流体设备的制作方法

1.本发明涉及一种流体设备，所述流体设备具有被构造用于容纳流体的流体室，所述流体室共同地由设备壳体和弯曲弹性膜元件限定，所述弯曲弹性膜元件具有主延伸层面中的平面延伸，其中膜元件在其外围边缘区域处固定在设备壳体处，并且其中为了改变流体室的容积，通过流体设备的压电执行器在沿横向于主延伸层面取向的工作方向执行冲程运动情况下能够使膜元件的由外围边缘区域围绕的膜工作片段弹性地偏转，其中压电执行器具有电极装置，可以将引起膜工作片段的冲程运动的操控电压以可变的水平施加到所述电极装置处。


背景技术：

2.从jp-h03-12917 a中已知这种类型的流体设备在制造半导体时被使用，并且提供反吸位于流体通道中的流体的可能性，以便避免在输出开口处不期望的滴落。反吸效应可通过负压引起，所述负压可在流体设备的流体室中产生，上述流体通道与所述流体室连接。流体室共同地由设备壳体以及由在边缘侧固定在设备壳体处的膜元件限定。通过以下方式可以产生负压，即借助于压电执行器使膜元件的限定流体室的膜工作片段偏转，使得流体室的容积变化。压电执行器被构造为堆叠传送器（stapeltranslator）并且被紧固在弯曲弹性膜元件上。压电执行器与膜元件无关地具有多个电极，可以将操控电压施加到所述电极处，所述操控电压根据逆压电效应引起压电执行器的变形，其中膜元件的膜工作片段遭受相应的变形。
3.在从de 198 10 657 a1中已知的反吸阀情况下，借助于可变形的膜可以产生引起流体反吸的负压，活塞攻击所述膜，所述活塞通过弹簧被预加应力，并且所述活塞的运动可以通过另一膜的受控流体冲击来控制。
4.ep 0 504 465 a1公开一种电可控阀的电流体转换器，所述电可控阀配备有压电驱动装置，所述压电驱动装置被构造为盘式传送器（scheibentranslator）。


技术实现要素：

5.本发明所基于的任务是采取使得能够简单和精确地改变流体设备的流体室的容积的措施。
6.为了解决上述任务，具有开头所提及的特征的流体设备的特征在于，膜元件是压电执行器的功能组成部分，其方式是所述膜元件直接构成电极装置的导电电极。
7.在根据本发明的流体设备情况下，可以借助于压电执行器改变流体室的容积，所述压电执行器利用其电极装置的电极直接地自身构成流体室的可移动限制壁。压电执行器具有电极装置，可以对所述电极装置施加可变水平的操控电压，从所述操控电压根据逆压电效应得出压电执行器的可逆形状变化。直接作为膜元件用于限制流体室所使用的电极在其膜工作片段的区域中经受形状变化，这在横向于代表膜元件的电极的主延伸层面的冲程运动中表现出来。根据由操控电压引起的偏转的程度，流体室的容积或多或少强烈地改变，
其中例如可以使用容积增大用于在流体室中产生负压。由于作为膜元件不使用与压电执行器的功能无关的独立器件，而是直接使用压电执行器本身的电极，因此可以非常成本低地和紧凑地实现流体设备。此外，与在组合压电执行器与相对于此分开的膜元件情况下相比，有可能更精确地设定期望的流体室容积。可以非常简单地成比例地操控压电执行器，以便设定不同的冲程位置来预给定不同的容积。利用低能量水平进行运行是可能的，使得尽管直接操控也不存在相关的自加热。压电概念此外在需要时在膜工作片段偏转时允许位置调节，使得重复精确的设定是可能的。
8.从从属权利要求中得出本发明的有利改进方案。
9.构成压电执行器的电极的膜元件适宜地由导电金属制成。使用不锈钢膜被认为是特别适宜的。
10.膜元件具有两个在工作方向上彼此背离的膜表面。除电极装置之外，压电执行器还具有至少一个拥有压电特性的压电元件，所述压电元件固定在膜元件的两个膜表面之一处。压电元件尤其是由拥有压电特性的压电陶瓷制成。另一电极位于压电元件的在工作方向上背离膜元件的侧处，使得该膜元件放置在两个电极之间，可以将为了操作压电执行器所需要的操控电压施加给所述电极。
11.压电元件可以以任意方式紧固在膜元件处，其中然而大面积的粘接连接特别合适。
