小气缸的制作方法

文档序号:27913435发布日期:2021-12-11 10:07阅读:170来源:国知局
小气缸的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工后道设备辅助工具技术领域,尤其涉及小气缸。


背景技术:

2.半导体材料虽然种类繁多但有一些固有的特性,称为半导体材料的特性参数。这些特性参数不仅能反映半导体材料与其他非半导体材料之间的差别,而且更重要的是能反映各种半导体材料之间甚至同一种材料在不同情况下特性上的量的差别。
3.目前在半导体的后道设备中,常常将气缸用于焊接点线以及板载工具的驱动端。作为运载半导体晶元的驱动端,现有的气缸耐撞击能力较弱,在受到意外撞击时,容易损坏,不利于半导体加工的正常进行,从而降低了半导体的加工效率。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的小气缸。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:小气缸,包括气缸主体,所述气缸主体驱动端设置有单轴转接头,所述气缸主体两端均固定连接有定位块,所述定位块内部开设有限位轨道,所述限位轨道内部设置有滑块,两个所述滑块之间共同固定连接有缓震组件,所述缓震组件外侧壁与气缸主体外侧壁贴合,所述限位轨道内部设置有限位板,所述限位板底部与滑块顶部贴合,所述限位板远离气缸主体的一端贯穿定位块并向外延伸,所述限位板底部远离气缸主体的一端开设有凹槽,所述定位块远离气缸主体一侧开设有滑槽,所述滑槽内部设置有活动板,所述活动板底部设置有螺栓。
6.作为上述技术方案的进一步描述:
7.所述缓震组件包括橡胶袋,所述橡胶袋设置有多个,所述橡胶袋内部充有氮气,所述橡胶袋的袋体厚度不低于3mm,相邻两个所述橡胶袋之间通过连接条固定连接,所述连接条为软塑料材质。
8.作为上述技术方案的进一步描述:
9.所述滑块外侧壁与限位轨道内侧壁光滑贴合。
10.作为上述技术方案的进一步描述:
11.所述螺栓顶部贯穿活动板,所述螺栓中部与活动板转动连接。
12.作为上述技术方案的进一步描述:
13.所述凹槽内侧壁开设有螺纹槽,所述螺栓与凹槽内侧壁螺纹连接。
14.作为上述技术方案的进一步描述:
15.所述活动板外侧壁与滑槽内侧壁滑动连接,所述活动板位于限位板底部。
16.本实用新型具有如下有益效果:
17.1、本实用新型小气缸设置有单轴转接头,由于气缸的驱动端设有单轴转接头,便于用户快速转换所需要的工件(吸盘等),并且采用单轴驱动,平稳性较好,便于进行焊接点线、以及搬载等操作,并且该气缸外壳体尺寸较小,占用空间较小,便于更好的使用。
18.2、本实用新型小气缸设置有缓震组件,该装置通过在气缸的外部设置有缓震组件,利用橡胶袋对气缸进行半包围,当气缸受到外力撞击时,橡胶袋挤压内部氮气向内凹陷,发生形变,对外力进行充分的缓解,保护了气缸,防止了气缸损坏,从而提高了对半导体的加工效率。当外力撤销时,则氮气能够支撑橡胶袋恢复原状,便于重复使用,相较于传统的气缸,该设计结构简单,灵活性较强,具有较强的防撞击能力,便于用户更好的使用。
19.3、本实用新型小气缸设置有螺栓、凹槽、限位板、定位块和滑块,在该气缸使用一端时间后,用户只需拧动螺栓脱离凹槽,此时用户即可将限位板从定位块中抽出,从而将滑块连同缓震组件一同取出,便于用户定期对橡胶袋补充氮气,该装置操作简单,便于拆卸,其维护成本较低,适用范围较广,值得大力推广。
附图说明
20.图1为本实用新型提出的小气缸的正视图;
21.图2为本实用新型提出的小气缸的俯视图;
22.图3为本实用新型提出的小气缸的缓震组件结构示意图;
23.图4为图1中a处的放大图;
24.图5为本实用新型提出的小气缸的定位块结构示意图;
25.图6为本实用新型提出的小气缸的单轴转接头结构示意图。
26.图例说明:
27.1、气缸主体;2、定位块;3、限位轨道;4、滑块;5、缓震组件;501、橡胶袋;502、连接条;6、限位板;7、凹槽;8、滑槽;9、活动板;10、螺栓;11、单轴转接头。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
29.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.参照图1

