真空阀的制作方法

本发明涉及一种真空阀，其包含有阀体，该阀体带有由阀座所围绕的、并具有轴线的阀开口，该真空阀还包含有关闭机构，该关闭机构可以在释放阀开口的打开位置与覆盖该阀开口、但从阀座取下的中间位置之间平行于纵向移动方向来移动，并且该关闭机构可以在中间位置与贴靠到阀座上的关闭位置之间平行于横向移动方向来移动，该真空阀还包含有承载该关闭机构的阀杆、纵向行程线性导向装置，该线性导向装置具有与该阀杆相连的纵向行程滑块和纵向行程线性导向部件，其中纵向行程滑块由纵向行程导向部件在纵向移动方向上线性可偏移地导向，该真空阀还包含有纵向行程驱动装置，其中由纵向行程驱动装置为了在该打开位置与该中间位置之间移动该关闭机构而能够相对于纵向行程导向部件来偏移纵向行程滑块，该真空阀还包含有横向行程驱动装置，以在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构。

在真空阀中为了关闭真空阀，该关闭机构首先在平行于阀杆的纵向移动方向上从打开位置偏移到中间位置，在中间位置中该关闭机构覆盖该阀开口但从阀座上取下，并然后在与纵向移动方向成角度的横向移动方向上被贴靠到该阀座上，这种真空阀也被称作l阀。

在一种不同构造方式的l阀中，该阀杆围绕与纵向移动方向垂直的轴可枢转地布置，以能够把阀板从其中间位置移动到其关闭位置以及反向移动。为了围绕该轴线来枢转该阀杆，在此可以采用连杆导轨，这比如在us6,237，892b1、us7,066,443b2或us2012/0258242a1中被公开。

在l阀中为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构，该关闭机构以与纵向移动方向成角度的、尤其直角的横向移动方向上来进行平行偏移，根据一种常规的实施方式，在承载该关闭机构的承载单元上设置有驱动元件以在中间位置与该关闭位置之间移动该关闭机构，其中该承载单元位于该真空阀的阀壳体中并设置在从该真空阀的真空区域引出的阀杆上。这种l阀的实施比如参见us6,056,266a、us6,899,316b2和us7,611,122b2。us6,056,266a和us7,611,122b2在此还涉及顺序控制，以保证该活塞-气缸单元操作的正确过程。在us8，177，190b2中公开了l阀的另一种这样的顺序控制。

在一种l阀中，该关闭机构在中间位置与关闭位置之间进行线性偏移，其中不仅用于在打开位置与中间位置之间移动该关闭机构的驱动装置、而且用于在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构的驱动装置都布置在真空外部，参见wo2010/034046a1。在纵向移动方向上可偏移地支承该阀杆的块上还设置有用于在纵向移动方向上移动该阀杆的驱动装置，该块在此还在与纵向移动方向相垂直的横向移动方向上线性可偏移，其中这种线性偏移借助在该方向上作用的活塞-气缸单元来进行。

us7,762,527b2还提供了l阀的一种实施方式，其中用于在纵向移动方向上以及在横向移动方向上线性移动该关闭机构的驱动装置布置在真空外部。一种可能的构造在此规定，用于在纵向移动方向上相对于阀壳体来移动该关闭机构的活塞-气缸单元借助线性导向装置在垂直于纵向移动方向的横向移动方向上可偏移地支承。

在wo2014/075757公开了开头所述种类的一种真空阀。该阀杆由纵向行程线性导向装置在纵向移动方向上可偏移地导向，纵向行程线性导向装置在此由与该阀杆相连接的传输件相对应的纵向行程滑块来构成，纵向行程滑块沿着杆状的导向部件可偏移地导向。该杆状导向部件在与纵向移动方向相垂直的横向移动方向上可偏移，并可以由由气动活塞-气缸单元构造的横向行程驱动装置在横向移动方向上被偏移。为了在纵向移动方向上偏移该阀杆，同样采用了气动活塞-气缸单元，其阀杆与该传输件相连接，其中这种连接实现了该传输件相对于该阀杆在横向移动方向上的可运动性。由该文件所公开的装置的缺点是具有驱动元件和导向元件的单元的相对耗费的构造，这导致真空阀造价昂贵。这种真空阀还难以有选择地采用不同种类的驱动装置。

