专利名称：磁悬浮泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种磁悬浮泵。
背景技术：
目前，在半导体生产车间内，磁悬浮泵在化学机械研磨的研磨液的供应中的应用越来越广泛，特别是65纳米以下的制程。请参阅图1，图1所示是现有的用于向研磨装置供应研磨液的磁悬浮泵的结构示意图。现有的磁悬浮泵包括马达11和研磨液腔体12，所述研磨液腔体12内设有叶轮13 和转子磁铁14，所述叶轮13设于所述转子磁铁14的外周侧，所述马达11带动所述转子磁铁14转动，所述转子磁铁14带动所述叶轮13转动。所述研磨液腔体12还设有研磨液进口 121和研磨液出口 122。所述研磨液腔体12经研磨液出口 121和研磨装置(未图示)相连，且所述研磨液腔体12和研磨装置之间设有过滤器16。现有的磁悬浮泵向研磨装置供应研磨液时具有流量稳定的优点。但是，磁悬浮泵由于马达11的高速运转导致与马达11接触的叶轮13及研磨液腔体12的温度也较高，可达 50摄氏度，当研磨液经过叶轮13和研磨液腔体12时温度会升高，可达45摄氏度，这会导致研磨液聚集效应变强，产生过多的生成物颗粒，这些生成物颗粒在研磨过程中会损伤晶圆， 从而影响研磨品质，降低产品良率。另外，生成物颗粒过多过大也可能会造成过滤器16堵塞现象发生。目前，国外解决升温的办法是串联两颗磁悬浮泵用低转速来降低磁悬浮泵的温度以减少对研磨液的影响，但是这样成本高，升温问题无法完全解决。因此，如何提供一种可以防止研磨液温度过高的磁悬浮泵是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种磁悬浮泵，通过在马达和研磨液腔体之间增设冷却水腔体，来降低流经研磨液腔体的研磨液的温度，防止研磨液温度过高致使聚集效应增强，进而减少聚集效应产生的生成物颗粒数量，进而降低了后续研磨制程中生成物颗粒损伤晶圆的概率，从而有效提高研磨后的晶圆的良率。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种磁悬浮泵，包括马达和研磨液腔体，所述研磨液腔体内设有叶轮，所述马达带动所述叶轮转动，所述马达和研磨液腔体之间还设有冷却水腔体。所述研磨液腔体内还设有转子磁铁，所述叶轮设于所述转子磁铁的外周侧，所述马达带动所述转子磁铁转动，所述转子磁铁带动所述叶轮转动。 所述研磨液腔体还设有研磨液进口和研磨液出口。 所述研磨液进口设于所述研磨液腔体的上方，所述研磨液出口设于所述研磨液腔体的侧面。[0013]所述研磨液腔体经研磨液出口和研磨装置相连，且所述研磨液腔体和研磨装置之间设有过滤器。所述冷却水腔体包括冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口分别设于所述冷却水腔体的两侧。本实用新型的有益效果如下本实用新型磁悬浮泵，通过在所述马达和研磨液腔体之间增设冷却水腔体，冷却水腔体内的冷却水可以降低马达和研磨液腔体的温度，进而可以降低流经研磨液腔体的研磨液的温度，防止研磨液温度过高致使聚集效应增强，从而有效减少了聚集效应产生的生成物颗粒数量，进而降低了后续研磨制程中生成物颗粒损伤晶圆的概率，有效提高研磨后的晶圆的良率。另外，通过减弱研磨液的聚集效应，减少聚集效应产生的生成物颗粒数量， 也可以避免这些生成物颗粒堵塞过滤器，确保后续研磨制程的稳定可靠性。
本实用新型的磁悬浮泵由以下的实施例及附图给出。图1为现有的磁悬浮泵的结构示意图；图2为本实用新型的磁悬浮泵一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的磁悬浮泵作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图2，图2为本实用新型的磁悬浮泵一个实施例的结构示意图。这种磁悬浮泵，包括马达21和研磨液腔体22，所述研磨液腔体22内设有叶轮23， 所述马达21带动所述叶轮23转动，所述马达21和研磨液腔体22之间还设有冷却水腔体 25。所述冷却水腔体25包括冷却水进口 251和冷却水出口 252，所述冷却水进口 251和冷却水出口 252分别设于所述冷却水腔体25的两侧。所述冷却水腔体25内流有循环冷却水。 