寿命计算式压电分配器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种寿命计算式压电分配器，尤其涉及一种具有将压电元件用作致动器(actuator)而分配溶液的压电泵(piezoelectric pump)的分配器。
【背景技术】
[0002]按照固定的量供给水、油、树脂(resin)等液体状态的溶液的分配器使用于半导体制程、医疗领域等各种领域。
[0003]特别是，半导体制程是于底部填充(underfill)制程中较多地使用分配器，且分配器亦较多地使用于以树脂填充半导体元件的封装体(package)内部的用途。于制造发光二极管(Light Emitting D1de，LED)元件的制程中，分配器使用于在LED元件中，将焚光物质与树脂混合而成的荧光液涂布至LED晶片(chip)的制程。
[0004]此种分配器是将接收溶液而向准确的位置分配定量的泵(pump)用作核心装置。
[0005]于泵的构造中，存在螺旋泵(screw pump)、线性泵(linear pump)等各种类型。最近，为了高速地执行分配工作，开发使用于半导体制程等中，将压电元件用作致动器的压电栗O
[0006]于韩国公开专利公报第2005-0079557号(2005.08.10)中，揭示有如下的压电泵的构造:附着压电元件的多个压电致动器形成彼此不同的位移差，依次连动而泵送(pumping)流体。
[0007]使用于压电泵的压电致动器主要由陶瓷(ceramic)素材制作。若长期使用此种陶瓷材质的压电致动器，则产生疲劳破坏现象。若于利用压电泵而向半导体元件分配溶液的作业中，产生此种压电致动器的疲劳破坏现象，则存在如下问题点:无法分配溶液或溶液的分配用量不准确而发生制程不良。
[0008]因此，需要预先预测此种压电致动器的疲劳破坏而有效地进行管理的技术。
【发明内容】
[0009][发明所欲解决的问题]
[0010]本发明是根据如上所述的必要性而提出，目的在于提供一种于压电致动器产生破损前，可预测该情形的寿命计算式压电分配器。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012]为了解决如上所述的目的，本发明的寿命计算式压电分配器的特征在于包含:泵体；杠杆(lever)，其以可相对于设置于上述泵体的铰链(hinge)轴而旋转的方式设置；压电致动器，其以其末端可与上述杠杆接触的方式设置于上述泵体，以便若施加电压，则长度变长，并且对上述杠杆加压而使上述杠杆以上述铰链轴为中心旋转；阀杆(valve rod)，其连接于上述杠杆，以便随着上述杠杆的旋转而进行升降运动；阀体，其具有储存部、流入口、及喷嘴(nozzle)，该储存部是供上述阀杆的末端插入，且储存溶液，该流入口是向上述储存部流入上述溶液，该喷嘴是随着上述阀杆相对于上述储存部的进退而排出上述储存部的溶液；寿命储存部，其储存固有地赋予于上述泵体的识别编号、及对上述压电致动器施加电压而上述压电致动器作动的次数，且设置于上述泵体；及控制部，其电性连接于上述压电致动器及寿命储存部，施加电压以使上述压电致动器作动，计算使上述压电致动器作动的次数而储存至上述寿命储存部。
[0013][发明效果]
[0014]本发明的寿命计算式压电分配器具有如下效果:于压电致动器产生破损前，预先预测该情形，从而更换压电致动器而防止制程的损失及不良品的产生，藉此提高生产性。
【附图说明】
[0015]图1是本发明的一实施例的寿命计算式压电分配器的前视图。
[0016]图2是图1所示的寿命计算式压电分配器的压电泵的立体图。
[0017]图3是图2所示的寿命计算式压电分配器的侧视图。
[0018]图4是图2所示的寿命计算式压电分配器的IV-1V线剖面图。
[0019]图5是关于图1所示的寿命计算式压电分配器的主要构成的方块图。
[0020]图6至图8是用以说明图1所示的寿命计算式压电分配器的作动的概略图。
[0021]图9是用以说明本发明的其他实施例的寿命计算式压电分配器的作动的概略图。
【具体实施方式】
[0022]以下，参照随附图式，详细地对本发明的寿命计算式压电分配器进行说明。
[0023]图1是本发明的一实施例的寿命计算式压电分配器的前视图，图2是图1所示的寿命计算式压电分配器的压电泵的立体图，图3是图2所示的寿命计算式压电分配器的侧视图。
[0024]参照图1至图3，本实施例的寿命计算式压电分配器具有压电泵(100)及控制部(200)。压电泵(100)具有泵体(10)、杠杆(30)、压电致动器(51、52)、阀杆(40)、阀体(20)、及寿命储存部(221)。
