涡轮分子泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具有使定子升温的构成的涡轮分子栗。
【背景技术】
[0002]涡轮分子栗中，已有如下技术:为了抑制反应产物的沉积，利用加热器使涡轮分子栗的定子升温(例如，参照专利文献1)。若使定子升温，则定子会产生热膨胀从而会使转子与定子的间隙尺寸变化，且使排气性能变化。因此，以使间隙尺寸在升温且膨胀的状态下成为最佳尺寸的方式，设定转子及定子的尺寸。因此，定子温度为常温时的间隙尺寸变得像升温时的膨胀变化大时那么窄。
[0003][现有技术文献]
[0004][专利文献]
[0005][专利文献1]日本专利特开2011-80407号公报
[0006]然而，随着升温的设定温度升高，常温时的间隙尺寸会变得更窄，当定子的升温不充分的栗起动时(开始旋转时)转子与定子可能会接触。尤其是，当栗起动时，在定子温度为常温、转子温度高的情况下，接触的可能性变高。因此，当使用具备升温功能的涡轮分子栗时，使用者须待升温结束后进行栗起动操作，从而存在操作变得繁琐的问题。而且，当因使用者的误操作而使刚开始升温后便进行栗起动时，会产生转子与定子接触的不良状况。
【发明内容】
[0007]本发明的优选实施方式的涡轮分子栗包括:圆筒状的转子，由马达旋转驱动；圆筒状的定子，对应于所述转子而设；加热器，使所述定子升温至目标温度；温度传感器，检测所述定子的温度；及控制部，若在所述加热器开始通电后输入有旋转开始指令，则在所述定子的温度达到设定为小于所述目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动所述转子，当所述定子的温度超过所述规定温度时，以所述常态转数进行旋转驱动。
[0008]更优选的实施方式中，所述控制部进行第1控制或第2控制，所述第1控制是指在达到所述规定温度之前使所述转子处于停止状态，所述第2控制是指以低于所述常态转数的规定转数进行旋转驱动。
[0009]更优选的实施方式中，涡轮分子栗的所述控制部包括:停止判定部，判定当进行所述第2控制时所述转子是否处于停止状态；及通知部，当所述停止判定部判定为停止状态时，进行异常通知。
[0010]更优选的实施方式中，所述规定温度以下的栗使用温度区域被划分为多个温度范围，越是高温侧的温度范围，所述规定转数设定得越大。
[0011]更优选的实施方式中，更包括结束信息提示部，所述结束信息提示部是当所述定子的温度达到所述目标温度时提示升温结束信息。
[0012]更优选的实施方式中，更包括推断时间提示部，所述推断时间提示部是依据所述温度传感器检测出的所述定子的温度，来推断所述定子达到所述目标温度为止的升温时间，且提示该推断出的升温时间。
[0013]根据本发明，能使涡轮分子栗的起动操作简化。
【附图说明】
[0014]图1是表示涡轮分子栗的概略构成的图。
[0015]图2是表示控制单元的概略构成的框图。
[0016]图3(a)、图3(b)是说明间隙尺寸的示意图。
[0017]图4是用于说明起动控制的流程图。
[0018]图5 (a)、图5 (b)是说明规定温度的图。
[0019]图6是说明相互关系LT的图。
[0020]图7是表示定子温度与转子转数的关系的一例的图。
[0021]图8是表示第2实施方式的控制动作的流程图。
[0022][符号的说明]
[0023]1:栗单元
[0024]2:控制单元
[0025]3:底座
[0026]4:栗转子
[0027]5:轴
[0028]10:马达定子
[0029]20:主控制部
[0030]21:电源部
[0031]22:马达控制部
[0032]23:轴承控制部
[0033]24:温度控制部
[0034]25:操作部
[0035]25a:电源开关
[0036]25b:启动开关
[0037]26:显示部
[0038]30:栗壳
[0039]30a:卡止部
[0040]31:固定翼
[0041]32:定子
[0042]33:隔离环
[0043]34?36:磁轴承
[0044]37a、37b:机械轴承
[0045]38:加热器
[0046]39:温度传感器
