一种微型传感器自动检测装置的制作方法

文档序号:31522484发布日期:2022-09-14 13:05阅读:71来源:国知局
一种微型传感器自动检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及非标自动化技术领域,具体涉及一种微型传感器自动检测装置。


背景技术:

2.微型传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。但是,微型传感器的加工精度要求较高,这就需要在对微型传感器加工作业后对其进行检测;由于使用人工肉眼检测会存在较大的误差,效率低下,同时,微型传感器的体积较小,人工容易漏检、错检;在针对大批量检测时,工作人员的劳动强度较高,检测效率低下,增加了企业的生产成本。因此有必要予以改进。
3.现有技术中,通常采用带有ccd相机或带有气密性检测仪的自动化检测设备对微型传感器进行检测,但是检测过程中,由于产品治具与产品之间定位不准容易存在漏气、遮挡的情况,检测结果容易存在误差,无法对产品进行精确检测。
4.因此,针对上述问题,设计一种微型传感器自动检测装置,能够通过密封治具与定位治具实现精准定位,解决现有技术中存在的漏气情况,采用自动化检测提高检测效率,对本领域技术人员来说是有必要的。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的是提供一种微型传感器自动检测装置。
6.为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种微型传感器自动检测装置,包括上料装置、上料传输装置、检测机构、下料传输装置和下料装置;
7.所述上料传输装置用于将上料装置中的微型传感器移动至检测装置中;
8.所述检测机构包括至少一个检测工位,每个所述检测工位均包括载具座、位于载具座上方的下压机构和连接在所述载具座下方的检测设备;所述载具座包括密封治具和位于所述密封治具上的定位治具,所述检测设备用于对载具座上的微型传感器进行检测并输出对应的检测结果;
9.所述下料装置包括ok料下料机构和ng料料仓,所述下料传输装置用于将检测机构中检测完的微型传感器根据检测结果移动至ok料下料机构或ng料料仓中。
10.优选地,所述微型传感器包括无筒管型微型传感器和有筒管型微型传感器,每个微型传感器均设有一个独立的码。
11.优选地,所述上料装置包括上料移动模组和在所述上料移动模组内传输的上料料盘,所述上料料盘用于放置产品。
12.优选地,所述上料移动模组包括上料料仓、上料回收料仓、上料移载机构,所述上料移载机构用于将所述上料料盘在所述上料料仓和所述上料回收料仓之间移动,所述上料料仓和所述上料回收料仓中均设置有第一顶升机构和第一定位机构,所述第一顶升机构用
于将上料料盘移动至第一定位机构处并通过第一定位机构将料盘定位。
13.优选地,所述上料传输装置包括第一移动导轨和在第一移动导轨上移动的第一移载机构,所述第一移载机构上设置有上料夹爪。
14.优选地,所述第一移载机构包括第一竖向移动机构和连接在第一竖向移动机构上的第一旋转机构,所述上料夹爪设置在所述第一旋转机构上。
15.优选地,所述下料传输装置包括第二移动导轨和在第二移动导轨上移动的第二移载机构,所述第二移载机构上设置有下料夹爪。
16.优选地,所述第二移载机构包括第二竖向移动机构和连接在第二竖向移动机构上的第二旋转机构,所述下料夹爪设置在所述第二旋转机构上。
17.优选地,所述上料传输装置中设置有扫码器、或所述上料传输装置与所述下料传输装置中设置有扫码器。
18.优选地,所述扫码器用于扫取每个微型传感器上的码并记录,以便于将微型传感器与检测结果对应。
19.优选地,所述密封治具包括设有产品放置孔的检测台,所述产品放置孔内设置有密封结构,待测的微型传感器移动至产品放置孔中。
20.优选地,所述定位治具包括定位块和设置在定位块上的定位孔,所述定位孔的形状和大小与微型传感器的形状和大小均相同;待测的微型传感器穿过定位孔后放置在产品放置孔中。
21.优选地,所述检测设备包括检测头和检测机构,所述检测头从检测台的下方插入产品放置孔中。