通过在所述马达21和研磨液腔体22之间增设冷却水腔体25，冷却水腔体25内的冷却水可以降低马达21和研磨液腔体22的温度，从而可以降低流经研磨液腔体22的研磨液的温度，防止研磨液温度过高致使聚集效应增强，以减少聚集效应产生的生成物颗粒数量，进而有效降低生成物颗粒在后续研磨制程中损伤晶圆的概率，从而，可以有效提高研磨后的晶圆的良率。所述研磨液腔体22内还设有转子磁铁M，所述叶轮23设于所述转子磁铁M的外周侧，所述马达21带动所述转子磁铁M转动，所述转子磁铁M带动所述叶轮23转动。也就是说，所述马达21通过磁力经转子磁铁M带动所述叶轮23转动。所述研磨液腔体22还设有研磨液进口 221和研磨液出口 222。转动的叶轮23将研磨液从研磨液进口 221吸入研磨液腔体22内，并将该研磨液通过研磨液出口 222排出， 以向研磨装置(未图示)供应研磨晶圆所需的研磨液。本实施例中，所述研磨液进口 221 设于所述研磨液腔体22的上方，所述研磨液出口 222设于所述研磨液腔体22的侧面。所述研磨液腔体22经研磨液出口 222和研磨装置相连，且所述研磨液腔体22和研磨装置之间还设有过滤器沈。该过滤器沈实现对进入研磨装置的研磨液的过滤功能。综上所述，本实用新型磁悬浮泵，通过在所述马达和研磨液腔体之间增设冷却水腔体，冷却水腔体内的冷却水可以降低马达和研磨液腔体的温度，进而可以降低流经研磨液腔体的研磨液的温度，防止研磨液温度过高致使聚集效应增强，从而有效减少了聚集效应产生的生成物颗粒数量，进而降低了后续研磨制程中生成物颗粒损伤晶圆的概率，有效提高研磨后的晶圆的良率。另外，通过减弱研磨液的聚集效应，减少聚集效应产生的生成物颗粒数量，也可以避免这些生成物颗粒堵塞过滤器，确保后续研磨制程的稳定可靠性。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种磁悬浮泵，包括马达和研磨液腔体，所述研磨液腔体内设有叶轮，所述马达带动所述叶轮转动，其特征在于，所述马达和研磨液腔体之间还设有冷却水腔体。
2.根据权利要求1所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液腔体内还设有转子磁铁， 所述叶轮设于所述转子磁铁的外周侧，所述马达带动所述转子磁铁转动，所述转子磁铁带动所述叶轮转动。
3.根据权利要求1所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液腔体还设有研磨液进口和研磨液出口。
4.根据权利要求3所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液进口设于所述研磨液腔体的上方，所述研磨液出口设于所述研磨液腔体的侧面。
5.根据权利要求4所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液腔体经研磨液出口和研磨装置相连，且所述研磨液腔体和研磨装置之间设有过滤器。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述冷却水腔体包括冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口分别设于所述冷却水腔体的两侧。
专利摘要本实用新型公开了一种磁悬浮泵，其包括马达和研磨液腔体，所述研磨液腔体内设有叶轮，所述马达带动所述叶轮转动，所述马达和研磨液腔体之间还设有冷却水腔体。本实用新型的磁悬浮泵，通过在马达和研磨液腔体之间增设冷却水腔体，冷却水腔体内的冷却水可以降低马达和研磨液腔体的温度，进而可以降低流经研磨液腔体的研磨液的温度，防止研磨液温度过高致使聚集效应增强，从而有效减少了聚集效应产生的生成物颗粒数量，进而降低了后续研磨制程中生成物颗粒损伤晶圆的概率，有效提高研磨后的晶圆的良率。另外，通过减弱研磨液的聚集效应，减少聚集效应产生的生成物颗粒数量，也可以避免这些生成物颗粒堵塞过滤器，确保后续研磨制程的稳定可靠性。
文档编号F04D29/58GK202091261SQ20112020004
公开日2011年12月28日 申请日期2011年6月14日 优先权日2011年6月14日
发明者余文军, 王怀锋 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司