操作器的制作方法

本发明涉及一种用以操作调节阀的阀轴的操作器，例如涉及一种用以操作旋转式调节阀的阀轴的操作器。

背景技术：

一直以来，在化工厂等中，在流量的过程控制中使用有调节阀。调节阀的阀开度通过操作器(以下，也称为“致动器”)根据来自定位器的控制信号对调节阀的阀轴进行操作来加以调整。

通常，在蝶阀等旋转式调节阀中，存在因所控制的流体的力而导致调节阀的阀芯发生开闭的情况。例如，电动式致动器的情况下，存在如下情况：当因工厂内的停电等而导致对致动器的电源供给被切断时，致动器内部的驱动马达的保持力消失，无法保持调节阀的开度。

因此，致动器的驱动阀轴的动力传递机构必须有用以实现即便在没有电源供给的情况下阀轴也不会动作的自锁功能。作为用以实现该自锁功能的动力传递机构，例如像下述专利文献1中所揭示的那样，奇异行星齿轮机构已广为人知。

此外，在专利文献2中揭示有一种采用行星齿轮机构作为阀轴的动力传递机构的操作器。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利特开2007-177405号公报

【专利文献2】日本专利特开2014-16222号公报

技术实现要素：

【发明要解决的问题】

为了实现更廉价且更小型的电动式致动器，本申请发明者对致动器的动力传递机构采用奇异行星齿轮机构这一技术进行了研究。通过该研究，结果明确了存在以下所示的问题。

在将奇异行星齿轮机构用作电动式致动器中的阀轴的动力传递机构的情况下，即便因由调节阀控制的流体的力而导致对调节阀的阀轴施加有力，阀轴也会因奇异行星齿轮机构的自锁功能而被固定，可防止阀芯发生开闭。

然而，例如，当在调节阀的驱动中因异物卡入至调节阀等而骤然产生过大的扭矩上升时，因扭矩上升而引起的冲击力会施加至构成奇异行星齿轮机构的可动内齿轮、行星齿轮等，从而有齿轮的轮齿破损之虞。

作为用以解决上述问题的一种方法，例如在上述专利文献2中有揭示。在专利文献2中所揭示的采用行星齿轮机构的电动致动器中，在行星齿轮机构的内齿轮的外周面与外壳的内周面之间设置盘簧作为弹性体，通过该盘簧来限制内齿轮的转动，直到规定值以上的扭矩施加至保持行星齿轮的齿轮架为止。

然而，在专利文献2中所揭示的技术中，固定内齿轮无法与壳体、板等通用化，所以还需要弹性体，导致零件数量增加。

本发明是鉴于上述问题而成，本发明的目的在于提供一种一方面抑制零件数量的增加、另一方面具有齿轮不易破损的奇异行星齿轮机构的操作器。

【解决问题的技术手段】

本发明所涉及的、用以操作调节阀的阀轴的操作器(100)的特征在于，包括：恒星齿轮(3)，其接收驱动马达(2)的转动力而转动；固定内齿轮(5)，其以包围恒星齿轮的形态固定配置，在其内周面具有轮齿；多个行星齿轮(4-1～4-3)，它们配置在恒星齿轮与固定内齿轮之间，与恒星齿轮和固定内齿轮啮合，一边在恒星齿轮的周围公转一边自转；可动内齿轮(6)，其与固定内齿轮同轴配置，在其内周面具有与行星齿轮啮合的轮齿，所述可动内齿轮被设置为能够转动；以及输出轴(7)，其与可动内齿轮连结，用以转动调节阀的阀轴，行星齿轮包括：与恒星齿轮以及固定内齿轮啮合的第1齿轮部(41)；与第1齿轮部同轴配置并与恒星齿轮以及可动内齿轮啮合的第2齿轮部(42)；以及弹性变形部(43、44、45)，其在第1齿轮部和第2齿轮部之间与第1齿轮部以及第2齿轮部一体形成，其弹性模量比第1齿轮部以及第2齿轮部的弹性模量小。