12.与作为膜元件起作用的电极相对的另一电极适宜地由压电元件的导电覆层组成，例如由铜层组成。然而，原则上，另一电极也可以是独立的电极元件，如这适用于构成膜元件的电极。
13.原则上，压电元件可以安放在膜元件的两个在工作方向上取向的膜表面中的一个或另一个处。然而，为了避免与位于流体室中的介质接触，有利的是，压电元件安放在膜元件的背离流体室的膜表面处。
14.压电元件优选地具有圆形外轮廓，并且尤其是以在面中心的方式布置在膜元件的两个膜表面之一处。
15.膜元件在其外围边缘区域处适宜地同样具有圆形外轮廓。优选地，压电元件具有比膜元件小的直径。
16.原则上，压电执行器可以设计为堆叠传送器，所述堆叠传送器具有多个上下堆叠的压电元件，所述压电元件分别放置在电极装置的两个电极之间。然而，压电执行器是盘式传送器的结构形式被看作特别有利的并且在此成本低的和有效的，其中所述压电执行器尤其是仅具有一个唯一的盘形压电元件，所述压电元件布置在电极装置的两个压电非活性电极之间，其中这两个电极之一构成膜元件。
17.因此，作为盘式传送器的结构形式是特别有效的，因为其操作导致总系统的球形弯曲，通过所述球形弯曲可以特别精确地设定流体室的容积变化。将操控电压施加给分配给压电元件的电极引起压电材料在电场方向上的扩展，即当前在工作方向上的扩展，这导致盘形压电元件一方面变得更厚，并且另一方面同时遭受在其外径上的减小。结合作为用于压电元件的载体元件起作用的、压电非活性电极，这导致由压电元件和电极装置组成的总系统的所提及的球形偏转。
18.膜元件适宜地构造为不透气的。如果所述膜元件此外在其边缘区域处在周围流体
密封地与设备壳体连接，则可以非常可靠地实现流体设备的位于压电执行器的与流体室相反的侧上的区域的流体密封式屏蔽。在那里，例如可以设置壳体室，所述壳体室容纳压电执行器的坐落于膜元件上的其他组件、即尤其是压电元件和另一电极。于是，存在介质分离，从所述介质分离得出以下优点：压电元件和可能存在的电线路不与位于流体室中或在流体室中流动的流体触碰。
19.膜元件可以在其边缘区域处例如夹紧或粘接在壳体中。在需要时，可以存在附加的密封装置。
20.优选地，流体设备拥有在流体设备的运行中电连接到电极装置处的电子控制装置，通过所述电子控制装置提供用于压电执行器的期望的操控电压，并且所述电子控制装置被构造用于相对于电极装置引起按需要的电荷流入和电荷流出。电子控制装置例如包含高压级。借助于控制装置，根据所施加的操控电压的水平，可以进行膜工作片段的冲程运动以及膜工作片段在预定的冲程位置中的定位，其中所设定的冲程位置分别对应于流体室的特定容积。
21.为了能够特别精确地和可再现地设定流体室的容积，有利的是，流体设备装备有距离测量装置，所述距离测量装置被构造用于测量在膜工作片段的冲程运动时改变的在压电执行器和设备壳体之间的距离。由于压电执行器适宜地仅经由同时作为电极起作用的膜元件附接在设备壳体处，因此在膜工作片段的冲程运动情况下，整个压电执行器相对于设备壳体执行相应的冲程运动，使得距离测量在任意的位置处是可能的。
22.特别有利的是，距离测量装置被构造为使得在如下位置处测量距离，即在此处在膜工作片段的冲程运动情况下偏转是最大的。在盘式传送器情况下，这是盘形压电元件的中心区域。
23.对于距离测量，考虑不同的测量原理，距离测量装置被构造用于执行所述测量原理。例如，在电极装置和设备壳体之间的电容性测量是可能的。此外，距离测量例如利用平面线圈以感性方式、利用反射光栅以光学方式、利用三角仪以光学方式或利用霍尔传感器以磁性方式是可能的。然而，这仅是有利示例，它们不应被理解为最终的。
24.特别有益的是，电子控制装置被构造用于经调节地设定膜工作片段的冲程位置，其中调节基于由距离测量装置确定的距离测量值。通过距离调节，间接地进行流体室的容积的容积调节，因为压电执行器具有可再现的变形行为，并且因此在膜工作片段的各个冲程位置和流体室的瞬时容积之间存在明确的分配。
25.可以在涉及根据需要设定流体室的容积的任意情形下使用流体设备。例如，可以进行容积设定，以便预给定与随后的计量过程相关的流体容积。
