一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备的制作方法

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备。

背景技术：

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，半导体包含有晶圆，晶圆上经常需要电镀一层导电金属，也是最为关键的工艺之一。

然而在传统的设备电镀过程当中，由于晶圆起始状态一般都处于固定成块的形状，受晶圆自身大小形状和特性等因素影响，市面上现有的电镀设备普遍都不易对其进行操作，电镀时为一种静止状态，其中的电镀液也是静止不动的，很难以保证晶圆与电镀液的均匀接触，因此电镀的效果普遍往往都不够充分，另外，还有电镀时溶液还很容易产生气泡，相对比较影响电镀的精度以及效果，因此一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备应运而生。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备，具备半导体晶圆电镀充分和避免电镀时产生气泡的优点，有效的解决了上述问题。

(二)技术方案

为实现上述半导体晶圆电镀充分和避免电镀时产生气泡的目的，本发明提供如下技术方案：

一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备，包括主体，所述主体底端活动连接有气泵，气泵顶端活动连接有下端件，下端件后端活动安装有底板，底板上端活动连接有框架，框架内侧活动安装有伸缩杆，伸缩杆顶端活动连接有中心块，中心块左端活动连接有灵敏条，灵敏条左端活动安装有限位框，限位框后端活动连接有晶圆；

所述晶圆上下两侧均活动连接有上端件，上端件上端活动安装有撑杆，灵敏条上方活动连接有作用条，作用条与灵敏条之间活动安装有弹簧杆，伸缩杆顶端活动连接有活动杆，活动杆内侧活动连接有缓冲弹簧，缓冲弹簧下端活动连接有金属块，缓冲弹簧中间活动连接有外框，外框内侧活动连接有滑动座，缓冲弹簧下端且位于外框外侧活动连接有紧固螺丝，活动杆前端活动连接有联动杆。

优选的，所述主体底端且位于底板下端活动连接有气泵，气泵上端且位于晶圆下端活动连接有下端件，这种结构具有稳定性和易用性。

优选的，所述限位框后端且位于灵敏条后端活动连接有晶圆，晶圆为一种不锈钢材质且关于滑动座中心对称，这种结构具有适配性和安全性。

优选的，所述中心块前端且位于伸缩杆上方活动连接有灵敏条，灵敏条与中心块规格尺寸相互适配且相等联动，这种结构具有易用性和联动性。

优选的，所述弹簧杆上端且位于晶圆外侧活动连接有作用条，作用条与弹簧杆的中轴线在同一直线上且相邻的两个作用条之间的距离和角度相同，这种结构具有易用性和稳定性。

优选的，所述框架中间且位于中心块上下两侧均活动连接有伸缩杆，伸缩杆的规格尺寸均相同且以滑动座的中心为参照呈均匀分布，这种具有安全性和对称性。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备，具备以下有益效果：

1、该自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备，通过气流对底板上的下端件作用，下端件对晶圆进行一定的拨动，将原来默认固定不动的晶圆运行，另外气泵内的气体通过左右两端的气管进入框架内部，中心块转动时将内部的扭转弹簧拨动，扭转弹簧作用下灵敏条逐渐前后摆动运动，活动杆拉动外框发生抖动，外框内部含有金属层，且外框内部的滑动座受到抖动作用力而往下运行，同时使设备在灵敏条和上端件与下端件的配合之下具有了横向和纵向的移动方式，使设备充分的受到电镀，保证了设备的正常运行。

2、该自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备，通过伸缩杆往中心块的方向运动，同时伸缩杆会逐渐拉动活动杆运动，活动杆往下运动会推动联动杆运动，联动杆对作用条进行一定的推动，同时弹簧杆也会受作用条的挤压力而发生形变，弹簧杆变为伸展状，并且弹簧杆对晶圆进行弹动，在抖动的作用下，防止了设备产生气泡，从而保证了设备不会因为气泡而影响加工精度，防止电镀的效果不够好。

