角阀的制作方法

文档序号:5578772阅读:348来源:国知局
专利名称:角阀的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种阀,特别是有关于一种角阀(angle value)。
背景技术
在高精密电子产业的制程设备中,许多制程经常需要输送流体的管路系统,因而产生许多流体流量的调节或开关的需求,而阀则符合这样的需求。因此,几乎整个制程设备,例如气体来源处、管路系统、反应腔室及真空帮浦的排出端等都会有阀的应用。
请共同参照图1及图2,图1绘示现有的一种角阀的剖面图,而图2绘示图1的阀门与活塞杆的放大示意图。角阀100包括一阀体110、一阀门120、一活塞杆130以及一固定件140。阀体110的本身具有第一通孔112及第二通孔114。阀门120具有一密封面122及一连接面124,且阀门120可经由其密封面122来封闭或不封闭第一通孔112。
活塞杆130的一端是为一平板132,其适于容置在阀门120的连接面124的一凹槽126内,并利用固定件140,例如一C型环,来将活塞杆130的平板132封锁在阀门120的凹槽126内。活塞杆130的另一端是可受到一驱动装置150的驱动,因而带动阀门120朝向或远离第一通孔112作线性移动,以驱使阀门120经由其密封面122来封闭或不封闭第一通孔112。
固定件140的作用为连接活塞杆的平板132与阀门120。当活塞杆130受到驱动装置150所驱动,而朝向方向B作线性移动时,此平板132与固定件140之间会产生结构性的干涉,使得活塞杆130的平板132可以经由固定件140来带动阀门120朝向方向B作线性移动。
如图2所绘示,由于固定件140通常为一C型环,所以活塞杆130在受到驱动装置150的驱动而作线性运动时,凹槽126的侧壁上的沟穴及平板132的两平面均会对于固定件140施以反复的推压应力,因而导致此固定件140容易发生结构性的破坏。因此,当固定件140,即C型环,发生断裂或变形时,角阀100将停止运作。并且,突然停止运作的角阀100亦将严重影响到其所在管路系统的正常运作。
实用新型内容有鉴于此,本实用新型的目的就是在提供一种角阀,用以提供气流流量调节或开关的需求。
基于上述目的,本实用新型提出一种角阀,包括一阀体、一阀门、一活塞杆及一固定件。阀体具有一第一通孔及一第二通孔;阀门具有一密封面及一连接面,此连接面具有一凹槽;活塞杆的一端是形成一平板,其是容置于上述凹槽之内,且此活塞杆是适于受到驱动而沿着一朝向此阀门的第一方向作线性移动,并经由其平板来施力至阀门,以驱使阀门经由其密封面来封闭第一通孔;固定件是连接至阀门的连接面,当活塞杆受到是适于受到驱动,而沿着一远离阀门的第二方向作线性移动时,活塞杆的平板会与固定件之间是结构性地干涉。
依照本实用新型的较佳实施例所述的角阀,其中在一垂直于第一方向的第三方向上,平板的侧面与凹槽的侧壁间可相隔一第一距离。
又当平板接触固定件时,平板的表面与凹槽的底壁之间可相隔一第二距离。
依照本实用新型的较佳实施例所述的角阀,其中固定件是可拆卸式地连接至阀门的连接面,固定件例如以螺丝锁固的方式连接至阀门的连接面。此固定件例如为一垫片,其具有一贯孔,在一垂直于第一方向的第三方向上,此贯孔之内径是小于平板的外径,但大于活塞杆的其它部分的外径。
依照本实用新型的较佳实施例所述的角阀,更包括一驱动装置,其配设于阀体上,并适于驱动活塞杆沿第一方向或第二方向作线性移动。其中驱动装置例如为一气压缸,此气压缸是适于驱动活塞杆沿着第二方向作线性移动。此角阀更包括一伸缩囊,其配设包围在活塞杆的外侧,并具有保护活塞杆的功能。