本发明的任务是提供开头所述种类的一种改善的真空阀。根据本发明这通过具有权利要求1所述特征的一种真空阀来实现。

根据本发明的真空阀包含有一个纵向行程线性导向装置，其具有沿纵向行程导向部件平行于纵向移动方向线性可偏移导向的纵向行程滑块，纵向行程滑块与该阀杆相连接，该真空阀还包含有横向行程线性导向装置，其具有一个沿横向行程导向部件平行于倾斜移动方向线性可偏移导向的横向行程滑块，其中横向行程滑块与纵向行程线性导向装置的纵向行程导向部件相连接。为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构，横向行程滑块由横向行程驱动装置沿着横向行程导向部件来偏移。通过横向滑块与纵向行程导向部件的这种连接，在此还进行纵向行程导向部件平行于倾斜移动方向的偏移，而纵向行程滑块关于纵向行程移动方向保持其位置。从而导致纵向行程滑块平行于横向移动方向来运动，并从而导致关闭机构平行于横向移动方向来移动。

通过采用相互倾斜的线性导向装置，以在纵向移动方向和横向移动方向上实施该关闭机构的运动，实现了一种造价合理的构造。可以有利地采用标准件来进行线性导向，其在机械工程中被大量应用并且在商业上是造价合理的。用于固定这种线性导向装置的部件可以相对简单并造价合理地来构造。

另外通过本发明的构造实现了在导向单元与驱动单元关于纵向移动方向上的空间分隔，其中该导向单元具有用于在纵向移动方向上和横向移动方向上对该关闭机构的运动进行导向的导向部件，并且该驱动单元包含有纵向行程驱动装置和横向行程驱动装置。这样就实现了模块化的构造，其方式是，可以采用相同的导向单元或至少基本相同构造的导向单元与不同类型的驱动单元相结合。比如一种可能类型的驱动单元可具有气动活塞-气缸单元来作为驱动元件，另一类型的驱动单元具有电驱动的驱动单元。

在纵向移动方向与倾斜移动方向之间的角度有利地小于45°，其中与此相比更小的角度是有利的，以实现该真空阀的不是太大的构造宽度(关于横向移动方向)。在纵向移动方向与倾斜移动方向之间的角度有利地大于4°，其中与此相比更大的角度是有利的，以实现该真空阀的不是太大的构造长度(关于纵向移动方向)。在倾斜移动方向与纵向移动方向之间的角度有利地处于5°至20°之间，其中6°至12°的范围是尤其优选的。在此对于由横向行程驱动装置在横向移动方向上施加在该关闭机构上的力实现了变换。由此通过横向行程驱动装置的相对小的驱动力就可以达到在该真空阀的关闭状态下该关闭机构在该阀座上所需的压力。通过横向行程滑块基于变换而相对大的行程，还便于针对该关闭机构在该阀座上的压力来实现横向行程驱动装置的力调节或可能的行程调节。

在本发明的一种有利的实施方式中，纵向行程滑块与纵向行程驱动装置之间的连接具有平行于横向移动方向的可运动性。纵向行程驱动装置从而可以关于横向移动方向不可运动地安装。但如下一种构造也可以考虑并且是可以的，其中纵向行程驱动装置在该关闭机构和该阀杆运动时平行于横向移动方向一起随之运动。

一种符合目的的构造规定，在与该阀杆相连的连接件两侧上分别设置有一个纵向行程滑块。“两侧”在此表示与纵向移动方向垂直并且与横向移动方向垂直的方向。一个相应的纵向行程滑块在此由一个相应的纵向行程导向部件平行于纵向移动方向可偏移地导向，并且这两个纵向行程导向部件分别与一个横向行程滑块相连接，其中横向行程滑块由一个相应的横向行程导向部件平行于倾斜移动方向可偏移地导向。从而存在两个纵向行程线性导向装置和两个横向线性导向装置。

如果该倾斜移动方向位于由纵向移动方向和横向移动方向所确定的平面中，这是有利的。另外优选的是，横向移动方向与纵向移动方向相垂直，其中该阀座位于横向移动方向所垂直朝向的一个平面中。由此实现了该关闭机构垂直放置于该阀座上。但与这种垂直放置不同，优选小于20°的放置也是可接受的。

在构造简单的意义上，该阀开口的轴线优选垂直于该阀座所位于的平面。

该阀杆有利地具有一个平行于纵向移动方向的纵轴线。

本发明的一种符合目的的改进设置有一个检测装置(feststellvorrichtung)，以检测在纵向行程驱动装置和横向行程驱动装置的运行介质失效的情况下该真空阀的状态。在此在正常运行(也即纵向行程驱动装置和横向行程驱动装置的运行介质可用)中该检测装置的一个第一检测机构克服弹簧的力而远离第二检测机构，也即借助该检测装置的由运行介质所运行的执行器。在该运行介质失效时，该第一检测机构由该弹簧压向该第二检测机构，并由此阻止该关闭机构的移动。该关闭机构从而还可以在该运行介质失效时可靠地保持于关闭位置和/或打开位置。

