一种具备组合加热真空管道的真空管路系统的制作方法

1.本实用新型涉及真空管路系统技术领域，具体为一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。


背景技术：

2.原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理，这个过程中，泵与废气处理设备之间也会有粉尘凝结堆积造成管路堵塞，造成设备宕机。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，在原有真空系统中改造加装真空系统加热套件会加热流经管路的气体，再借助泵的抽吸动作，可以减少粉尘在管路凝结堵死的概率，延长真空系统的运行寿命。
5.(二)技术方案
6.为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案：包括包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，所述第一管路和第二管路外壁位置包覆有加热套件。
7.优选的，所述加热套件包括加热带和设置在加热带上用于固定加热带的魔术贴，所述加热带包括位于背部一侧的包覆层和包覆层正面右侧的加热层，所述魔术贴包括固定设置在包覆层上且位于加热层左侧位置的第一粘合部和位于包覆层背部右侧位置的第二粘合部。
8.优选的，所述加热带正面一侧还等间距设置有防滑条。
9.优选的，所述防滑条为橡胶材质制成。
10.(三)有益效果
11.本实用新型提供了一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。具备以下有益效果：
12.(1)、第一管路和第二管路外壁包覆的加热套件能够对流经第一管路和第二管路的气体进行加热，避免粉尘在管路内壁凝结造成管路堵塞的现象。
13.(2)、通过魔术贴固定的加热带，方便真空系统的改造，管路无需拆卸。
14.(3)、通过魔术贴固定加热带时，防滑条会与管道外壁接触，能够在改造过程中，避免加热带滑落(橡胶受热膨胀，增加与第一管路和第二管路之间的摩擦力)。
附图说明
15.图1为本实用新型真空管路系统图；
16.图2为本实用新型加热带结构图；
17.图3为本实用新型加热带侧视图。
18.图中：1、制程腔体；2、第一管路；3、泵；4、第二管路；5、加热带；6、魔术贴；501、包覆层；502、加热层；601、第一粘合部；602、第二粘合部；7、防滑条。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.如图1-3所示，本实施例的具备组合加热真空管道的真空管路系统，包括包括制程腔体1、第一管路2、泵3、第二管路4和废气处理设备，第一管路2和第二管路4外壁位置包覆有加热套件。第一管路2和第二管路4外壁包覆的加热套件能够对流经第一管路2和第二管路4的气体进行加热，避免粉尘在管路内壁凝结造成管路堵塞的现象。
21.进一步的，加热套件包括加热带5和设置在加热带5上用于固定加热带5的魔术贴6，加热带5包括位于背部一侧的包覆层501和包覆层501正面右侧的加热层502，魔术贴6包括固定设置在包覆层501上且位于加热层502左侧位置的第一粘合部601和位于包覆层501背部右侧位置的第二粘合部602。把加热带5包覆在第一管路2和第二管路4外壁，然后通过魔术贴6进行固定，在进行真空系统改造的过程，无需拆卸管路，操作更加方便
22.进一步的，加热带5正面一侧还等间距设置有防滑条7。通过魔术贴6固定加热带5时，防滑条7会与第一管路2和第二管路4外壁接触，能够在改造过程中，避免加热带5滑落(橡胶受热膨胀，增加与第一管路2和第二管路4之间的摩擦力)。
23.进一步的，防滑条7为橡胶材质制成。
24.工作原理：第一管路2和第二管路4外壁包覆的加热套件能够对流经第一管路2和第二管路4的气体进行加热，避免粉尘在管路内壁凝结造成管路堵塞的现象。把加热带5包覆在第一管路2和第二管路4外壁，然后通过魔术贴6进行固定，在进行真空系统改造的过程，无需拆卸管路，操作更加方便，通过魔术贴6固定加热带5时，防滑条7会与第一管路2和第二管路4外壁接触，能够在改造过程中，避免加热带5滑落(橡胶受热膨胀，增加与第一管路2和第二管路4之间的摩擦力)。


技术特征：
1.一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，包括制程腔体(1)、第一管路(2)、泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备，其特征在于：所述第一管路(2)和第二管路(4)外壁位置包覆有加热套件。2.根据权利要求1所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，其特征在于：所述加热套件包括加热带(5)和设置在加热带(5)上用于固定加热带(5)的魔术贴(6)，所述加热带(5)包括位于背部一侧的包覆层(501)和包覆层(501)正面右侧的加热层(502)，所述魔术贴(6)包括固定设置在包覆层(501)上且位于加热层(502)左侧位置的第一粘合部(601)和位于包覆层(501)背部右侧位置的第二粘合部(602)。3.根据权利要求2所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，其特征在于：所述加热带(5)正面一侧还等间距设置有防滑条(7)。4.根据权利要求3所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，其特征在于：所述防滑条(7)为橡胶材质制成。

技术总结
本实用新型涉及真空管路系统技术领域，具体为一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。包括包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，第一管路和第二管路外壁位置包覆有加热套件。在原有真空系统中改造加装真空系统加热套件会加热流经管路的气体，再借助泵的抽吸动作，可以减少粉尘在管路凝结堵死的概率，延长真空系统的运行寿命。延长真空系统的运行寿命。延长真空系统的运行寿命。


技术研发人员：项健 王虎成 王锐 张丹 李品鑫
受保护的技术使用者：合肥亚笙半导体设备科技有限公司
技术研发日：2021.08.18
技术公布日：2022/3/25