专利名称：一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种外加热式钛基吸气剂泵，特别是一种用于氢原子频标的外加 热式钛基吸气剂泵。
背景技术：
以往的氢原子频标真空维持装置为钛溅射离子泵，由泵芯、磁钢、高压接头组成。 钛溅射离子泵工作在高压条件下，根据体积、抽速的不同，电源电压分别有3kV、5kV和7kV 三种，钛溅射离子泵的体积大、重量重，吸气速率和吸气总量受到体积和重量的限制，制约 了氢原子频标小型化发展和长寿命的要求。同时由于其结构特点，其对使用环境的要求较 高，更适合于在实验室等稳定环境应用，影响氢频标用于车载、机载等使用环境。
实用新型内容本实用新型目的在于提供一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵，解决目 前溅射离子泵系统体积、重量大，吸气速率和吸气总量有限的问题。一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵，包括吸气剂片、钨铜棒、螺母、上 盖、外筒、金属网筛、管道、法兰、底盖。外筒与底盖焊接固定，底盖的中心处有内螺纹柱，钨铜棒两端有外螺纹，钨铜棒下 端与底盖内螺纹柱螺纹固定。吸气剂片为厚3mm 5mm的钛基合金圆环片，吸气剂片外径 小于外筒内径，钨铜棒置于多个叠加的吸气剂片圆环中孔中，吸气剂片为15 30个。金属 网筛为金属圆环片，金属网筛外径与外筒的内径相同，金属网筛置于吸气剂片上端。螺母与 钨铜棒上端螺纹固定，并置于金属网筛上。上盖与外筒焊接固定，上盖有一个通孔，管道为 金属圆筒，管道内径与上盖通孔直径相同，管道与上盖焊接固定。法兰中心孔直径与管道内 径相同，法兰与管道焊接固定。钛基吸气剂泵与氢原子频标装置连接后，加热外筒，热量传到吸气剂片和钨铜棒 上，在预定时间后，降温激活完成。钛基吸气剂泵开始工作，氢原子频标装置的工作气体氢 气经表面吸附、表层渗透、体内扩散与吸气剂片结合，吸气剂片吸附氢原子频标装置内的活 性气体，维持氢原子频标装置的真空状态。本实用新型采用钛基吸气剂片，通过配合一个小型的钛溅射离子泵，在长时间运 转的条件下，很好的维持氢原子频标装置真空。本实用新型体积小、重量轻、抽速大且稳定， 吸气总量大，有利于延长使用寿命，适合大批量生产，既能降低成本，又能保证产品质量。
图1 一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵的结构示意图。1.吸气剂片 2.钨铜棒 3.螺母 4.上盖 5.外筒 6.金属网筛 7.管道8.法兰 9.底盖具体实施方式
一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵，包括吸气剂片1、钨铜棒2、螺母 3、上盖4、外筒5、金属网筛6、管道7、法兰8、底盖9。外筒5与底盖9焊接固定，底盖9的中心处有内螺纹柱，钨铜棒2两端有外螺纹， 钨铜棒2下端与底盖9内螺纹柱螺纹固定。吸气剂片1为厚3mm的钛基合金圆环片，吸气 剂片1外径小于外筒5内径，钨铜棒2置于多个叠加的吸气剂片1圆环中孔中，吸气剂片1 为15个。金属网筛6为金属圆环片，金属网筛6外径与外筒5的内径相同，金属网筛6置 于吸气剂片1上端。螺母3与钨铜棒2上端螺纹固定，并置于金属网筛6上。上盖4与外 筒5焊接固定，上盖4有一个通孔，管道7为金属圆筒，管道7内径与上盖4通孔直径相同， 管道7与上盖4焊接固定。法兰8中心孔直径与管道7内径相同，法兰8与管道7焊接固 定。钛基吸气剂泵与氢原子频标装置连接后，加热外筒5，热量传到吸气剂片1和钨铜 棒2上，在预定时间后，降温激活完成。钛基吸气剂泵开始工作，氢原子频标装置的工作气 体氢气经表面吸附、表层渗透、体内扩散与吸气剂片1结合，吸气剂片1吸附氢原子频标装 置内的活性气体，维持氢原子频标装置的真空状态。
权利要求1. 一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵，其特征在于包括吸气剂片(1)、钨 铜棒(2)、螺母(3)、上盖(4)、外筒(5)、金属网筛(6)、管道(7)、法兰(8)、底盖(9)；外筒(5)与底盖(9)焊接固定，底盖(9)的中心处有内螺纹柱，钨铜棒(2)两端有外螺 纹，钨铜棒(2)下端与底盖(9)内螺纹柱螺纹固定；吸气剂片(1)为厚3mm 5mm的钛基合 金圆环片，吸气剂片⑴外径小于外筒(5)内径，钨铜棒(2)置于多个叠加的吸气剂片⑴ 圆环中孔中，吸气剂片(1)为15 30个；金属网筛(6)为金属圆环片，金属网筛(6)外径 与外筒(5)的内径相同，金属网筛(6)置于吸气剂片(1)上端；螺母(3)与钨铜棒(2)上端 螺纹固定，并置于金属网筛(6)上；上盖(4)与外筒( 焊接固定，上盖(4)有一个通孔， 管道(7)为金属圆筒，管道(7)内径与上盖⑷通孔直径相同，管道(7)与上盖(4)焊接固 定；法兰(8)中心孔直径与管道(7)内径相同，法兰(8)与管道(7)焊接固定；钛基吸气剂泵与氢原子频标装置连接后，加热外筒(5)，热量传到吸气剂片(1)和钨铜 棒(2)上，在预定时间后，降温激活完成；钛基吸气剂泵开始工作，氢原子频标装置的工作 气体氢气经表面吸附、表层渗透、体内扩散与吸气剂片(1)结合，吸气剂片(1)吸附氢原子 频标装置内的活性气体，维持氢原子频标装置的真空状态。
专利摘要本实用新型公开了一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵，包括吸气剂片(1)、钨铜棒(2)、螺母(3)、上盖(4)、外筒(5)、金属网筛(6)、管道(7)、法兰(8)、底盖(9)。本实用新型采用多个钛基合金圆环吸气剂片(1)，通过配合一个小型的钛溅射离子泵，在长时间运转的条件下，很好的维持氢原子频标装置真空。本实用新型体积小、重量轻、抽速大且稳定，吸气总量大，有利于延长使用寿命，适合大批量生产，既能降低成本，又能保证产品质量。
文档编号F04B37/02GK201865882SQ20102062690
公开日2011年6月15日 申请日期2010年11月26日 优先权日2010年11月26日
发明者刘亚轩, 周铁中, 张燕君, 张继红, 操春燕, 李晶, 杨仁福, 沈国辉, 部英男, 陈强, 高连山, 黄健 申请人:中国航天科工集团第二研究院二○三所