分子泵的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及作为用于形成超高真空状态的真空泵的一种的分子泵，更具体而言， 涉及一种具有作为冷却系统的冷却单元的分子泵。
【背景技术】
[0002] 分子泵作为用于形成超高真空状态的真空泵而附设于例如以半导体制造装置为 代表的各种加工装置、各种分析装置、电子显微镜等。通常，分子泵包括：泵主体，该泵主体 设有具有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；以及控制单元，该控制单元容纳有用于对涡轮 分子泵部的动作进行控制的控制部、用于供给用以驱动涡轮分子泵部的电力的电源部。
[0003] 在分子泵中，由于控制单元所包括的电源部具有作为发热源的升压电路、转换电 路、逆变电路等，因此需要对这些电路适当地进行冷却。另外，在泵主体中，在用于使设有动 叶片的转子旋转的马达、用以对用于使该转子旋转的旋转轴进行支承的轴承等处也会产生 热，因此有时需要对这些构件适当地进行冷却。
[0004] 因此，公知有一种为附设有供冷却液流通的液冷式的冷却单元的结构的分子泵。 例如，在日本特开平11 一 173293号公报（专利文献1)中，公开有一种为在泵主体与控制 单元之间夹持有冷却单元的结构的分子泵，在日本特开2011 - 27031号公报（专利文献2) 中，公开有一种为在冷却单元上排列设置有泵主体和控制单元的结构的分子泵。
[0005] 在此，通常，控制单元大多为具有适当地防止液滴、粉尘进入的防滴构造和防尘构 造的与外部相连通的半密闭型，在该情况下，控制单元的内部的露点温度等于周围环境的 露点温度。因此，控制单元的被配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接近所述冷却单 元的部分会局部地变成低温，在该部分低于露点温度的情况下，会在该部分产生结露。
[0006] 在产生了该结露的情况下，会因结露液附着于所述各种电路而导致故障、误工作， 因此，需要尽可能地抑制在控制单元的内部产生结露。
[0007] 为了抑制该结露的产生，在例如日本特开2009 - 174333号公报（专利文献3)中， 公开了一种如下结构的分子泵：在控制单元的内部敷设有供冷却液流通的配管，并且在控 制单元的内部设置结露传感器，在利用该结露传感器检测到结露的情况下，使冷却液停止 流通。
[0008] 专利文献1 :日本特开平11 一 173293号公报
[0009] 专利文献2 :日本特开2011 - 27031号公报
[0010] 专利文献3 :日本特开2009 - 174333号公报
【发明内容】
[0011] 发明要解决的问题
[0012] 然而，在采用所述专利文献3所公开的结构的情况下，存在如下问题：在结露传感 器检测到结露的时刻，处于已经产生了不少结露的状态，因此，即使抑制不再产生结露，也 不能防止结露产生这一事实。
[0013] 即，虽然这也并不取决于将结露传感器设于控制单元的内部的哪个位置，但假设 将结露传感器配置于最容易产生结露的部分（例如在供冷却液流通的配管的附近部分）的 情况下，在检测到结露的时刻，已经在该部分产生了结露，若考虑到结露液不容易蒸发，则 担心在因某些原因而使该结露液飞散从而对电源部等各种电路造成不良影响，假设在将结 露传感器设于作为发热源的电源部的附近的情况下，在检测到结露的时刻，也已经在电源 部产生了结露，从而无法避免对电源部造成不良影响。
[0014] 因此，从更可靠地防止产生结露这一事实的观点考虑，设想：替代结露传感器而使 用湿度传感器等湿度检测部，将该湿度检测部配置在控制单元的内部的最容易产生结露的 部分，基于湿度检测部所检测出的湿度信息来预测结露的产生，并基于此来控制冷却液的 流通。
[0015] 然而，即使在为如上所述的结构的情况下，例如，在因分子泵的停止时等周围环境 的变化而导致结露液附着于湿度检测部的情况下，附着了的结露液需要经过相当长的时间 才会蒸发，结果产生了如下问题，即，在结露液蒸发之前的期间内，完全不能由湿度检测部 进行湿度检测。其原因在于，不存在在产生了结露那样的非常高的湿度环境下能够连续地 对湿度进行稳定且准确的检测的实用的湿度检测部，通常的湿度检测部是随着湿度的变化 而电气地对湿度进行检测的构件，若在其检测电极等上附着有结露液，则不能再测定湿度。
[0016] 因此，实际上，需要将湿度检测部配置在与最容易产生结露的部分保持相当程度 的距离的位置，结果是，不能对原本应该进行测定的、最容易产生结露的部分的湿度进行测 定，根据情况，很有可能要使冷却动作不必要地停止，其结果，不能使分子泵高效地进行运 转。
[0017] 因而，本发明是为了解决所述问题点而做出的，其目的在于，提供一种通过能够连 续地对控制单元的内部的最容易产生结露的部分的相对湿度进行稳定且准确的计算、从而 可靠地防止产生结露且实现高效的运转动作的分子泵。
[0018] 用于解决问题的方案