26.用于流体设备的特别有利的使用在于用作流体抽吸设备，其中通过流体室的借助于压电执行器引起的容积增大可以引起负压，通过所述负压可以将位于与流体室连接的第一流体通道中的流体吸入到流体室中。由此例如可以在计量过程时防止流体滴落。
27.计量过程在许多领域中是常见的，从而例如在医疗技术中或也在工业应用情况下以及例如在对印刷电路板上的光致抗蚀剂进行计量时在印刷电路板生产中是常见的。
28.特别适宜的流体设备具有两个与流体室相通的流体通道，其中第一流体通道是输出通道，位于流体室中的流体可以穿过所述第一流体通道从流体室流出，而第二流体通道是输入通道，流体可以穿过所述输入通道流入流体室中。分配给第二流体通道的截止单元
可以可选地释放或截止第二流体通道，以便能够实现或防止流体的流过。如果流体设备被用作计量设备或计量设备的组成部分，则这样的截止单元例如代表计量阀。为了在结束计量过程之后防止液态流体滴落，在计量期间使压电执行器保持在流体室的流体容积减小的运行状态中。在停止计量过程之后，通过相应地操控压电执行器增大流体容积，使得期望的流体量从输出通道被反吸到流体室中。
附图说明
29.下面根据所附附图更详细地阐述本发明。在所述附图中：图1以示意性和部分剖视图示出在具有所设定的减小的流体室容积的第一运行阶段中根据本发明的流体设备的一种优选构型，图2示出在具有与图1的第一运行阶段相比更大的所设定的流体室容积的第二运行阶段中的流体设备，和图3示出以按照图2的箭头iii的视向对流体设备的包含流体室的设备单元的俯视图。
具体实施方式
30.总体上用附图标记1表示的整流体设备可以从附图中看出，所述流体设备在一种优选应用中作为流体抽吸设备1a示出，并且在此处于到用于液体介质的剂量装置2中的有利集成的范围中。
31.流体设备1具有设备壳体3，并且此外拥有弯曲弹性膜元件4，所述膜元件从而与设备壳体3组合，使得共同地限定室5，所述室5在流体设备1的运行中容纳流体6并且因此为了更好地区分被称为流体室5。
32.膜元件4是流体设备1的称为压电执行器7的压电式执行器的组成部分。压电执行器7经由膜元件4就此而言可移动地附接在设备壳体3处。
33.为了操作压电执行器7，流体设备1适宜地包含仅示意性地表明的电子控制装置8。
34.虽然不强制、但是有利的是，设备壳体3和压电执行器7组成为流体设备1的设备单元12，这适用于所图解的实施例。
35.设备壳体3具有纵轴13，然而其中流体设备1可以以纵轴13的任意定向被运行。
36.设备壳体3适宜地包围壳体内部空间14。膜元件4位于壳体内部空间14中，所述膜元件在主延伸层面15中平面地延伸，所述主延伸层面优选地横向于并且尤其是正交于纵轴13地定向。
37.膜元件4具有面中心区域16和围绕该面中心区域16延伸的外围边缘区域17。通过外围边缘区域17的形状限定膜元件4的外轮廓18，所述外轮廓优选地是圆形的。总体上，膜元件4因此适宜地具有圆盘的形状。
38.膜元件4在其外围边缘区域17处固定在设备壳体3处。示范性地，膜元件4的外围边缘区域17与设备壳体3粘接，其中然而其他连接方式也是可能的。这适宜地是无中断地围绕面中心区域16延伸的连接，所述连接优选地构造为流体密封的。由于膜元件4在其方面同样是流体密封的，因此流体室5朝向周围环境流体密封地隔离。
39.优选地，设备壳体3具有在正交于纵轴13的层面中延伸的底壁22和环形侧壁23，所
述环形侧壁23从底壁22出发从其外部边缘区域在纵轴13的称为高度方向的轴向上凸起。在径向内圆周处，环形侧壁23被分级，使得得出与中心纵轴13同轴的环形肩部24，膜元件4以其外围边缘区域17放在所述环形肩部上。流体室5共同地由底壁22、环形侧壁23和膜元件4限定。
40.流体室5是两个子空间之一，其中壳体内部空间14通过膜元件4被划分成所述两个子空间。下面为了更好地区分称为控制室25的第二子空间位于膜元件4的在高度方向13上与流体室5相反的侧上。控制室25侧向地由环形侧壁23的伸出环形肩部24的壁片段限制，并且在沿高度方向13与膜元件4相对的上侧处通过设备壳体的顶壁26限制，所述顶壁优选地是壳体盖。