基于上述,本发明的角阀可提供气流开关调节及开关的需求。固定件是可拆卸式地连接至阀门的连接面,经由此可拆卸式固定件的设计,使得角阀较容易进行维修。此外,由于角阀的活塞杆的平板与阀门的凹槽之间存在一缓冲距离,所以阀门的密合面在与阀体的第一通孔密合时,活塞杆的平板能以任何角度来推动阀门,用以将阀门的密合面密合至阀体的第一通孔,进而增加阀门与通孔之间的密合程度。
为让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举一较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。


图1绘示为现有的一种角阀的剖面图;图2绘示为图1的阀门与活塞杆的放大示意图;图3绘示为本实用新型的一较佳实施例的一种角阀(关闭状态)的剖面图;图4绘示为图3的阀门与活塞杆的放大示意图;图5所绘示为本实用新型的一较佳实施例的一种角阀(开启状态)的剖面图;图6所绘示为图5的阀门与活塞杆的放大示意图。
具体实施方式
请参照图3及图4,其中图3绘示本实用新型的一较佳实施例的一种角阀(关闭状态)的剖面图,而图4绘示图3的阀门与活塞杆的放大示意图。角阀200包括一阀体210、一阀门220、一活塞杆230以及一固定件240。阀体210具有一第一通孔212与一第二通孔214,第一通孔212与第二通孔214是适于置于一管路系统中,例如第一通孔212是可连接到一反应腔室,而第二通孔214则可连接到一抽气帮浦,在角阀200呈开启的状态之下,抽气帮浦可以经由开启状态的角阀200来对于此反应腔室进行抽真空的动作。
如图3及图4所绘示,阀门220具有一密封面222与一连接面224,且连接面224更具有一凹槽226,其中阀门222是经由其密封面222来密合至阀体210的第一通孔212。此外,活塞杆230是经由固定件240来连接至阀门220,并且角阀200更可包括一驱动装置250,其连接至活塞杆230。因此,可经由此驱动装置250来驱动此活塞杆230沿方向A或方向B作线性移动,进而带动阀门220来封闭或不封闭第一通孔212。
请参考图4,其绘示图3的活塞杆与阀门的放大示意图。固定件240是可拆卸式地,例如螺丝锁固的方式,来连接至阀门220的连接面224。在本实施例中,固定件240例如为一垫片,其具有一贯孔242,其中在一垂直于方向A的方向C上,贯孔242的内径d1是小于平板232的外径d3,但大于活塞杆230的其它部分的外径d2。因此,固定件240是可经由其贯孔242,而套接于活塞杆230的杆身,但与活塞杆230的平板232间产生结构性干涉。
如图3所绘示,上述的驱动装置250是可附加地配设于此阀体210上,并适于驱动活塞杆230沿方向A或方向B作线性移动。驱动装置250例如为一气压缸,其可通入压缩空气以驱动活塞杆230作线性移动。此外,角阀200更可包括一伸缩囊260,其包围在活塞杆230的外侧,用以保护活塞杆230。
如图3及图4所绘示,当活塞杆230受到驱动而沿着一朝向阀门220的方向A作线性运动时,这会使容置于凹槽226之内的平板232与阀门220的凹槽226的底壁相接触,故可透过平板232来施力至阀门220,以驱使阀门220经由其密封面222来封闭第一通孔212。
请共同参照图5及图6,其中图5绘示本实用新型的一较佳实施例的一种角阀(开启状态)的剖面图,而图6绘示图5的阀门与活塞杆的放大示意图。当呈关闭状态的角阀200欲呈开启状态时,活塞杆230是受到驱动装置250所驱动,而带动阀门220往远离第一通孔212的第二方向B作移动,这将会使得容置于凹槽226之内的平板232与固定件240间产生结构性干涉,因此活塞杆230可藉此来带动阀门220作线性运动以远离第一通孔212,使得阀门220不封闭第一通孔212。