在上述操作器中，弹性变形部(43)可以由槽(430)构成，所述槽(430)在行星齿轮中的第1齿轮部和第2齿轮部之间的外周部沿行星齿轮的径向形成。

在上述操作器中，弹性变形部(44)可以具有比行星齿轮中的第1齿轮部以及第2齿轮部薄的齿厚。

在上述操作器中，弹性变形部(45)可以由弹性模量比第1齿轮部以及第2齿轮部的弹性模量小的材料形成。

再者，在上述说明中，作为一例，以附加括号的方式记载有与发明的构成要素相对应的附图上的参考符号。

【发明的效果】

通过以上所说明的内容，根据本发明，可实现一种具有齿轮不易破损的奇异行星齿轮机构的操作器。

附图说明

图1为表示实施方式1的操作器的要部的剖面图。

图2为表示实施方式1的操作器的要部的俯视图。

图3为表示由恒星齿轮、行星齿轮、固定内齿轮及可动内齿轮构成的奇异行星齿轮机构的结构的立体图。

图4为将实施方式1的操作器中的转盘的周边部分放大后的立体图。

图5为从阀轴侧观察实施方式1的操作器时的俯视图。

图6为示意性地表示实施方式1的操作器中的行星齿轮的弹性变形部的结构的图。

图7为示意性地表示实施方式2的操作器中的行星齿轮的结构的立体图。

图8为示意性地表示实施方式2的操作器中的行星齿轮的轮齿的结构的立体图。

图9为示意性地表示实施方式2的操作器中的行星齿轮的轮齿的结构的俯视图。

图10为示意性地表示实施方式3的操作器中的行星齿轮的轮齿的结构的俯视图。

图11为表示本发明的实施方式所涉及的另一操作器的要部的剖面图。

具体实施方式

下面，参考附图，对本发明的实施方式进行说明。

《实施方式1》

图1为表示实施方式1的操作器的要部的剖面图。

图2为表示实施方式1的操作器的要部的俯视图。

在图2中图示有从图1中的P方向观察时的操作器100的要部的平面结构，在图1中图示有图2中的操作器100的A-A剖面。再者，在图1、2中，为了明确构成操作器100的动力传递机构的各齿轮的位置关系，是以省略操作器100的构成要素的一部分的方式进行图示的。

图1所示的实施方式1的操作器100是在工厂等中对用于流量的过程控制的调节阀进行操作的装置，根据供给自设置在外部的定位器的操作信号来操作调节阀的阀轴，由此控制调节阀的阀开度。例如，操作器100为操作蝶阀等旋转式调节阀的电动式致动器。

实施方式1的操作器100具有奇异行星齿轮机构作为操作调节阀的阀轴的动力传递机构，具备即便在没有针对电动马达的电源供给的情况下阀轴也不会动作的自锁功能。此外，操作器100具备即便在没有针对电动马达的电源供给的情况下也可手动操作阀轴并在任意阀开度下固定阀轴的功能。

进而，操作器100还具有用以吸收施加自调节阀(阀轴)侧的力而防止奇异行星齿轮机构的各齿轮的破损的结构。

下面，对操作器100中的用以实现上述功能的具体结构进行详细说明。

如图1、2所示，操作器100包括壳体1、驱动马达2、恒星齿轮3、行星齿轮4_1～4_3、固定内齿轮5、可动内齿轮6、输出轴7、转盘8及手动操作用齿轮9。

再者，操作器100还包括根据供给自定位器的操作信号来控制驱动马达2的转动的电子电路部、电源单元等，但在图1、2中省略了它们的图示。

壳体1为用以容纳操作器100的构成零件的容器，例如由金属材料构成。

驱动马达2是由上述电子电路部(未图示)控制的电动马达。

恒星齿轮3是与驱动马达2的转轴连结、接收该转轴的转动力而转动(自转)的齿轮。

固定内齿轮5是以包围恒星齿轮3的形态固定配置、在其内周面具有轮齿的齿轮。具体而言，固定内齿轮5由板体5a和齿轮部5b构成，所述板体5a支承驱动马达2且自P方向可转动地保持行星齿轮4，所述齿轮部5b与第1齿轮部41的周围啮合。

此处，板体5a和齿轮部5b虽然能通过独立零件构成，但通过进行一体形成，可削减零件数量。

行星齿轮4_1～4_3(在进行统称的情况下，记作“行星齿轮4”)是配置在恒星齿轮3与固定内齿轮5之间、与恒星齿轮和固定内齿轮啮合、一边在恒星齿轮的周围公转一边自转的齿轮。具体来说，各行星齿轮4_1～4_3由第1齿轮部41、第2齿轮部42以及弹性变形部43构成。

