两段式角阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明有关于真空舱压力平衡用的两段式角阀有关，具体涉及一种具有两段开启行程、可先以第一段较小流量降低真空舱压力差，再以第二段大流量完成真空舱压力平衡，以避免压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移的问题的两段式角阀。
【背景技术】
[0002]晶圆、TFT IXD玻璃基板于制程中常需于真空环境下处理，一般待加工的晶圆、TFTLCD玻璃基板多于一可抽真空的真空舱内进行加工，而真空舱通常具有一进气阀门连接大气或空气泵，可于加工完成后开启进气阀门以破除真空舱的真空状况，并使真空舱之压力直到与大气压力平衡，以方便真空舱可进行取料及进料动作。
[0003]然而，传统进气阀门仅有一段行程，只能控制全开或全关，并无流量控制功效。当进气阀门于真空舱真空状态下开启时，开启初期的压力差会造成极大、快速的气流，造成真空舱内部的晶圆、TFT LCD玻璃基板容易被吹动而位移，导致晶圆、TFT LCD玻璃基板自载具上掉落、撞击的问题产生。
【发明内容】
[0004]针对现有技术中存在的不足，本发明的目的在于提供一种两段式角阀，可产生第一间距及第二间距两段行程，以控制先以第一间距较小流量降低压力差，再产生一较第一间距大的第二间距以大流量完成压力平衡。
[0005]本发明的技术方案如下:
一种两段式角阀，包括:一阀体，所述阀体具有相连通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及
一驱动缸，其一端连接于所述阀体处，并具有一沿驱动缸轴向位移的驱动轴，所述驱动轴端部可供一气密阀片设置，且所述气密阀片位于所述第一管道与第二管道间，所述气密阀片并与第一管道活动气密；其中，所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道产生一第一间距及一第二间距，使得所述气密阀片得以控制第一管道及第二管道间的流体流量。
[0006]上述的两段式角阀，所述驱动缸还包括有:
一设于所述驱动缸内的第一腔室；
一设于所述第一腔室的外活塞杆，所述外活塞杆具有一密合于第一腔室壁面的外活塞部，以及一沿驱动缸轴向设置的外杆部，所述外杆部轴向穿设有一轴孔；
一第二腔室，其设于所述外活塞部内，并与所述轴孔连通；
一内活塞杆，其具有一密合于第二腔室壁面的内活塞部，以及一穿设于所述轴孔内的内杆部，且所述内杆部连接于驱动轴；
一连通于第一腔室的外驱动流道；以及一连通于第二腔室的内驱动流道。
[0007]上述的两段式角阀，所述驱动缸连接于阀体的一端为一开口，所述开口处设有一端块，所述端块上穿设有一枢孔，以供所述外杆部端部穿设。
[0008]上述的两段式角阀，所述外驱动流道设置于端块内，一端连通于所述第一腔室，另一端连通于端块外部。
[0009]上述的两段式角阀，所述端块处沿平行于外活塞杆轴向的方向突伸设有至少一滑杆，且所述外活塞部设有可供所述滑杆穿伸的滑孔。
[0010]上述的两段式角阀，所述内驱动流道具有一设于端块内之第一段以及一设于所述滑杆内之第二段，且所述第二段一端连通于所述第一段，另一端则连通于所述第二腔室。
[0011]上述的两段式角阀，所述第二段自滑杆连接于端块的一端沿滑杆轴心设置，并于滑杆的外周缘形成一开孔，且所述开孔并连通于第二腔室接近轴孔处。
[0012]上述的两段式角阀，所述外驱动流道与内驱动流道连通于端块外部的一端设有一接头。
[0013]上述的两段式角阀，所述内驱动流道设有一止逆装置，俾以限制所述内驱动流道内之流体仅能由第一段往第二段方向流动。
[0014]上述的两段式角阀，所述止逆装置为一设置于所述第一段与接头间的止逆钢珠，且所述止逆钢珠往接头方向位移时，所述止逆钢珠可与所述接头密合。
[0015]上述的两段式角阀，所述驱动缸相反于所述开口的另一端为一封闭端，所述封闭端与外活塞杆的外活塞部间设有一复位弹簧。