41.可以使膜元件4正交于主延伸层面15弯曲弹性地变形或偏转。更确切地说，可以使由外围边缘区域17围绕的膜片段沿正交于主延伸层面15的方向、也即沿高度方向13可逆地弯曲或偏转，所述膜片段为了更好地区分称为膜工作片段27。
42.膜元件4优选地具有弹簧弹性特性。所述膜元件尤其是薄膜状薄的。示例性地，所述膜元件由金属制成并且优选地由不锈钢制成。
43.在图2中示出处于运行位置的膜工作片段27，所述运行位置是未偏转的基本位置。在这里，膜元件4完全延伸在主延伸层面15中。优选地，膜元件4在膜工作片段27的未偏转的位置中不遭受机械预应力。
44.膜工作片段27的相对于基本位置沿高度方向13偏转的运行位置可以从图1中看出。膜工作片段27在此情况下至少逐区域地与贯穿外围边缘区域17的虚构主延伸层面15间隔开，其中面中心区域16中的高度距离是最高的，并且从那里出发朝向外围边缘区域17同心地逐渐减小。
45.在偏转的运行位置中，膜工作片段27尤其是球形弯曲的。
46.膜工作片段27可以采取不同的偏转的运行位置，所述偏转的运行位置以其关于主延伸层面15存在的高度距离彼此不同。
47.膜工作片段27的基本位置和不同的偏转的运行位置之间的偏转运动或弯曲运动被称为冲程运动28，并且在附图中通过双箭头图解。冲程运动28遵循通过点划线标明的工作方向32，所述工作方向示范性地与设备壳体3的高度方向13叠合。在冲程运动28的范围中可实现的膜工作片段27的位置下面也被称为膜工作片段27的冲程位置。
48.流体室5的容积取决于膜工作片段27的瞬时冲程位置。膜工作片段27在朝向底壁22的方向上偏转得越远，流体室容积就越小。
49.图1和2中所示的流体设备1的运行状态在图2中定义流体室5的最大容积，并且在图1中定义最小容积。
50.膜工作片段27的冲程运动28可以由压电执行器7引起。通过压电执行器7，可以要么逐级地要么优选地无级地设定膜工作片段27的不同冲程位置。每个所设定的冲程位置可以如期望地一直被保持。
51.压电执行器7具有至少一个压电元件33并且此外具有电极装置34，所述压电元件拥有压电特性并且尤其是由压电陶瓷制成，所述电极装置于至少一个压电元件33两侧由多个导电电极35、36组成。压电执行器7的特点在于，电极之一35直接由膜元件4构成，所述膜元件4拥有相应的电极性质。
52.通过膜元件4示范性地由金属制成，所述膜元件容易地具有对于作为电极的功能所需的大面积导电性。
53.为了更好地区分，同时作为膜元件4起作用的电极35下面也被称为膜电极35。
54.膜电极35是压电非活性的。所述膜电极作为用于压电元件33的载体基板起作用。优选地并且根据该实施例，压电执行器7仅包含一个唯一的压电元件33。该压电元件33处于膜电极35和另一电极36之间。与此相应地，电极装置34在该优选的图解的实施例情况下由仅两个电极35、36、即膜电极35和另一电极36组成。
55.压电元件33具有平面延伸并且构造为板形的或盘形的。对于压电元件33，根据所图解的实施例优选具有圆形外轮廓37的盘形状。
56.盘形压电元件33以在面中心的方式并且尤其是同轴地被安放在形成膜电极35的膜元件4的膜工作片段27处。
57.膜元件4具有朝向流体室5的第一膜表面38，以及关于此相反的背离的第二膜表面39，所述第二膜表面在所图解的实施例情况下朝向控制室25。压电元件33优选地安放第二膜表面39处。由此存在介质分离装置，并且压电元件33不与位于流体室5中的流体6接触。
58.流体6可以是气态或液态稠性的。在优选地使用流体设备1情况下，流体6是液体。
59.压电元件33适宜地与膜元件4粘接。在此，粘合面适宜地延伸越过压电元件33的朝向膜元件4的整个下基面42。适宜地在压电元件33和膜元件4之间存在整面牢固连接。
60.另一电极36适宜地由导电覆层组成，所述导电覆层施加到压电元件33的与膜元件4相反的上基面43上，其中所述上基面优选地作为金属化部被施加。