第1齿轮部41是与恒星齿轮3及固定内齿轮5啮合的齿轮。第2齿轮部42是与第1齿轮部41同轴配置、与手动操作用齿轮9及可动内齿轮6啮合的齿轮。第1齿轮部41与第2齿轮部具有相同的齿数。

弹性变形部43与第1齿轮部41、第2齿轮部42一体地形成在第1齿轮部41、第2齿轮部42之间，具有比第1齿轮部41以及第2齿轮部42小的弹性系数。另外，关于弹性变形部43的详情，将于后文叙述。

可动内齿轮6是与固定内齿轮5同轴配置、在其内周面具有与行星齿轮4(第2齿轮部42)啮合的轮齿、并被设置为可转动的齿轮。如图1所示，可动内齿轮6由与第2齿轮部42啮合的齿轮部6a和可转动地支承行星齿轮4的底部6b构成。底部6b具有沿可动内齿轮6的转轴方向形成的通孔6c。

输出轴7是与可动内齿轮6连结、用以转动调节阀的阀轴的零件。如图1所示，输出轴7具有与可动内齿轮6相同的转轴，与可动内齿轮6形成为一体。

转盘8是作为手动操作单元的零件，所述手动操作单元对恒星齿轮3或行星齿轮4施加从外部施加的力作为转动力。手动操作用齿轮9是与转盘8连结、用以将经由转盘8而施加的力传递至行星齿轮4的齿轮。再者，关于手动操作用齿轮9及转盘8的详情，将于后文叙述。

此处，恒星齿轮3、行星齿轮4、固定内齿轮5及可动内齿轮6例如是由合成树脂等树脂材料(例如聚缩醛树脂)构成。此外，恒星齿轮3、行星齿轮4、固定内齿轮5及可动内齿轮6构成了一个奇异行星齿轮机构。下面，对该奇异行星齿轮机构进行详细说明。

图3为表示由恒星齿轮3、行星齿轮4、固定内齿轮5及可动内齿轮6构成的奇异行星齿轮机构的结构的立体图。

如图3所示，以与配置在奇异行星齿轮机构的中心部分的恒星齿轮3啮合的方式配置有行星齿轮4_1～4_3。进而，在行星齿轮4_1～4_3的周围固定配置有与行星齿轮4的一部分区域啮合、引导行星齿轮4_1～4_3的转动的固定内齿轮5，并且配置有与行星齿轮4的其他区域啮合且可转动的可动内齿轮6。

在上述奇异行星齿轮机构中，恒星齿轮3自驱动马达2的转轴接收转动力而转动，该转动力使得行星齿轮4_1～4_3一边自转一边沿固定内齿轮5转动(公转)。继而，可动内齿轮6接收行星齿轮4_1～4_3的转动力而转动。通过将输出轴7(阀轴)连结至该可动内齿轮6，可利用使驱动马达2的转动力较大程度地减速之后的转动力来转动输出轴7。

根据上述奇异行星齿轮机构，由于具有自锁功能，因此即便从外部对与可动内齿轮6连结的输出轴7(阀轴)施加了力，输出轴7也无法转动，或者转动需要非常大的力。因而，即便在因停电等而导致对驱动马达2的电力供给被切断的情况下，也可实质性地固定调节阀的阀开度，从而可实现调节阀的自锁功能。

如上所述，通过由恒星齿轮3、行星齿轮4、固定内齿轮5及可动内齿轮6构成的奇异行星齿轮机构，可实现调节阀的自锁功能。

另一方面，上述奇异行星齿轮机构具有不通过驱动马达2而手动转动可动内齿轮6的结构。下面，对该结构进行详细说明。

如图1所示，手动操作用齿轮9由齿轮部9a和支承部9b构成。

齿轮部9a例如具有与恒星齿轮3相同的直径及齿数，以与行星齿轮4_1～4_3的各第2齿轮部42啮合的方式与恒星齿轮3配置在同一轴上。

支承部9b支承齿轮部9a，且插入在可动内齿轮6的通孔6c内。支承部9b例如是与齿轮部9a一体形成。具体而言，支承部9b容纳在可动内齿轮6的通孔6c内，且一部分与可动内齿轮6一起突出于壳体1的外部。此外，支承部9b的一端开口、另一端形成为有底的筒状。具体而言，在支承部9b的自壳体1突出那一侧的端部形成有沿齿轮部9a的转轴方向开设的孔9c。

