扩散泵散热装置的制作方法

1.本实用新型涉及扩散泵技术领域，具体涉及一种扩散泵散热装置。


背景技术：

2.扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。现在生产的油扩散泵抽速已达到100000l/s以上，扩散喷射泵的抽速也达40000l/s，蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。尽管有许多其它类型的抽气方式也可以在高真空领域工作，但由于扩散泵结构简单、操作和维护方便、使用寿命长、对各种气体均有较好的抽气特性，因而它一直是获得高真空的主要抽气设备。但是在使用过程中，扩散泵需要加热到200摄氏度以上才可以进行抽空，在设备停机后，扩散泵也要降到80摄氏度以下才算是安全的停机范围，根据扩散泵的大小，到达这个时间也不相同，但是这至少需要个2个小时的时间，至于更大的扩散泵，安全停机时间更是超过4个小时，这个时间太长而无法很好地满足使用需要。


技术实现要素：

3.针对现有技术中的问题，本实用新型的目的在于提供一种扩散泵散热装置，可以在不改变扩散泵结构和安装环境的情况下提高扩散泵散热速度。
4.本实用新型实施例提供一种扩散泵散热装置，包括扩散泵和风扇，所述扩散泵包括柱状泵体，所述泵体的顶部设置有进气口，所述泵体的侧面设置有排气口，所述泵体的底部腔内设置有加热器，所述风扇固定安装于所述扩散泵的底部，且所述风扇的出风面与所述扩散泵的底面相对。
5.在一些实施例中，还包括温度传感器和风扇控制器，所述温度传感器设置于所述扩散泵的泵体一侧，所述温度传感器与所述风扇控制器的输入端相连接，所述风扇控制器的输出端与所述风扇的控制开关相连接。
6.在一些实施例中，所述风扇控制器的输入端还连接于扩散泵控制器。
7.在一些实施例中，所述温度传感器设置于所述泵体的底部的侧壁。
8.在一些实施例中，所述温度传感器包括第一温度传感器和第二温度传感器，所述第一温度传感器设置于所述泵体的底部的侧壁，所述第二温度传感器设置于所述泵体的上部的侧壁。
9.在一些实施例中，所述风扇为与所述泵体的底部形状相匹配的柱状风扇，且所述风扇的外径等于所述泵体的外径。
10.在一些实施例中，所述风扇包括风扇支架，所述风扇支架包括外环部、内环部和在所述外环部和所述内环部之间均匀分布的扇叶，所述扇叶相对于所述外环部可旋转，所述外环部的上表面与所述扩散泵的底面相对。
11.在一些实施例中，所述外环部的上表面分布有多个固定件，所述外环部通过所述固定件固定于所述扩散泵的底面。
12.在一些实施例中，所述固定件为螺栓、螺钉或铆钉。
13.本实用新型所提供的扩散泵散热装置具有如下优点：
14.本实用新型提供了一种用于扩散泵的散热装置，在不改变扩散泵的原有结构和安装环境的基础上，把风扇增加在扩散泵的底部，让其形成风道缩短扩散泵冷却时间，通过增加空气的流通速度，加快扩散泵的散热速度，缩短设备的停机时间，节约能源，降低运行成本，极大地提高了生产的效率，并且不会影响到扩散泵自身运转情况，能够在很好地在控制成本的前提下增加设备的实用性。
附图说明
15.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显。
16.图1是本实用新型一实施例的扩散泵散热装置的结构示意图；
17.图2是本实用新型一实施例的风扇的结构示意图；
18.图3是本实用新型一实施例的风扇控制器与其他部件连接的示意图；
19.图4是现有的扩散泵的散热过程曲线图；
20.图5是本实用新型一实施例的扩散泵散热装置的散热过程曲线图。
21.附图标记：
22.1：泵体；2：进气口；3：排气口；4：风扇；41：外环部；42：扇叶；43：内环部；5：温度传感器；6：加热器
具体实施方式
23.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。
24.在抽真空设备停机后，扩散泵从200摄氏度的高温降到150摄氏度的温度是比较快的，大型的扩散泵一般需要1个小时30分钟，在150摄氏度降到80摄氏度以下就比较慢了。根据热力学第二定律可知，热量可以自发地从温度高的物体传递到较冷的物体，而在扩散泵中，热量是散发到空气中的，一般空气的温度在27摄氏度左右，扩散泵在温度较高时，和空气的温度差异较大，热量扩散速度快，当温度相差没那么明显，扩散速度相对较慢，设备安全停机需要的时间也就很长。
25.基于此，本实用新型提供了一种用于在扩散泵需要停机时对扩散泵进行快速散热降温的扩散泵散热装置，包括扩散泵和风扇，所述扩散泵包括柱状泵体，所述泵体的顶部设置有进气口，所述泵体的侧面设置有排气口，所述泵体的底部腔内设置有加热器，所述风扇固定安装于所述扩散泵的底部，且所述风扇的出风面与所述扩散泵的底面相对。本实用新型在不改变扩散泵的原有结构和安装环境的基础上，把风扇增加在扩散泵的底部，让其形成风道缩短扩散泵冷却时间，通过增加空气的流通速度，加快扩散泵的散热速度，缩短设备的停机时间，并且不会影响到扩散泵自身运转情况。