22.优选地,所述下压机构包括下压移动机构和位于下压移动机构上的压块,所述压块的位置与所述产品放置孔的位置对应,所述下压移动机构带动压块下压至与微型传感器接触并将微型传感器压入密封结构中,保证测试头与待测微型传感器之间的气密性。
23.优选地,所述ok料下料机构包括下料移动模组和在所述下料移动模组内传输的下料料盘,所述下料料盘用于放置产品。
24.优选地,所述下料移动模组包括空料盘放置仓、下料料仓、下料移载机构和下料料盘,所述下料移载机构带动放满ok料的下料料盘从空料盘放置仓移动至下料料仓中;
25.所述空料盘放置仓内堆叠有若干空的下料料盘,所述空料盘放置仓包括第二顶升机构和第二定位机构,所述第二顶升机构带动一个空的下料料盘并移动至第二定位机构中,并通过第三定位机构将料盘定位,等待ok料下料;
26.所述下料料仓设有第三顶升机构和第三定位机构,所述第三顶升机构用于将下料料盘移动至第三定位机构处并通过第三定位机构将料盘定位。
27.优选地,所述ng料料仓包括若干个ng料料盒,每个所述ng料料盒对应1种缺陷。
28.优选地,还包括控制系统,所述控制系统用于接收所述检测机构的检测结果,并将其与微型传感器对应,并根据检测结果控制下料传输装置的移动路径。
29.优选地,所述控制系统包括数据传输单元、数据处理单元和驱动单元,所述数据传输单元用于接收扫码器的扫码数据和检测机构的检测数据,所述数据处理单元用于分析检测机构的检测数据并与扫码数据一一对应形成检测结果,所述驱动单元根据检测结果控制下料传输装置移动至ok料下料机构或ng料料盒中。
30.由于上述技术方案运用,本实用新型的有益效果为:
31.1.本实用新型通过上料装置、上料传输装置、检测机构、下料传输装置和下料装置配合,实现自动化检测,能够兼容多种型号的微型传感器,检测范围更广;
32.2.本实用新型通过定位治具实现精准定位,通过下压机构将待测的微型传感器压入密封治具中,保证密封治具与测试头之间的密封性,解决现有技术中存在的漏气情况,提高检测效率和检测精度;
33.3.本实用新型能够根据检测结果自动将产品进行分类,分类精度更高,简化了后续操作;
34.4.本实用新型通过简单的结构实现自动化控制,使用方便,提高了工件的检测效率和检测精确度,满足生产使用的需要。
附图说明
35.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的一些附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
36.图1为本实用新型一种实施例的整体结构示意图;
37.图2为本实用新型一种实施例的上料传输装置和下料传输装置的结构示意图;
38.图3为本实用新型一种实施例的载具座和下压机构的结构示意图;
39.图4为本实用新型图3中a部分的放大示意图。
40.其中,1、上料装置;2、上料传输装置;3、检测机构;4、下料传输装置;5、下料装置;6、检测工位;7、载具座;8、下压机构;9、密封治具;10、定位治具;11、ok料下料机构;12、ng料料仓;13、ng料料盒;
41.21、第一移动导轨;22、第一移载机构;23、上料夹爪;24、第一竖向移动机构;25、第一旋转机构;26、扫码器;
42.81、下压移动机构;82、压块;
43.91、检测台;92、定位块;93、定位孔;94、密封结构;95、产品放置孔。
具体实施方式
44.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
45.在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
46.实施例一
47.如图1-图2所示,一种微型传感器自动检测装置,包括上料装置1、上料传输装置2、检测机构3、下料传输装置4和下料装置5;
48.所述上料传输装置用于将上料装置中的微型传感器移动至检测装置中;
49.所述检测机构包括至少一个检测工位6,每个所述检测工位均包括载具座7、位于载具座上方的下压机构8和连接在所述载具座下方的检测设备;所述载具座包括密封治具9和位于所述密封治具上的定位治具10,所述检测设备用于对载具座上的微型传感器进行检测并输出对应的检测结果;