在孔9c内插入有转盘8的突起部8a，转盘8的突起部8a与孔9c配合。由此，手动操作用齿轮9与转盘8得以连结。

此处，孔9c和转盘8的突起部8a例如形成为俯视多边形状(例如六边形状)。

如上所述，由于手动操作用齿轮9与转盘8连结在一起，因此，例如通过手动转动转盘8，可不通过驱动马达2及恒星齿轮3而对行星齿轮直接施加转动力。由此，即便在驱动马达2已停止的状态下，也可手动操作转盘8来转动手动操作用齿轮9，由此经由行星齿轮4而转动可动内齿轮6，因此可使阀轴转动至达到所期望的阀开度的位置。另一方面，如上所述，由于是采用奇异行星齿轮机构作为操作器100的动力传递机构，因此在通过转盘8来使阀轴转动至所期望的位置后，可通过奇异行星齿轮机构的自锁功能将阀轴固定在上述位置。

接着，对形成转盘8的位置进行说明。

图4为将实施方式1的操作器100中的转盘8的周边部分放大后的立体图。

图5为从阀轴侧观察实施方式1的操作器100时的俯视图。

如图4、5所示，输出轴7形成为棒状(例如圆柱状)，具有切口部7b和槽部7a，所述切口部7b是将输出轴7的外周部的一部分沿其转轴方向切下而成，所述槽部7a沿输出轴7的转轴方向形成于输出轴7的中心部分。

转盘8配置在输出轴7的槽部7a内。具体而言，如图5所示，转盘8以如下方式配置：在俯视时，转盘8的中心与槽部7a的中心一致，并且，在俯视时，转盘8的外周部8b的一部分从槽部7a朝切口部7b突出。

通过以上述方式形成输出轴7并配置转盘8，由此，即便在像图1～5所示那样将转盘8与恒星齿轮3同轴配置的情况下，输出轴7也不会妨碍转盘8的操作，因此阀轴的手动操作较为容易。

接着，对行星齿轮4的弹性变形部43进行详细说明。

如上所述，各行星齿轮4_1～4_3具有弹性变形部43。

图6是示意性示出实施方式1所涉及的操作器中的行星齿轮4的弹性变形部43的结构的图。

如该图所示，弹性变形部43例如通过槽430来实现，该槽430沿行星齿轮4的径向(与行星齿轮4的转轴垂直的方向)形成于行星齿轮4中的第1齿轮部41和第2齿轮部42之间的外周部。

在此，构成弹性变形部43的槽430的形状并没有特别限定，如图1以及6所示，通过将槽430形成为圆弧状，加工处理变得容易。

又，弹性变形部43虽然只要形成于第1齿轮部41和第2齿轮部42之间的外周部即可，但优选为，形成于行星齿轮4的转轴方向上的第1齿轮部41的长度和第2齿轮部42的长度相等的位置。

如上所述，通过在行星齿轮4中的第1齿轮部41和第2齿轮部42之间的外周部形成弹性变形部43(槽430)，与第1齿轮部41以及第2齿轮部42相比，行星齿轮4在弹性变形部43容易相对于扭力弹性变形。

例如，考虑因由与调节阀连接的管道内的流体的脉动等所引发的不规则的流动而产生了振动等的情况。在该情况下，上述振动会导致调节阀的阀芯(阀塞)被骤然移动，从而对阀轴施加冲击力。由此，出于奇异行星齿轮机构的自锁功能的缘故，冲击力会从阀轴经由输出轴7而施加至操作器100的固定内齿轮5、可动内齿轮6及行星齿轮4。此时，如图6所示，相互反方向的力施加至行星齿轮4中的与固定内齿轮侧啮合在一起的第1齿轮部41和与可动内齿轮6啮合在一起的第2齿轮部42。即，进行扭转那样的力施加至行星齿轮4。

因此，如上所述，通过在第1齿轮部41和第2齿轮部42之间设置弹性变形部43(槽)，能够通过该部分有意图地使行星齿轮4弹性变形，从而吸收冲击力。由此，可缓和对操作器100的固定内齿轮5、可动内齿轮6、以及行星齿轮4施加的冲击力，从而可防止各齿轮的轮齿的破损。

