降低干泵功耗的系统及方法与流程

本发明涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种降低干泵功耗的系统及方法。

背景技术：

随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛地应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

通常液晶显示面板由彩膜(CF，Color Filter)基板、薄膜晶体管(TFT，Thin Film Transistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成。在TFT基板的制作过程中，需要通过物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)、化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)、及干法刻蚀(Dry Etch)等制程完成TFT基板各个金属膜层及非金属膜层的制作，这些制程均需要在真空环境中完成。目前，通常使用真空泵(pump)进行抽真空处理以营造真空环境。

干式真空泵，简称干泵，如爱德华IF30K型号的干泵在TFT基板的制程中应用比较广泛。如图1所示，干泵包括相互连通的多级泵腔100，各级泵腔100内无任何润滑油，每一级泵腔100内均安装转子200。干泵工作时，各转子200旋转，使得对应泵腔100的容积不断发生周期性的变化，利用气体通道的启闭作用来实现抽气，压缩的气体在多级泵腔100中逐级向后传递，最终由与最后一级泵腔100连通的排气管路300排出，引发与进气管路400连通的密闭空间出现真空。在该干泵的实际工作时期，从与进气管路400直接连通的第一级泵腔100至与排气管路300直接连通的最后一级泵腔100，各级泵腔100内部的压力依次上升，最后一级泵腔100的压力最大，最终经排气管路300降低至大气压力，该干泵工作消耗的电力与最后一级泵腔100的压力对应。该干泵存在一明显的技术缺陷：当其空转(Idle)时，即进气管路400的压力为0时，最后一级泵腔100内的压力与大气压力存在一定压力差，此压力差会导致干泵消耗大量的电力。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种降低干泵功耗的系统，能够降低干泵在空转时的负载功率，进而降低干泵功耗，延长干泵的使用寿命。

本发明的另一目的在于提供一种降低干泵功耗的方法，能够降低干泵在空载时的负载功率，进而降低干泵功耗，延长干的使用寿命。

为实现上述目的，本发明首先提供一种降低干泵功耗的系统，包括干泵、及设于干泵外部与干泵连接的省电模块；

所述干泵包括相互连通的多级泵腔，每一级泵腔内均安装转子，第一级泵腔与进气管路直接连通，最后一级泵腔与排气管路直接连通；

所述省电模块包括减压阀，所述减压阀的进气端与所述排气管路的出口端连通，出气端连通大气。

所述省电模块还包括一保护阀，所述保护阀的一端与排气管路的出口端、及减压阀的进气端连通，另一端与所述减压阀的出气端、及大气连通。

所述相互连通的多级泵腔的数量为五级。

所述减压阀的进气端通过第一支线管路与所述排气管路的出口端连通，出气端通过第二支线管路连通大气。

本发明还提供一种降低干泵功耗的方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一降低干泵功耗的系统；

所述降低干泵功耗的系统包括干泵、及设于干泵外部与干泵连接的省电模块；

所述干泵包括相互连通的多级泵腔，每一级泵腔内均安装转子，第一级泵腔与进气管路直接连通，最后一级泵腔与排气管路直接连通；

所述省电模块包括减压阀，所述减压阀的进气端与所述排气管路的出口端连通，出气端连通大气；

步骤2、当干泵处于空转状态时，调节所述减压阀来减轻所述排气管路的出口端的压力，在所述排气管路的出口端引起真空，使得排气管路内维持负压。

所述省电模块还包括一保护阀，所述保护阀的一端与排气管路的出口端、及减压阀的进气端连通，另一端与所述减压阀的出气端、及大气连通；执行所述步骤2时，所述保护阀关闭，防止所述排气管路的出口端与大气连通。

所述相互连通的多级泵腔的数量为五级。

所述减压阀的进气端通过第一支线管路与所述排气管路的出口端连通，出气端通过第二支线管路连通大气。

本发明的有益效果：本发明提供的一种降低干泵功耗的系统，增设了一连接干泵的省电模块，该省电模块包括减压阀，减压阀的进气端与干泵的排气管路的出口端连通，出气端连通大气。当干泵处于空转状态时，所述减压阀能够减轻所述排气管路的出口端的压力，在所述排气管路的出口端引起真空，使得排气管路内维持负压，与现有技术相比，干泵最后一级泵腔的压力由降低至大气压变为了降低至负压，最后一级泵腔所需达到的压力减小，使得各级泵腔内相应转子的转速降低，干泵的负载功率得以降低，从而能够有效降低干泵的功耗，并且由于干泵在空转时的负载功率降低，干泵的损耗减小，使用寿命增加。本发明提供的一种降低干泵功耗的方法，能够降低干泵在空载时的负载功率，进而降低干泵在空转时的功耗，延长干泵的使用寿命。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为现有的一种干泵的结构示意图；

图2为本发明的降低干泵功耗的系统的结构示意图；

图3为本发明的降低干泵功耗的方法的流程图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图2，本发明首先提供一种降低干泵功耗的系统，包括干泵2、及设于干泵2外部与干泵2连接的省电模块4。