[0016]上述的两段式角阀，所述外活塞部的第二腔室可轴向滑动地设有一弹簧座，所述弹簧座可供复位弹簧的端部套设固定。
[0017]上述的两段式角阀，所述弹簧座呈中空状，其内设有一内复位弹簧，且所述内复位弹簧的一端抵接于弹簧座，另一端抵接于内活塞部。
[0018]本发明的有益效果为:
(1)产生第一间距及第二间距两段行程，以控制先以第一间距较小流量降低压力差，再产生一较第一间距大的第二间距以大流量完成压力平衡。确实避免第一、第二管道压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移之问题；
(2)真空舱刚开启时由于内外压力差最大，造成需额外增加开启之驱动力量。而本发明两段式角阀先以较小第一间距开启气密阀片与第一管道，先破除真空舱之真空状态，可有效减少开启所需之驱动力量，并减少两段式角阀与气密阀片之耗损、增加产品耐用度。
【附图说明】
[0019]图1为本发明的立体结构组合图。
[0020]图2为本发明的局部立体结构分解图(一)。
[0021]图3为本发明的局部立体结构分解图(二)。
[0022]图4为本发明的剖面示意图。
[0023]图5为本发明剖面动作示意图(一)。
[0024]图6为本发明剖面动作示意图(二)。
[0025]其中:
阀体10
第一管道11 第二管道12 驱动缸20 驱动轴21 气密阀片22 第一间距dl 第二间距d2 第一腔室23 开□ 24 封闭端25 端块30 枢孔31 滑杆32 外活塞杆40 外活塞部41 外杆部42 轴孔43 第二腔室44 滑孔45 环槽46 内活塞杆50 内活塞部51 内杆部52 外驱动流道60 内驱动流道70 接头63 第一段71 第二段72 开孔721 接头73 止逆装置74 止逆钢珠741 复位弹簧80 弹簧座81 内复位弹簧82。
【具体实施方式】
[0026]如图图4所示，本发明一种两段式角阀，包括:
一阀体10，所述阀体10具有相连通的至少一第一管道11及至少一第二管道12，所述第一管道11连接于真空舱(图未示)而第二管道12则连通于大气或空气泵(图未示)； 以及
一驱动缸20，其一端连接于所述阀体10处，并具有一沿驱动缸20轴向位移的驱动轴21，所述驱动轴21端部可供一气密阀片22设置，且所述气密阀片22位于所述第一管道11与第二管道12间，并可受驱动轴21的带动与所述第一管道11活动气密；其中，所述驱动轴21可带动气密阀片22与第一管道11产生一第一间距dl及一第二间距d2，以使得所述气密阀片22得以控制第一管道11及第二管道12间的流体流量。
[0027]所述驱动缸20进一步包括有:
一设于所述驱动缸20内的第一腔室23 ;其中，所述驱动缸20连接于阀体10之一端为一开口 24，所述开口 24处设有一端块30，所述端块30上穿设有一枢孔31 ；
一设于所述第一腔室23的外活塞杆40，所述外活塞杆40具有一密合于第一腔室23壁面的外活塞部41，以及一沿驱动缸20轴向设置的外杆部42，所述外杆部42轴向穿设有一轴孔43 ;且所述外杆部42端部可滑动地穿设于枢孔31处；另外，所述端块30处沿平行于外活塞杆40轴向的方向突伸设有至少一滑杆32，且所述外活塞部41设有可供所述滑杆32穿伸之滑孔45 ;在较佳的实施例中，所述滑杆32与滑孔45的数量可为两个以上，图3、图4中以两个为例。
[0028]一第二腔室44，其设于所述外活塞部41内，并与所述轴孔43连通；
一内活塞杆50，其具有一密合于第二腔室44壁面的内活塞部51，以及一穿设于所述轴孔43内的内杆部52，且所述内杆部52的端部连接于驱动轴21 ;其中，在本实施例所述驱动轴21由外杆部42及内杆部52所组成；
一连通于第一腔室23的外驱动流道60 ;以及
一连通于第二腔室44的内驱动流道70，所述外驱动流道60与内驱动流道70连通于端块30外部的一端设有一接头63、73，以连接于驱动压力源(图未示)，所述驱动压力源可为气体压