专利名称：二维精密微驱动机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种精密微驱动机构，属于微驱动控制技术领域。
背景技术：
现有的精密微驱动机构多为精密螺杆传动型，且只有一维驱动，要实现二维微驱动，就必须通过两个一维驱动机构串联叠加来实现，结构复杂，而其位移精度由螺杆传动副螺距设计确定，一旦完成不可变更。其实际精度与产品的制造精度密切相关，制造工艺难度大、且产品成本高。
发明内容为了克服上述现有技术的不足之处，本实用新型提供一种二维精密微驱动机构， 结构紧凑灵活，随球头摆杆动作，驱动精度可在一定范围内精密调节，利用球心不重合、杠杆支点改变原理在设定的范围内可实现无级位移精度调节。本实用新型是通过如下技术方案实现的一种二维精密微驱动机构，其特征在于它包括由机壳和罩壳对接而成的壳体，壳体的一端装有球头座，球头座上装有可转动的球头摆杆，壳体的另一端内装有二维输出限位盘，二维输出限位盘由压盖I和压盖II对接而成，二维输出限位盘内形成限位腔，所述的压盖I上有摆轴活动孔，摆轴活动孔上装有摆轴，摆轴的一端伸入所述的限位腔内，摆轴与限位腔之间装有平面轴承，平面轴承的上下平面上有滚子与限位腔相接触；所述的摆轴的另一端装有拨球，拨球装入所述的球头摆杆内，球头摆杆内有拨孔，球头摆杆的球头球心不与拨球的球心重合；所述壳体的侧部开有动力输出口 I，所述的摆轴的中部装有动力输出顶块，动力输出顶块与动力输出口 I的位置相适配。所述的球头座与所述的机壳之间螺纹连接。所述的二维输出限位盘与所述的罩壳之间螺纹连接，所述的压盖II上有调节插槽。所述的壳体的侧部有与所述的动力输出口 I开口方向垂直的动力输出口 II。本实用新型的有益效果是通过球头摆杆机构、摆轴、二维输出限位盘的联合作用使摆轴即动力轴发生微位移，通过驱动力源输出口向外输出微位移，从而达到微米级液压或机械式精密运动平台的力源驱动的效果，实现对精密微运动平台系统二维平面的精密驱动。结构紧凑灵活合理。随球头摆杆动作，驱动精度可在一定范围内精密调节，利用球心不重合、杠杆支点改变原理在设定的范围内可实现无级位移精度调节。
下面根据附图和实施例对本实用新型进一步说明。图I是本实用新型结构示意图。图中，I、机壳，2、动力输出口 I，3、二维输出限位盘，3-1、压盖I，3-2、压盖II，3-3、限位腔，3-4、调节插槽，3-5、摆轴活动孔，4、平面轴承，5、摆轴，6、罩壳，7、动力输出顶块，8、动力输出口 II，9、拨球，10、球头座，11、球头摆杆。
具体实施方式
如图I所不的一种二维精密微驱动机构,它包括由机壳I和罩壳6对接而成的壳体，壳体的一端装有球头座10，球头座10上装有可转动的球头摆杆11，壳体的另一端内装有二维输出限位盘3，二维输出限位盘3由压盖I 3-1和压盖II 3-2对接而成，二维输出限位盘3内形成限位腔3-3，所述的压盖I 3-1上有摆轴活动孔3-5，摆轴活动孔3-5上装有摆轴5，摆轴5的一端伸入所述的限位腔3-3内，摆轴5与限位腔3-3之间装有平面轴承4，平面轴承4的上下平面上有滚子与限位腔3-3相接触，其作用是将球头摆杆的摆动转化为摆轴5正相关的二维移动；所述的摆轴5的另一端装有拨球9，拨球9装入所述的球头摆杆11内，球头摆杆11内有拨孔，球头摆杆11的球头球心不与拨球9的球心重合；所述壳体的侧部开有动力输出口 I 2，所述的摆轴5的中部装有动力输出顶块7，动力输出顶块7与动力输出口 I 2的位置相适配。