[0025]如图1所示，泵体(10)与阀体(20)是利用螺杆(bolt)而以可装卸的方式结合。
[0026]于泵体(10)，设置铰链轴(11)，以可相对于铰链轴而旋转的方式设置横向延伸的杠杆(30) ο
[0027]于阀体(20)，嵌合设置以于垂直方向上延伸的方式形成的阀杆(40)。杠杆(30)与阀杆(40)彼此连接，若杠杆(30)相对于铰链轴(11)而旋转，则阀杆(40)上下升降。
[0028]压电致动器(51、52)设置于泵体(10)。压电致动器(51、52)包括两个(第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52))，使杠杆(30)相对于铰链轴(11)而旋转。第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)是利用压电元件而构成。即，使用如下构造的压电元件而构成第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52):若施加电压，则根据该施加电压的电位而长度变长或变短。于本实施例中，将如下情形列举为例而进行说明:使用积层多个压电元件而构成的多层叠(Multi Stack)压电致动器(51、52)，构成第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)。
[0029]如图4所示，第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)于垂直方向上彼此并列地配置而设置于泵体(10)。第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)是以如下方式配置:隔以铰链轴(11)而分别使下端部与杠杆(30)的上表面接触。若对第I压电致动器
(51)施加电压而长度变长，则杠杆(30)以图5为基准而向逆时针方向旋转，若对第2压电致动器(52)施加电压而长度变长，则杠杆(30)以图4为基准而向顺时针方向旋转。
[0030]于第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)的上端，分别配置第I调节单元
(61)及第2调节单元(62)而设置于泵体(10)。于本实施例中，无头螺杆形态的第I调节单元(61)及第2调节单元(62)分别以与第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)的末端接触的形态，螺合设置于泵体(10)。第I调节单元￠1)调节第I压电致动器(51)相对于杠杆(30)及泵体(10)的位置，第2调节单元￠2)调节第2压电致动器(52)相对于杠杆(30)及泵体(10)的位置。若拧紧第I调节单元(61)而相对于泵体(10)前进，则第I压电致动器(51)下降而接近或密接至杠杆(30)。第2调节单元(62)亦藉由与第I调节单元￠1)相同的方法而作动。
[0031]于杠杆(30)的下部，配置第I复位单元￠3)及第2复位单元￠4)而设置于泵体
(10)。第I复位单元(63)向使第I压电致动器(51)收缩的方向，对第I压电致动器(51)施力。相同地，第2复位单元￠4)向使第2压电致动器(52)收缩的方向，对第2压电致动器(52)施力。第I复位单元(63)及第2复位单元(64)可为弹簧(spring)，亦可为流体管(duct)，该弹簧是于第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)的下部，分别向使第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)收缩的方向提供弹力。于本实施例中，将为如下的板簧形态的第I复位单元￠3)及第2复位单元￠4)的情形列举为例而进行说明:于分别与第I压电致动器(51)及第2压电致动器(52)对应的位置的下部，向第I压电致动器
(51)及第2压电致动器(52)传达弹力。与本实施例不同地，亦可使用如下的第I复位单元
(63)及第2复位单元￠4):于利用空压或液压的情形时，藉由流体管向杠杆(30)传达空压或液压，从而向使杠杆(30)恢复至原位的方向传达力。
[0032]阀体(20)具有储存部(22)、流入口(2)、及喷嘴(23)。储存部(22)形成为向上侧开放的容器形态，阀杆(40)插入至该储存部(22)而使储存部(22)的上侧密闭。流入口
(21)与储存部(22)连接。藉由流入口(21)而自外部供给的溶液向储存部(22)传达。
[0033]连接于杠杆(30)的阀杆(40