又，同样地，例如，即便在调节阀的驱动中因异物卡入至调节阀等而骤然产生过大的扭矩上升的情况下，也可利用行星齿轮4的弹性变形部43吸收该扭矩上升所导致的冲击量，从而可防止齿轮的轮齿的破损。

另外，关于行星齿轮4，例示了与第1齿轮部41、第2齿轮部42分开形成弹性变形部43的情况对本发明进行了说明，但并不限定于此，也可以构成为使行星齿轮4整体弹性变形。

综上所述，根据实施方式1所涉及的操作器100，由于采用奇异行星齿轮机构作为动力传递机构，并且配备有对奇异行星齿轮机构的恒星齿轮3施加从外部施加的力作为转动力的手动操作单元，因此即便在因例如停电等原因而导致驱动马达2停止的状态下，也可手动操作转盘8来转动可动内齿轮6。此外，由于并非是像上述现有技术那样解除奇异行星齿轮机构的自锁功能的结构，因此在操作转盘8之后可固定阀轴。即，根据实施方式1的操作器100，一方面可实现调节阀的自锁功能，另一方面可实现阀轴的手动操作。

又，根据实施方式1所涉及的操作器100，通过在行星齿轮4设置弹性变形部43，即使在从调节阀的阀轴侧施加了冲击力的情况下，也可以通过构成奇异行星齿轮机构的行星齿轮4的形成于第1齿轮部41和第2齿轮部42之间的弹性变形部43来吸收该冲击力，所以能够防止构成奇异行星齿轮机构的各齿轮的破损。

又，根据实施方式1所涉及的操作器100，由于不是如上述的专利文献2所揭示的技术那样，采用弹性体和通过该弹性体转动固定的固定内齿轮来吸收冲击力的结构，所以可以使得固定内齿轮与壳体、板部等通用化，进一步地，由于也不需要弹性体，所以能够防止零件数量的增加。

即，根据实施方式1所涉及的操作器100，能够实现一方面抑制零件数量的增加、另一面齿轮难以破损的操作器。

又，由于弹性变形部43由形成在行星齿轮4的外周部的槽构成，因此，例如，通过对现有的行星齿轮4施加简单的加工处理，可以容易地形成弹性变形部43，能够抑制由于添加弹性变形部43而导致的制造成本的增大。进一步地，如上所述，若一体形成板体5a与齿轮部5b作为固定内齿轮5，则可进一步削减制造成本。

《实施方式2》

接下来，示出行星齿轮的弹性变形部的另一实施方式。

图7是示意性示出实施方式2所涉及的操作器中的行星齿轮的结构的立体图。

图8是示意性示出实施方式2所涉及的操作器中的行星齿轮的轮齿的结构的立体图。在图8中，示出了图7中的行星齿轮4的由参照符号4R包围的一个轮齿的放大图。

实施方式2所涉及的操作器中的行星齿轮4的弹性变形部44具有比行星齿轮4中的第1齿轮部41以及第2齿轮部42薄的齿厚。具体来说，如图8所示，弹性变形部44是通过将构成行星齿轮4的各轮齿中的一部分的区域的齿厚(轮齿的圆周方向的厚度)形成得比其他区域的齿厚薄来实现的。

图9是示意性示出实施方式2所涉及的操作器中的行星齿轮的轮齿的结构的俯视图。在该图中，示出了从图8的C方向观察构成行星齿轮4的一个轮齿时的平面结构。

如图9所示，在轮齿的圆周方向的表面4A和其背侧的表面4B上，分别在相对的位置形成槽440A、440B，由此形成具有比第1齿轮部41以及第2齿轮部42薄的齿厚的弹性变形部44。

由此，即使在从调节阀的阀轴侧施加了冲击力的情况下，与第1齿轮部41以及第2齿轮部42相比，行星齿轮4容易在弹性变形部44相对于扭力弹性变形，所以能够吸收上述冲击力。

综上所述，根据实施方式2所涉及的操作器，与实施方式1所涉及的操作器同样地，能够通过形成于第1齿轮部41和第2齿轮部42之间的弹性变形部44来缓和施加于操作器的固定内齿轮5、可动内齿轮6、以及行星齿轮4的冲击力，能够防止各齿轮的轮齿的破损。

《实施方式3》

在实施方式1、2中，示出了通过改变行星齿轮4的形状而在第1齿轮部41以及第2齿轮部42之间形成弹性变形部43、44的情形，但也可以不改变齿轮的形状地构成弹性变形部。