所述的球头座10与所述的机壳I之间螺纹连接，便于调节球心距，以调整摆幅。所述的二维输出限位盘3与所述的罩壳6之间螺纹连接，所述的压盖II 3-2上有调节插槽3-4，便于调节调节球心距，以调整摆幅。所述的壳体的侧部有与所述的动力输出口 I 2开口方向垂直的动力输出口 II 8。通过球头摆杆机构、摆轴、二维输出限位盘的联合作用使摆轴即动力轴发生微位移，通过驱动力源输出口向外输出微位移，从而达到微米级液压或机械式精密运动平台的力源驱动的效果，实现对精密微运动平台系统二维平面的精密驱动。球头摆杆机构机构在最大偏转量+/-30°时摆轴的输出位移为+厂1mm。结构紧凑灵活合理。随球头摆杆动作，驱动精度可在一定范围内精密调节，利用球心不重合、杠杆支点改变原理在设定的范围内可实现无级位移精度调节。
权利要求1.一种二维精密微驱动机构,其特征在于它包括由机壳(I)和罩壳(6)对接而成的壳体，壳体的一端装有球头座(10)，球头座(10)上装有可转动的球头摆杆(11)，壳体的另一端内装有二维输出限位盘(3)，二维输出限位盘(3)由压盖I (3-1)和压盖II (3-2)对接而成，二维输出限位盘(3)内形成限位腔(3-3)，所述的压盖I (3-1)上有摆轴活动孔(3-5)，摆轴活动孔(3-5)上装有摆轴(5)，摆轴(5)的一端伸入所述的限位腔(3-3)内，摆轴(5)与限位腔(3-3)之间装有平面轴承(4)，平面轴承(4)的上下平面上有滚子与限位腔(3-3)相接触；所述的摆轴(5)的另一端装有拨球(9)，拨球(9)装入所述的球头摆杆(11)内，球头摆杆(11)内有拨孔，球头摆杆(11)的球头球心不与拨球(9)的球心重合；所述壳体的侧部开有动力输出口 I (2)，所述的摆轴(5)的中部装有动力输出顶块(7)，动力输出顶块(7)与动力输出口 I (2)的位置相适配。
2.根据权利要求I所述的二维精密微驱动机构，其特征在于所述的球头座(10)与所述的机壳(I)之间螺纹连接。
3.根据权利要求I所述的二维精密微驱动机构，其特征在于所述的二维输出限位盘(3)与所述的罩壳(6)之间螺纹连接，所述的压盖II (3-2)上有调节插槽(3-4)。
4.根据权利要求I所述的二维精密微驱动机构，其特征在于所述的壳体的侧部有与所述的动力输出口 I (2)开口方向垂直的动力输出口 II (8)。
专利摘要本实用新型公开了一种二维精密微驱动机构，属于微驱动控制技术领域。它包括壳体，壳体的一端装有球头座和球头摆杆，壳体的另一端内装有二维输出限位盘，二维输出限位盘内有摆轴，摆轴的一端伸入限位腔内，摆轴与限位腔之间装有平面轴承，平面轴承的上下平面上有滚子与限位腔相接触；所述的摆轴的另一端装有拨球，拨球装入所述的球头摆杆内，球头摆杆的球头球心不与拨球的球心重合；所述壳体的侧部开有动力输出口Ⅰ，所述的摆轴的中部装有动力输出顶块。本实用新型通过球头摆杆机构、摆轴、二维输出限位盘的联合作用使摆轴即动力轴发生微位移，结构紧凑灵活，驱动精度可在一定范围内精密调节。
文档编号F16H21/44GK202468886SQ20122003964
公开日2012年10月3日 申请日期2012年2月8日 优先权日2012年2月8日
发明者张志宏, 李绍华 申请人:江苏瑞祺生命科学仪器有限公司