6,本实用新型提供的一种实施例:小气缸,包括气缸主体1,气缸主体1驱动端设置有单轴转接头11,气缸主体1两端均固定连接有定位块2,定位块2内部开设有限位轨道3,限位轨道3内部设置有滑块4,两个滑块4之间共同固定连接有缓震组件5,缓震组件5外侧壁与气缸主体1外侧壁贴合,限位轨道3内部设置有限位板6,限位板6底部与滑块4顶部
贴合,限位板6远离气缸主体1的一端贯穿定位块2并向外延伸,限位板6底部远离气缸主体1的一端开设有凹槽7,定位块2远离气缸主体1一侧开设有滑槽8,滑槽8内部设置有活动板9,活动板9底部设置有螺栓10。相较于传统的气缸,该装置由于在气缸主体1的驱动端设有单轴转接头11,便于用户快速转换所需要的工件(吸盘等),并且该气缸采用单轴驱动,平稳性较好,便于进行焊接点线、以及搬载等操作,并且气缸主体1外壳体尺寸较小,占用空间较小,便于更好的使用。
31.缓震组件5包括橡胶袋501,橡胶袋501设置有多个,橡胶袋501内部充有氮气,既起到了对撞击力较强的缓冲作用,又能够帮助橡胶袋501恢复初始状态,便于多次重复使用。橡胶袋501的袋体厚度不低于3mm,相邻两个橡胶袋501之间通过连接条502固定连接,使得若干个橡胶袋501之间能够灵活扭曲,当该气缸内部发生故障时,可将缓震组件5拆下,再适用于不同的气缸上,节约了资源。连接条502为软塑料材质,滑块4外侧壁与限位轨道3内侧壁光滑贴合,螺栓10顶部贯穿活动板9,螺栓10中部与活动板9转动连接,凹槽7内侧壁开设有螺纹槽,螺栓10与凹槽7内侧壁螺纹连接,活动板9外侧壁与滑槽8内侧壁滑动连接,用户只需拧动螺栓10,带动活动板9在滑槽8中滑动,从而脱离凹槽7,便于用户将限位板6从定位块2中抽出,从而将滑块4连同缓震组件5一同取出,便于用户对橡胶袋501定期的补充氮气,其维护成本较低,便于用户更好的使用。活动板9位于限位板6底部。
32.工作原理:当用户使用该气缸用于焊接点线、和搬载工具时,由于该气缸采用单轴驱动,平稳性较好,同时设置有单轴转接头11,便于灵活更换所需要的工件。首先将气缸主体1远离缓震组件5的一侧壁与半导体后道设备固定,该气缸外壳体尺寸小,占用空间范围较小,便于用户更好的使用。当气缸受到外部冲击时,首先与外力接触到的是其外部缓震组件5中的橡胶袋501,外力撞击在橡胶袋501上,使得橡胶袋501发生形变,由于其内部充有氮气,充分的缓解了所受到的冲击力,并且在外力撤销的时候,氮气支撑橡胶袋501恢复原状,便于重复使用。在该气缸使用一端时间后,用户只需拧动螺栓10,带动活动板9在滑槽8中滑动,从而脱离凹槽7,此时用户即可将限位板6从定位块2中抽出,从而将滑块4连同缓震组件5一同取出,便于用户定期对橡胶袋501补充氮气。
33.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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