附图说明

图1为本发明主体结构正面示意图；

图2为本发明滑动座结构正面示意图；

图3为本发明框架结构正面示意图；

图4为本发明作用条结构正面示意图；

图5为本发明气泵结构正面示意图。

图中：1、主体；2、气泵；3、下端件；4、底板；5、框架；6、伸缩杆；7、中心块；8、灵敏条；9、限位框；10、晶圆；11、上端件；12、撑杆；13、作用条；14、弹簧杆；15、活动杆；16、缓冲弹簧；17、金属块；18、外框；19、滑动座；20、紧固螺丝；21、联动杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5：

一种自动充分电镀的半导体防气泡辅助设备，包括主体1，主体1底端且位于底板4下端活动连接有气泵2，气泵2上端且位于晶圆10下端活动连接有下端件3，这种结构具有稳定性和易用性；主体1底端活动连接有气泵2，气泵2顶端活动连接有下端件3，下端件3后端活动安装有底板4，底板4上端活动连接有框架5，框架5中间且位于中心块7上下两侧均活动连接有伸缩杆6，伸缩杆6的规格尺寸均相同且以滑动座19的中心为参照呈均匀分布，这种具有安全性和对称性；框架5内侧活动安装有伸缩杆6，伸缩杆6顶端活动连接有中心块7，中心块7前端且位于伸缩杆6上方活动连接有灵敏条8，灵敏条8与中心块7规格尺寸相互适配且相等联动，这种结构具有易用性和联动性；中心块7左端活动连接有灵敏条8，灵敏条8左端活动安装有限位框9，限位框9后端且位于灵敏条8后端活动连接有晶圆10，晶圆10为一种不锈钢材质且关于滑动座19中心对称，这种结构具有适配性和安全性；限位框9后端活动连接有晶圆10；

晶圆10上下两侧均活动连接有上端件11，上端件11上端活动安装有撑杆12，灵敏条8上方活动连接有作用条13，作用条13与灵敏条8之间活动安装有弹簧杆14，弹簧杆14上端且位于晶圆10外侧活动连接有作用条13，作用条13与弹簧杆14的中轴线在同一直线上且相邻的两个作用条13之间的距离和角度相同，这种结构具有易用性和稳定性；伸缩杆6顶端活动连接有活动杆15，活动杆15内侧活动连接有缓冲弹簧16，缓冲弹簧16下端活动连接有金属块17，缓冲弹簧16中间活动连接有外框18，外框18内侧活动连接有滑动座19，缓冲弹簧16下端且位于外框18外侧活动连接有紧固螺丝20，活动杆15前端活动连接有联动杆21。

在使用时，首先检查本发明的安装固定以及安全防护，启动驱动部件，气泵2通电喷出强烈的气体，气流对底板4上的下端件3作用，下端件3对晶圆10进行一定的拨动，将原来默认固定不动的晶圆10运行，另外气泵2内的气体通过左右两端的气管进入框架5内部，框架5内部的伸缩杆6进行受气流作用而往上运动，两个伸缩杆6推动中心块7逐渐运作，中心块7转动时将内部的扭转弹簧拨动，扭转弹簧作用下灵敏条8逐渐前后摆动运动，活动杆15拉动外框18发生抖动，外框18内部含有金属层，且外框18内部的滑动座19受到抖动作用力而往下运行，缓冲弹簧16起到缓冲减震的辅助作用，经过撑杆12的作用推动上端件11运行，上端件11对晶圆10转动运行，继而使外框18内部的金属层全部电镀至晶圆10外表面，同时使设备在灵敏条8和上端件11与下端件3的配合之下具有了横向和纵向的移动方式，使设备充分的受到电镀，保证了设备的正常运行。

另外，伸缩杆6往中心块7的方向运动，同时伸缩杆6会逐渐拉动活动杆15运动，活动杆15往下运动会推动联动杆21运动，联动杆21对作用条13进行一定的推动，作用条13对弹簧杆14进行作用，两个连接在一起的作用条13抓紧往限位框9的方向靠拢，同时弹簧杆14也会受作用条13的挤压力而发生形变，弹簧杆14变为伸展状，并且弹簧杆14对晶圆10进行弹动，在抖动的作用下，防止了设备产生气泡，从而保证了设备不会因为气泡而影响加工精度，防止电镀的效果不够好。

上述结构及过程请参考图1-图5。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。