50.所述下料装置包括ok料下料机构11和ng料料仓12,所述下料传输装置用于将检测机构中检测完的微型传感器根据检测结果移动至ok料下料机构或ng料料仓中。
51.优选地,所述微型传感器包括无筒管型微型传感器和有筒管型微型传感器,每个微型传感器均设有一个独立的码。
52.优选地,所述上料装置包括上料移动模组和在所述上料移动模组内传输的上料料盘,所述上料料盘用于放置产品。
53.优选地,所述上料移动模组包括上料料仓、上料回收料仓、上料移载机构,所述上料移载机构用于将所述上料料盘在所述上料料仓和所述上料回收料仓之间移动,所述上料料仓和所述上料回收料仓中均设置有第一顶升机构和第一定位机构,所述第一顶升机构用于将上料料盘移动至第一定位机构处并通过第一定位机构将料盘定位。
54.优选地,所述上料传输装置包括第一移动导轨21和在第一移动导轨上移动的第一移载机构22,所述第一移载机构上设置有上料夹爪23。
55.优选地,所述第一移载机构包括第一竖向移动机构24和连接在第一竖向移动机构上的第一旋转机构25,所述上料夹爪设置在所述第一旋转机构上。
56.优选地,所述下料传输装置包括第二移动导轨和在第二移动导轨上移动的第二移载机构,所述第二移载机构上设置有下料夹爪。
57.优选地,所述第二移载机构包括第二竖向移动机构和连接在第二竖向移动机构上的第二旋转机构,所述下料夹爪设置在所述第二旋转机构上。
58.本实施例中,所述第一移动导轨和所述第二移动导轨位于同一导轨的左右两侧;在其他优选实施例中,所述第一移动导轨和所述第二移动导轨为独立的结构。
59.优选地,所述上料传输装置中设置有扫码器、或所述上料传输装置与所述下料传输装置中设置有扫码器26。
60.优选地,所述扫码器用于扫取每个微型传感器上的码并记录,以便于将微型传感器与检测结果对应。
61.优选地,所述密封治具包括设有产品放置孔95的检测台91,所述产品放置孔内设置有密封结构94,待测的微型传感器移动至产品放置孔中。
62.本实施例中,所述密封结构为密封圈。
63.优选地,所述定位治具包括定位块92和设置在定位块上的定位孔93,所述定位孔的形状和大小与微型传感器的形状和大小均相同;待测的微型传感器穿过定位孔后放置在产品放置孔中。
64.优选地,所述检测设备包括检测头和检测机构,所述检测头从检测台的下方插入产品放置孔中。
65.优选地,所述下压机构包括下压移动机构81和位于下压移动机构上的压块82,所述压块的位置与所述产品放置孔的位置对应,所述下压移动机构带动压块下压至与微型传感器接触并将微型传感器压入密封结构中,保证测试头与待测微型传感器之间的气密性。
66.优选地,所述ok料下料机构包括下料移动模组和在所述下料移动模组内传输的下料料盘,所述下料料盘用于放置产品。
67.优选地,所述下料移动模组包括空料盘放置仓、下料料仓、下料移载机构和下料料盘,所述下料移载机构带动放满ok料的下料料盘从空料盘放置仓移动至下料料仓中;
68.所述空料盘放置仓内堆叠有若干空的下料料盘,所述空料盘放置仓包括第二顶升机构和第二定位机构,所述第二顶升机构带动一个空的下料料盘并移动至第二定位机构中,并通过第三定位机构将料盘定位,等待ok料下料;
69.所述下料料仓设有第三顶升机构和第三定位机构,所述第三顶升机构用于将下料料盘移动至第三定位机构处并通过第三定位机构将料盘定位。
70.优选地,所述ng料料仓包括若干个ng料料盒13,每个所述ng料料盒对应1种缺陷。
71.优选地,还包括控制系统,所述控制系统用于接收所述检测机构的检测结果,并将其与微型传感器对应,并根据检测结果控制下料传输装置的移动路径。
72.优选地,所述控制系统包括数据传输单元、数据处理单元和驱动单元,所述数据传输单元用于接收扫码器的扫码数据和检测机构的检测数据,所述数据处理单元用于分析检测机构的检测数据并与扫码数据一一对应形成检测结果,所述驱动单元根据检测结果控制下料传输装置移动至ok料下料机构或ng料料盒中。
73.对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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