学
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年8月14日