图10是示意性地示出实施方式3所涉及的操作器中的行星齿轮的轮齿的结构的俯视图。

如图10所示，利用弹性模量比构成1齿轮部41以及第2齿轮部的材料的弹性模量小的材料，来形成构成行星齿轮4的轮齿中的第1齿轮部41和第2齿轮部42之间的区域。例如，利用弹性率比第1齿轮部41以及第2齿轮部低的(例如，杨氏模量低的)材料来形成上述区域。

例如，在利用树脂来对行星齿轮4成形的情况下，采用含有玻璃的聚缩醛树脂来构成第1齿轮部41以及第2齿轮部42，采用聚缩醛树脂来构成弹性变形部45。由此，能够使第1齿轮部41以及第2齿轮部42与弹性变形部45之间产生弹性率之差。

由此，即使在从调节阀的阀轴侧施加了冲击力的情况下，与第1齿轮部41以及第2齿轮部42相比，行星齿轮4容易在弹性变形部45相对于扭力发生弹性变形，所以能够吸收上述冲击力。

如上所述，根据实施方式3所涉及的操作器，通过使第1齿轮部41以及第2齿轮部42与弹性变形部45的材质不同来设置弹性率之差，与上述实施方式同样地，能够在弹性变形部45缓和施加至操作器的固定内齿轮5、可动内齿轮6、以及行星齿轮4的冲击力，能够防止各齿轮的轮齿的破损。

上面，基于实施方式对本发明的发明者所做的发明进行了具体说明，但本发明并不限定于此，当然可在不脱离其主旨的范围进行各种变更。

例如，在上述实施方式中，作为通过手动操作奇异行星齿轮机构的手法，例示了与恒星齿轮3同轴地设置手动操作用齿轮9的情况，但不限定于此。

例如，如图11所示的操作器100A那样，将行星齿轮4_1～4_3载置于齿轮架13，通过手动操作连结于该齿轮架13的转盘8，由此可以经由行星齿轮4使可动内齿轮6转动。

更具体来说，如图11所示，设置由底座13a和支承部13b构成的齿轮架13来替代手动操作用齿轮9，该底座13a载置在可动内齿轮6上，支承行星齿轮4并在可动内齿轮6上转动，所述支承部13b支承底座13a，能转动地插入可动内齿轮6的通孔6c。在此，在齿轮架13的底座13a的表面形成有突起部，该突起部被插入形成于各行星齿轮4_1～4_3的中心部分(转轴)的通孔，由此各行星齿轮4_1～4_3能转动地被支承。又，在齿轮架13的支承部13b的从壳体1突出的那一侧的端部，形成有沿恒星齿轮3的转轴方向开设的、俯视时为多边形状(例如六边形状)的孔3c，转盘8的突起部8a与该孔3c配合。

由此，与采用实施方式1所示的手动操作用齿轮9的情况同样地，即使在驱动马达2已停止的状态下，也可手动操作转盘8来转动可动内齿轮6，因此能够使阀轴转动至达到所期望的阀开度的位置。

又，在上述实施方式中，例示了以独立的零件的方式将作为手动操作单元之一的转盘8与手动操作用齿轮9或者齿轮架13连结的情况，但并不限定于此，例如可以将转盘8与手动操作用齿轮9或者齿轮架13一体形成。

又，在上述实施方式中，例示了可动内齿轮6与输出轴7一体形成的情况，但并不限于此，也能以独立零件的方式分别形成齿轮6与输出轴7，并以成为同一转轴的方式连结齿轮6与输出轴7。

【符号说明】

100、100A…操作器，1…壳体，2…驱动马达，3…恒星齿轮，4_1、4_2、4_3、4…行星齿轮，5…固定内齿轮，5a…板部，5b…齿轮部，6…可动内齿轮，6a…齿轮部，6b…底部，6c…通孔，7…输出轴，7a…槽部，7b…缺口部，8…转盘，8a…突起部，8b…外周部，9…手动操作用齿轮，9a…齿轮部，9b…支承部，9c…孔，41…第1齿轮部，42…第2齿轮部，43、44、45…弹性变形部，4A、4B、4C…轮齿的表面，13…齿轮架，13a…底座，13b…支承部，430、440A、440B…槽。