如图4及图6所示,平板232与凹槽226间是为一有空隙的设计。当角阀200呈关闭状态时,平板232是接触阀门220的凹槽226的底壁。此时,在方向C上,平板232的侧面与凹槽226的侧壁间相隔一距离D1。同时,在方向A上,平板232的表面与固定件240的底壁之间会相隔一距离D2。此种有空隙的设计可使活塞杆230与阀门220之间具有一缓冲空间,使得阀门220在与第一通孔212(如图3所示)相密合时,活塞杆230的平板232能以任何角度来推动阀门220,用以将阀门220的密合面222密合至阀体220的第一通孔242,进而增加阀门220与第一通孔212(如图3所示)之间的密合程度。
综上所述,本实用新型的角阀至少具有下列优点(一)由于固定件是可拆卸式地连接至阀门的连接面,用以将活塞杆的平板封锁于阀门的凹槽内,所以经由本实用新型的可拆卸式固定件的设计,将使得角阀较容易进行维修。
(二)由于活塞杆的平板与阀门的凹槽间存在一距离,使得活塞杆的平板与阀门的凹槽间具有一缓冲空间,所以活塞杆的平板可以任何角度来推动阀门,进而增加阀门与通孔之间的密合程度。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本实用新型,任何熟习此技艺者,在不脱离本实用新型的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,因此本实用新型的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
权利要求1.一种角阀,其特征在于包括一阀体,具有一第一通孔及一第二通孔;一阀门,具有一密封面及一连接面,该连接面具有一凹槽;一活塞杆,其一端形成一平板,而该平板是容置于该凹槽之内,且该活塞杆是适于受到驱动而沿着一朝向该阀门的第一方向作线性移动,并经由该平板来施力至该阀门,以驱使该阀门经由该密封面来封闭该第一通孔;以及一固定件,连接至该阀门的该连接面,当该活塞杆是适于受到驱动而沿着一远离该阀门的第二方向作线性移动时,该平板与该固定件之间是结构性地干涉。
2.如权利要求1所述的角阀,其特征在于在一垂直于该第一方向的第三方向上,该平板的侧面与该凹槽的侧壁相隔一第一距离。
3.如权利要求1所述的角阀,其特征在于当该平板接触该固定件时,该平板的表面与该凹槽的底壁之间相隔一第二距离。
4.如权利要求1所述的角阀,其特征在于该固定件是可拆卸式地连接至该阀门的该连接面。
5.如权利要求4所述的角阀,其特征在于该固定件是以螺丝锁固的方式连接至该阀门的该连接面。
6.如权利要求1所述的角阀,其特征在于该固定件是为一垫片,其具有一贯孔,在一垂直于该第一方向的第三方向上,该贯孔的内径是小于该平板的外径,但大于该活塞杆的其它部分的外径。
7.如权利要求1所述的角阀,其特征在于更包括一驱动装置,其配设于该阀体上,并适于驱动该活塞杆沿该第一方向及该第二方向其中之一作线性移动。
8.如权利要求7所述的角阀,其特征在于该驱动装置包括一气压缸。
9.如权利要求8所述的角阀,其特征在于该气压缸是适于驱动该活塞杆沿着该第二方向作线性移动。
10.如权利要求1所述的角阀,其特征在于更包括一伸缩囊,其配设包围该活塞杆的外侧。
专利摘要一种角阀,其包括一阀体、一阀门、一活塞杆以及一固定件。阀体具有第一通孔及第二通孔。配设于阀体内的阀门具有一密封面及一连接面,此连接面具有一凹槽,用以容置活塞杆的一平板。此活塞杆是适于受到驱动而作线性移动,并经由其平板来施力至阀门,以驱使阀门经由密封面来对第一通孔进行封闭或不封闭的动作。固定件则用来连接活塞杆与阀门,当活塞杆受到驱动而沿着一远离阀门的方向作线性移动时,平板与固定件之间会产生结构性干涉。
文档编号F16K31/122GK2721980SQ200420065748
公开日2005年8月31日 申请日期2004年7月1日 优先权日2004年7月1日
发明者邱智新, 毛国强 申请人:和鑫光电股份有限公司
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