所述干泵2包括相互连通的多级泵腔21，每一级泵腔21内均安装转子23，第一级泵腔21与进气管路25直接连通，最后一级泵腔21与排气管路27直接连通。干泵2工作时，各转子23旋转，使得对应泵腔21的容积不断发生周期性的变化，利用气体通道的启闭作用来实现抽气，压缩的气体在多级泵腔21中逐级向后传递，最终由最后一级泵腔21传递至排气管路27。

具体地，针对爱德华IF30K型号的干泵，所述相互连通的多级泵腔21的数量为五级，最后一级即第五级泵腔21与排气管路27直接连通。

所述省电模块4包括减压阀41、及保护阀43。

所述减压阀41的进气端A与所述排气管路27的出口端C连通，出气端B连通大气。进一步地，所述减压阀41的进气端A通过第一支线管路61与所述排气管路27的出口端C连通，出气端B通过第二支线管路63连通大气。

所述保护阀43的一端与排气管路27的出口端C、及减压阀41的进气端A连通，另一端与所述减压阀41的出气端B、及大气连通。

需要说明的是，当干泵2空转即进气管路25的压力为0时，关闭保护阀43，所述排气管路27的出口端C与大气隔断，气体只能经第一支线管路61到达减压阀41的进气端A，此时调节减压阀41能够减轻排气管路27的出口端C的压力，引起真空，使得排气管路27内维持负压，这样干泵2最后一级泵腔21的压力便由降低至大气压变为了降低至负压，最后一级泵腔21所需达到的压力减小，使得各级泵腔21内相应转子23的转速降低，干泵2的负载功率得以降低，从而能够有效降低干泵2的功耗，并且由于干泵2在空转时的负载功率降低，干泵2的损耗减小，使用寿命增加。

请参阅图3，基于上述降低干泵功耗的系统，本发明还提供一种降低干泵功耗的方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一降低干泵功耗的系统。

请参阅图2，所述降低干泵功耗的系统包括干泵2、及设于干泵2外部与干泵2连接的省电模块4。

所述干泵2包括相互连通的多级泵腔21，每一级泵腔21内均安装转子23，第一级泵腔21与进气管路25直接连通，最后一级泵腔21与排气管路27直接连通。干泵2工作时，各转子23旋转，使得对应泵腔21的容积不断发生周期性的变化，利用气体通道的启闭作用来实现抽气，压缩的气体在多级泵腔21中逐级向后传递，最终由与最后一级泵腔21传递至排气管路27。

具体地，针对爱德华IF30K型号的干泵，所述相互连通的多级泵腔21的数量为五级，最后一级即第五级泵腔21与排气管路27直接连通。

所述省电模块4包括减压阀41、及保护阀43。

所述减压阀41的进气端A与所述排气管路27的出口端C连通，出气端B连通大气。进一步地，所述减压阀41的进气端A通过第一支线管路61与所述排气管路27的出口端C连通，出气端B通过第二支线管路63连通大气。

所述保护阀43的一端与排气管路27的出口端C、及减压阀41的进气端A连通，另一端与所述减压阀41的出气端B、及大气连通。

步骤2、当干泵2处于空转状态时，调节所述减压阀41来减轻所述排气管路27的出口端C的压力，在所述排气管路27的出口端C引起真空，使得排气管路27内维持负压。

值得一提的是，执行该步骤2时，所述保护阀43关闭，防止所述排气管路27的出口端C与大气连通，保证气体只能自排气管路27的出口端C经第一支线管路61到达减压阀41的进气端A。

该步骤2使得排气管路27内维持负压，这样干泵2最后一级泵腔21的压力便由降低至大气压变为了降低至负压，最后一级泵腔21所需达到的压力减小，各级泵腔21内相应转子23的转速降低，干泵2的负载功率得以降低，从而能够有效降低干泵2的功耗，并且由于干泵2在空转时的负载功率降低，干泵2的损耗减小，使用寿命增加。

综上所述，本发明的降低干泵功耗的系统，增设了一连接干泵的省电模块，该省电模块包括减压阀，减压阀的进气端与干泵的排气管路的出口端连通，出气端连通大气。当干泵处于空转状态时，所述减压阀能够减轻所述排气管路的出口端的压力，在所述排气管路的出口端引起真空，使得排气管路内维持负压，与现有技术相比，干泵最后一级泵腔的压力由降低至大气压变为了降低至负压，最后一级泵腔所需达到的压力减小，使得各级泵腔内相应转子的转速降低，干泵的负载功率得以降低，从而能够有效降低干泵的功耗，并且由于干泵在空转时的负载功率降低，干泵的损耗减小，使用寿命增加。本发明提供的一种降低干泵功耗的方法，能够降低干泵在空载时的负载功率，进而降低干泵在空转时的功耗，延长干泵的使用寿命。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。