[0019] 本发明的第1技术方案提供一种分子泵，该分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具 有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；控制单元，该控制单元设有控制部和电源部；以及冷 却单元，其用于对所述泵主体和所述控制单元进行冷却。在该分子泵中，以使所述冷却单元 和所述泵主体热接触且使所述冷却单元和所述控制单元热接触的方式将所述泵主体和所 述控制单元均配置为与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元。所述控制单元具有容纳 有所述控制部和所述电源部的罩。在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工 作时成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部。在处于所述罩的内部的位置且是在 所述冷却单元进行工作时成为温度比所述第1位置处的温度高的位置即第2位置设有湿度 检测部和第2温度检测部。所述控制部基于由所述第1温度检测部和所述第2温度检测部 检测出的温度信息和由所述湿度检测部检测出的湿度信息计算出所述第1位置处的相对 湿度，所述控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对所述冷却单元的动作进 行控制。
[0020] 在基于所述本发明的分子泵中，优选的是，在所述相对湿度小于预先设定的阈值 的情况下，所述控制部使所述冷却单元执行冷却动作，在所述相对湿度为所述阈值以上的 情况下，所述控制部使所述冷却单元的冷却动作停止。
[0021] 在基于所述本发明的分子泵中，所述第1位置优选是所述罩的内表面上的位于被 配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接近所述冷却单元的部分的位置，另外，所述第2 位置优选是所述罩的内表面上的除了位于被配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接 近所述冷却单元的部分的位置以外的位置。
[0022] 在基于所述本发明的分子泵中，所述第2位置优选是配置在所述控制单元的内部 的电路基板上的位置。
[0023] 在基于所述本发明的分子泵中，优选的是，所述冷却单元以被所述泵主体和所述 控制单元夹持的方式配置。
[0024] 在基于所述本发明的分子泵中，也可以是，所述泵主体和所述控制单元排列设置 在所述冷却单元之上。
[0025] 在基于所述本发明的分子泵中，也可以是，所述控制部根据所述相对湿度来对所 述涡轮分子泵部的动作进行控制。
[0026] 优选的是，基于所述本发明的分子泵还包括用于对所述控制单元的内部的气体进 行换气的换气机构，在该情况下，所述控制部也可以根据所述相对湿度来对所述换气机构 的动作进行控制。
[0027] 优选的是，基于所述本发明的分子泵还包括用于对所述控制单元的内部的气体进 行加热的加热机构，在该情况下，所述控制部也可以根据所述相对湿度来对所述加热机构 的动作进行控制。
[0028] 本发明的第2技术方案提供一种分子泵，该分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具 有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；控制单元，该控制单元设有控制部和电源部；以及冷 却单元，其用于对所述控制单元进行冷却。在该分子泵中，以使所述冷却单元和所述控制单 元热接触的方式将所述控制单元配置为与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元。所述 控制单元具有容纳有所述控制部和所述电源部的罩。在处于所述罩的内部的位置且是在所 述冷却单元进行工作时成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部。在处于所述罩的 内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为温度比所述第1位置处的温度高的位置 即第2位置设有湿度检测部和第2温度检测部。所述控制部基于由所述第1温度检测部和 所述第2温度检测部检测出的温度信息和由所述湿度检测部检测出的湿度信息计算出所 述第1位置处的相对湿度，所述控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对所 述冷却单元的动作进行控制。
[0029] 发明的效果
[0030] 采用本发明，能够形成如下那样的分子泵，在该分子泵中，能够连续地对控制单元 的内部的最容易产生结露的部分的相对湿度进行稳定且准确的计算，由此，能够可靠地防 止结露的产生且能够实现高效的运转动作。
【附图说明】
[0031] 图1是本发明的实施方式1的分子泵的主视图。
[0032] 图2是本发明的实施方式1的分子泵的示意性纵剖视图。
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