26.下面结合各个附图进一步介绍本实用新型的扩散泵散热装置的结构。
27.如图1所示，为了解决现有的扩散泵散热时间长的技术问题，本实用新型进一步提供了一种扩散泵散热装置，以提高扩散泵在设备停机后的散热速度。所述扩散泵散热装置包括扩散泵和风扇4，所述扩散泵包括柱状泵体1，所述泵体1的顶部设置有进气口2，所述泵体1的侧面设置有排气口3，所述泵体1的底部腔内设置有加热器6，所述风扇4固定安装于所述扩散泵的底部，且所述风扇4的出风面与所述扩散泵的底面相对，以在不改变扩散泵的原有结构和安装环境的基础上，通过风扇4在扩散泵底部形成风道，加快空气流通，提高扩散泵散热速度。扩散泵内的空气流通方向可以如图1中的箭头方向所示。
28.如图1和图3所示，在该实施例中，所述散热装置还包括温度传感器5和风扇控制器，所述温度传感器5用于对所述扩散泵的温度进行检测，所述风扇控制器用于控制风扇4的开关。所述温度传感器5设置于所述扩散泵的泵体1一侧，所述温度传感器5与所述风扇控制器的输入端相连接，所述风扇控制器的输出端与所述风扇4的控制开关相连接。所述温度传感器5用于对所述扩散泵进行温度监测，在所述扩散泵温度到达安全温度时，所述风扇控制器控制所述风扇4的控制开关关闭，所述风扇4自动停止。在该实施例中，所述温度传感器5设置于所述泵体1的底部的侧壁。在其他可替代的实施方式中，所述温度传感器5也可以设置多个，分布于所述扩散泵的泵体1的侧面。例如，在一种可替代的实施方式中，所述温度传感器5包括第一温度传感器5和第二温度传感器5，所述第一温度传感器5设置于所述泵体1的底部的侧壁，所述第二温度传感器5设置于所述泵体1的上部的侧壁，所述风扇控制器可以根据其中一个温度传感器5的数据来确定扩散泵的温度，或者根据多个温度传感器5的数据平均后确定扩散泵的温度。
29.如图3所示，在该实施例中，所述风扇控制器的输入端还连接于扩散泵控制器。在所述扩散泵加热时，所述风扇控制器根据所述扩散泵控制器的状态，控制所述风扇4的控制开关不启动，即所述风扇4不工作。所述扩散泵停止加热时，所述风扇控制器根据所述扩散泵控制器的状态，控制所述风扇4的控制开关启动，即所述风扇4开始工作，对所述扩散泵开始散热。
30.具体地，在应用中，所述扩散泵加热时，不开启所述风扇4。在所述扩散泵停止加热时，先不开启风扇，而是通过空气与扩散泵的温度差来实现扩散泵的降温，同时所述风扇控制器通过所述温度传感器5监测所述扩散泵的温度，在所述扩散泵的温度降低到一个设定的第一温度(例如110℃)的时候，所述风扇控制器控制所述风扇4的开关开启，所述风扇4开始工作，在所述扩散泵的温度降低到一个设定的第二温度时，所述风扇控制器控制所述风扇4的开关关闭，所述风扇4停止工作。
31.如图1和图2所示，在该实施例中，所述风扇4为与所述泵体1的底部形状相匹配的柱状风扇4，且所述风扇4的外径等于所述泵体1的外径，以与所述泵体1形成很好的配合，并且由于所述风扇4设置于所述泵体1的底部，所述风扇4的形状与所述泵体1的底部相配合，有利于对所述泵体1本身提供很好的支撑。所述风扇4包括风扇4支架，所述风扇4支架包括外环部41、内环部43和在所述外环部41和所述内环部43之间均匀分布的扇叶42，所述扇叶42相对于所述外环部41可旋转，所述外环部41的上表面与所述扩散泵的底面相对。
32.为了实现所述风扇4与所述扩散泵的固定，所述外环部41的上表面分布有多个固定件，所述外环部41通过所述固定件固定于所述扩散泵的底面。所述固定件例如可以为螺栓、螺钉或铆钉，或其他可以将所述风扇4固定到所述扩散泵的泵体1的部件。
33.如图4和图5所示，分别为现有的扩散泵与本发明的扩散泵散热装置的散热过程曲线图。其中，t1时间一般表示设定的第一温度，例如设定为110℃、120℃等，此处以110℃为例进行说明。如图4所示，现有的扩散泵中，在温度降到110℃以下后(t1时间后)，扩散泵和空气的温度差不是很大，扩散速度相对较慢，设备安全停机需要的时间也就很长。如图5所示，在本发明的扩散泵散热装置中，在温度降到110℃以下后(t1时间后)，通过开启风扇的开关，使得风扇开始工作，在风扇的作用下，扩散速度大大提高，设备安全停机需要的时间也就大大缩短。
34.本实用新型所提供的扩散泵散热装置具有如下优点：
35.本实用新型提供了一种用于扩散泵的散热装置，在不改变扩散泵的原有结构和安装环境的基础上，把风扇增加在扩散泵的底部，让其形成风道缩短扩散泵冷却时间，通过增加空气的流通速度，加快扩散泵的散热速度，缩短设备的停机时间，节约能源，降低运行成本，极大地提高了生产的效率，并且不会影响到扩散泵自身运转情况，能够在很好地在控制成本的前提下增加设备的实用性。
36.以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。