立式复合径流分子泵的制作方法

本发明属于真空获得技术领域，尤其涉及一种立式复合径流分子泵。

背景技术：

专利ZL201620118209.2提供了一种立式复合径流分子泵（简称径流泵），该径流泵具有结构简单、能耗低和兼有中、高真空泵双重性能力等优点，然而，也存在如下缺点：

1．该径流泵的进气口均设在泵筒的侧面，导致进气口面积无增加的空间，限制了径流泵抽速的提高；

2．该径流泵的静轮的中部设有隔板，影响气体的抽速；

3．该径流泵的抽气槽长度较短，限制了径流泵压缩能力的提高。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能提高抽速和压缩能力的立式复合径流分子泵。

本发明是这样实现的，一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；

位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；

所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

进一步地，所述抽气槽由三部分组成，其中，靠近所述抽气槽的进气口的部分为第一部分，所述抽气槽的中间部分为第二部分，所述第二部分为环形通道，靠近所述抽气槽的出气口的部分为第三部分。

本发明提供的立式复合径流分子泵具有如下优点：

1．提高立式复合径流分子泵的抽速约80%；

2．提高立式复合径流分子泵的压缩能力约50%。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例一提供的立式复合径流分子泵的泵筒的示意图。

图2是沿图1中的A-A方向的剖视图。

图3是本发明实施例一提供的立式复合径流分子泵的剖视图。

图4是本发明实施例一提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。

图5是本发明实施例二提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一

如图1至图4所示，本发明实施例提供的一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒11，泵筒11的侧壁开设有进气口12和排气口（未示出），泵筒11内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子13、静轮14和动密封15，转子13上固设有两平圆盘状的动轮16，两动轮16平行且间隔设置，静轮14设于两动轮16之间，静轮14与两动轮16平行设置，动密封15位于下方的动轮16的下方，静轮14和动密封15均固设于泵筒11的侧壁上；

位于上方的动轮16的外侧设有一组涡轮叶列17，涡轮叶列17由上向下抽气；

静轮14上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽141，静轮14的中部未设置隔板。由于静轮14的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。

本实施例一的径流分子泵的工作原理如下：

（1）本实施例一的进气口12设在泵筒11的侧壁，泵筒11外侧的气体依次经进气口12和抽气槽141抽至径流抽气单元的下方。

（2）同时，由于本实施例一的泵筒11上端为敞口，在泵筒11上方增添了抽气通道，泵筒11上方的气体依次经其上方的敞口、涡轮叶列17和抽气槽141抽至径流抽气单元的下方。

综上所述，由于本实施例一的径流分子泵可以从泵筒11的上方和侧壁同时抽气，且静轮14的中部未设置隔板，因此，径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%。另外，本实施例一的径流分子泵还具有结构简单和制造成本低的优点。

实施例二

如图5所示，本实施例二的结构与实施例一的结构大致相同，其不同之处在于：本实施例二的静轮24的抽气槽241由三部分组成，其中，靠近抽气槽241的进气口的部分为第一部分2411，抽气槽241的中间部分为第二部分2412，第二部分2412为环形通道，靠近抽气槽241的出气口的部分为第三部分2413。与现有的静轮的抽气槽结构相比，本实施例二的静轮24的抽气槽241增加了环形通道的第二部分1412，从而增加了抽气槽241的有效长度，提高了径流分子泵的压缩能力约50%。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。