[0047]41:旋转翼
[0048]42:圆筒部
[0049]43:旋转传感器
[0050]100:涡轮分子栗
[0051]G0:最佳间隙尺寸
[0052]G1、G2、G3:间隙尺寸
[0053]Lr、Lrl、Lr2、LR:曲线
[0054]LT:相互关系
[0055]Μ:马达
[0056]r:圆筒部的外周半径
[0057]R:定子的内周半径
[0058]RY:旋转体单元
[0059]S10、S20、S30、S32、S33、S34、S40、S42、S50、S52、S54、S60、S110、S120、S130、S132、S134、S136、S140、S150、S152、S160、S170:步骤
[0060]T、Ts、Tl:定子温度[0061 ]T0:目标温度
[0062]Tth:规定温度
[0063]t、tl、t2、t3、t4、t5、ts、te:时刻
[0064]Δ tl:升温时间
[0065]Δ t2:加速时间
[0066]Δ tf:升温结束推断时间
【具体实施方式】
[0067]以下，参照图式对本发明的实施方式进行说明。
[0068]-第1实施方式-
[0069]图1是表示本实施方式的涡轮分子栗的图。涡轮分子栗100包括进行真空排气的栗单元1、及驱动控制栗单元1的控制单元2。
[0070]栗单元1包括涡轮栗段及牵引栗段(螺纹槽栗段)，该涡轮栗段包含旋转翼41及固定翼31，该牵引栗段包含圆筒部42及定子32。螺纹槽栗段中，在定子32或圆筒部42形成有螺纹槽。作为旋转侧排气功能部的旋转翼41及圆筒部42形成于栗转子4。栗转子4紧固于轴5。由栗转子4及轴5构成旋转体单元RY。
[0071]多段固定翼31与旋转翼41交替地配置在轴向上。各固定翼31经由隔离环33而载置于底座3上。若将栗壳30螺固于底座3，则层叠的隔离环33被夹在底座3与栗壳30的卡止部30a之间，且使固定翼31定位。
[0072]图1所示的涡轮分子栗100为磁悬浮式涡轮分子栗，轴5是由设在底座3的磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36非接触地支撑。省略详细的图示，但各磁轴承34?磁轴承36包括电磁铁及移位传感器。利用移位传感器检测轴5的悬浮位置。轴5、即栗转子4的转数(每1秒的转数)可由旋转传感器43检测。
[0073]轴5是由马达Μ旋转驱动。马达Μ包括马达定子10以及马达转子11。当磁轴承未工作时，轴5由不常用的机械轴承(mechanical bearing) 37a、机械轴承37b支撑。在底座3的外周，设有用于使定子32升温的加热器38。定子32的温度可由温度传感器39检测，且将其检测结果输入至控制单元2。
[0074]图2是表示控制单元2的概略构成的框图。控制单元2包括主控制部20、电源部21、马达控制部22、轴承控制部23、温度控制部24、操作部25及显示部26。
[0075]从外部电源向电源部21供给交流电。电源部21将所供给的交流电转换为直流电，且将该直流电供给至主控制部20、马达控制部22、轴承控制部23等。马达控制部22向栗单元1的马达定子10供给驱动电力，控制马达Μ的旋转。轴承控制部23依据来自设于磁轴承34?磁轴承36的移位传感器的移位信号而向磁轴承34?磁轴承36的电磁铁供给励磁电流，使轴5磁性悬浮在所需的位置。温度控制部24依据来自温度传感器39的温度检测信号而控制加热器38的通电及非通电，从而将定子32控制为所需的目标温度Τ0。另外，使来自温度传感器39的温度检测信号输入至主控制部20，温度控制部24从主控制部20接收温度信息而进行通电控制。
[0076]操作部25对控制单元2进行输入操作，且设有电源开关25a、启动开关25b。若接通电源开关25a，则会向电源部21通入电源，向轴承控制部23、温度控制部24等供给电力，从而开始利用磁轴承34?磁轴承36实现磁悬浮。若接通启动开关25b，则开始利用马达控制部22进行马达的驱动控制。在显示部26显示栗单元1的状态、例如转子转数或运转状态(加速、常态等)或定子温度等。
[0077]主控制部20对整个控制单元2进行控制，且后述的起动控制也由主控制部20执行。使来自温