61.可替代地，另一电极36可以与膜电极35相比地被实施为单独的自支撑部件，所述部件例如通过粘接固定在压电元件33处。
62.优选地，压电执行器7根据所图解的实施例被构造为盘式传送器。因此，拥有圆形外轮廓37的盘形压电元件33在电操作压电执行器7时遭受具有变化曲率的球形变形。膜工作片段27在执行冲程运动27下遭受变形。流体室5中的均匀容积变化与此相关联，所述流体室在圆周侧通过环形侧壁23的相应成型优选地同样构成圆形轮廓。
63.在主延伸层面15中测量的压电元件33的外径优选地小于膜元件4的外径。
64.在主延伸层面15中测量的压电元件33的外径适宜地在直接连接到膜元件4情况下小于流体室5的直径，使得在压电元件33的径向外圆周37和流体室5的径向内圆周44之间存在膜元件4的环形盘状膜片段45。为了固定所使用的外围边缘区域17径向地外同轴地连接到所述膜片段上。
65.示范性地，外围边缘区域17不可移动地紧固在设备壳体3处。这可以通过所描述的粘接连接或例如也通过夹紧连接来进行。替代的固定装置以以下方式粘附外围边缘区域17，即所述外围边缘区域可以相对于设备壳体3执行至少轻微的相对运动。
66.电极装置34经由仅示意性地表明的电导体46连接到电子控制装置8处。示例性地，两个电极35、36中的每一个经由自身的电导体46连接到电子控制装置8处。优选地，布置在设备壳体3处的电连接装置47分配给电导体46，所述电连接装置允许电子控制装置8的可拆卸连接。
67.电子控制装置8被构造用于以可变的水平提供电操控电压，所述操控电压可以经由电导体46被施加到电极装置34处。控制装置8具有合适的装置，以便能够相对于电极35、
36实现为了可变操控需要的电荷流入和电荷流出。
68.图2图解一种运行状态，在所述运行状态下操控电压等于零，使得压电执行器7采取未偏转的基本位置。与此相对地，图1示出具有大于零的操控电压的运行状态，其中压电执行器7在减小流体室5的容积情况下球形地变形。压电执行器7在不同的运行状态之间的形状变化直接引起膜工作片段27的冲程运动28。
69.在冲程运动28情况下，在高度方向13上可测量的、称为工作距离48的在设备壳体3和压电执行器7之间的距离发生变化，其中所述压电执行器7经由膜元件4附接到所述设备壳体3处。流体设备1优选地装备有距离测量装置49，所述距离测量装置被设置用于测量上述工作距离48。以这种方式，在流体设备1的运行中，在膜工作片段27的冲程运动28情况下改变的工作距离48是已知的。由于工作距离48直接与流体室5的容积相关，所以所测量的工作距离48允许精确地推断出流体室5的瞬时容积。此外，通过有针对性的距离设定，可以设定流体室5的对于应用情况来说期望的容积。
70.由距离测量装置49确定的距离测量值在所图解的实施例情况下被输送给电子控制装置8，所述电子控制装置能够对膜工作片段27的冲程位置以及从而间接地也对流体室5的容积进行基于作为实际值的距离测量值的所调节的设定。距离测量装置49经由电导体装置52连接到电子控制装置8上。这优选地是可拆卸的连接，其能够通过仅示意性地表明的电连接装置53实现，所述电连接装置适宜地布置在设备壳体3处。
71.距离测量装置49适宜地集成到可选的设备单元12中。
72.为了执行调节措施，电子控制装置8包含内部调节单元54。
73.电子控制装置8此外装备有输入装置55，可以经由所述输入装置55输入待设定工作距离48的或流体室5的待设定容积的至少一个额定值，在调节单元54中将所述额定值与工作距离48的所确定的实际值进行比较，以便根据比较结果经由电导体46将操控电压输出给电极装置34，通过所述电极装置使压电执行器7变形，使得工作距离48并且从而流体室5的容积被设定为期望的额定值。
74.因此，在示例性流体设备1情况下，存在以下可能性：以调节距离的方式使膜工作片段27变形，并且与此相应地间接地也对由流体室5限定的容积进行容积调节。
75.在通过距离测量装置49进行距离测量的情况下，示范性地应用电容性测量原理。在此测量在压电执行器7的另一电极36和高度方向13上与该另一电极36相对地布置在设备壳体3处的测量电极56之间的与距离有关地出现的电容。测量电极56优选地与膜元件4的面中心区域16相对地放置，也即放置在以下区域中，即在所述区域中在膜工作片段27的冲程运动情况下相对于设备壳体3和压电执行器7的距离变化最大。
76.为了测量距离也可以使用其他测量原理。例如，利用平面线圈以感应方式、利用反射光栅以光学方式、利用三角仪以光学方式或利用霍尔传感器以光学方式。
77.在作为流体抽吸设备1a的示例性构型中，第一流体通道57和第二流体通道58与流体室5连接，其中示范性地第一流体通道57构成输出通道并且第二流体通道58构成输入通道。
78.第一流体通道57通向输出开口61，在所述输出开口处可以根据箭头62输出期望的流体量。在使用流体抽吸设备1a时，流体室5和第一流体通道57通常完全地充满流体。
79.第二流体通道58通向流体源63，所述流体源63例如是流体贮存器，例如是液体容
器。
80.在第二流体通道58的走向中，优选地接入输送泵64，所述输送泵64能够将由流体源63提供的流体穿过第二流体通道58馈入到流体室5中。
81.优选地，在第二流体通道58的走向中在流体室5和输送泵64之间的通道分段中布置截止单元65，所述截止单元示范性地是截止阀，所述截止阀尤其是拥有2/2路阀功能。截止单元65适宜地经由电控制线路66连接到电子控制装置8处，并且可以根据需要通过所述电子控制装置被操作。示例性地，截止单元65可以可选地被切换到从图1中可以看出的打开位置或者从图2可以看出的截止位置。在打开位置中，穿过第二流体通道58的流体流过是可能的，而在截止位置中，第二流体通道58截止以便防止流体流入到流体室5中。
82.在流体抽吸设备1a的优选运行方式中，在从图1中可以看出的第一运行阶段中将截止单元65切换到打开位置，其中处于运行中的输送泵64将流体6从流体源63穿过第二流体通道58、流体室5和第一流体通道57输送到输出开口61。在输出开口61处，流体根据箭头62流出，用于按规定地使用。
83.流体运输和流体输出一直发生，直到通过控制装置8将截止单元65转换到截止位置中，使得流体抽吸设备1a到达根据图2的第二运行阶段中。在这里，流体流动和流体输出在输出开口61处停止。
84.可以看出，通过在截止单元65的打开位置和截止位置之间选择的时间间隔，可以在输出开口61处进行所计量的流体输出。就此而言，根据所图解的实施例流体抽吸设备1a可以有利地被用作计量设备2或在计量设备2中使用。
85.流体室5的容积的可变性在所描绘的计量应用情况下可用于防止在根据图2的第二运行阶段中流体在输出开口61处的不期望的事后滴出。为此，在通过相应地操作压电执行器7将截止单元65转换到截止位置中之后，可以增大流体室5的容积，使得在流体室5中出现负压，所述负压导致位于第一流体通道57中的流体6被反吸到流体室5中。由此，位于第一流体通道57中的流体柱被抽回并且在该流体柱和输出开口61之间形成填充有气体的间隙67，所述间隙防止流体流出。
86.示例性的流体抽吸设备1a尤其是如下被使用，即在根据图1的第一运行阶段期间通过施加操控电压激活压电执行器7，使得膜工作片段27在朝向流体室5的方向上偏转并且将流体室5设定为减小的室容积。为了产生期望的负压，在根据图2的第二运行阶段中，使用于压电执行器7的操控电压减小，使得膜工作片段27沿根据图2的未偏转的基本位置大大地移动一段或完全返回到这种未偏转的基本位置中，流体室5的容积的增大与此关联，这引起负压并且引起先前描绘的流体反吸效应。
87.借助于电子控制装置8，可以非常精确地设定并且预给定流体室5的期望的容积或期望的容积变化。以这种方式，可以准确地预给定：哪种流体量被反吸。
88.例如可以与计量设备2结合地使用流体抽吸设备1a，所述计量设备2被用于在制造印刷电路板时施加需要的光致抗蚀剂。另一可能的应用是例如在实验室应用中以计量方式将液体输出到微量滴定板的空腔中。