本发明的其他优点和细节在下文中借助附图来详细解释。其中：

图1示出了根据本发明一个实施例的真空阀的斜视图；

图2示出了与图1相对应但去除了阀体的盖板和阀体盖部件的、该关闭机构处于打开位置的斜视图；

图3示出了与图2相对应的、该关闭机构处于中间位置的斜视图；

图4示出了与图2相对应的、该关闭机构处于关闭位置的斜视图；

图5示出了该关闭机构处于打开位置的视图；

图6示出了沿图5的线aa的剖视图；

图7示出了沿图5的线bb的剖视图；

图8示出了沿图5的线cc的剖视图；

图9示出了沿图5的线dd的剖视图；

图10示出了沿图5的线ee的剖视图；

图11、12和13示出了与图8、9和10类似的、但该关闭机构处于中间位置的剖视图；

图14、15和16示出了与图8、9和10类似的、但该关闭机构处于关闭位置的剖视图；

图17和18示出了该关闭机构处于打开位置时该阀杆、该线性导向装置和纵向行程驱动装置和横向行程驱动装置的部件的斜视图；

图19和20示出了与图17和18类似的、但该关闭机构处于中间位置的斜视图；

图21和22示出了与图17和18类似的、但该关闭机构处于关闭位置的斜视图；

图23示出了分解图。

在附图中示出了根据本发明的一种真空阀的实施例。

该真空阀具有阀体1，该阀体具有壁，该壁具有阀开口2，该阀开口具有轴线3。在该真空阀的关闭状态中，该阀开口2通过一个尤其板状构造的关闭机构4来关闭，那么该关闭机构就处于其关闭位置。在该关闭机构4的关闭位置中，其按压到阀座5上，其中该阀座在朝向该关闭机构4的侧面上围绕着该阀开口2。在该真空阀的打开状态中，该关闭机构4释放该阀开口2，并且该关闭机构4那么就处于其打开位置。该关闭机构4在关闭位置与打开位置之间的移动经过中间位置来进行，其中在该中间位置中该关闭机构在该阀开口2的轴线3上看覆盖了该阀开口2，但从该阀座5上取下(＝脱离)。

为了在该关闭机构4的关闭位置中在该关闭机构4与该阀体1的具有阀开口2的壁之间进行密封，采用了在该关闭机构4上所设置的弹性密封环6(比如由fkm或ffkm制成)，并且该阀座5具有密封面，其中该密封环6按压在该密封面上。原则上该密封环6也可以设置在该密封座上，并按压到该关闭机构4的密封面上。

该阀体1在该实施例中构造为壳体状的，并从而也可以被称作阀壳体，并且该关闭机构4设置在该阀体1的内室7中。该阀体1的内室7形成了该真空阀的真空区域(＝其中能够存在真空的区域)。该阀体1在另一壁上具有另一开口8，如此使得形成穿过该阀体1的通道。该通道在该实施例中在该轴线3的方向上线性延伸。

该阀体1在该实施例中还具有一个由盖部件48(其仅在图1中示出)所封闭的开口，通过该开口使维护简化。但也可以省略该开口和该盖部件48。

该阀体1可以连接到真空设备的其他部分上，比如真空室和/或管道。那么在该关闭机构4的打开位置中，该阀体1的内室7通过该阀开口2与该真空设备的第一部分的内室相连接，并且该内室7通过该开口8与该真空设备的另一部分的内室相连接。

该真空阀原则上也可以作为所谓的插件来构造，其中该阀体1在该真空阀的运行状态中在真空室的内室中设置在该真空室的壁上并相对其密封地布置，如此使得该阀开口2与该真空室的壁中的开口对准。那么就可以省略该真空阀的具有开口8的对置壁。该关闭机构4那么也设置在该真空阀的真空区域中。

该关闭机构4由阀杆9来承载，在该实施例中是通过一侧固定在阀杆上、另一侧固定在该关闭机构上的连接件(在附图中未示出)来承载。该阀杆通过在阀体1中的一个开口从该真空阀的真空区域中引出，其中它可以在其纵轴10的方向上并且还可以在与之垂直的方向上运动。为此在该实施例中采用了一个波纹管11。在此原则上也可以设置另一种真空贯通，比如另一种折叠管或一种线性贯通，其本身在垂直于贯通方向的方向上相对于阀体密封地可偏移地被安装。

在该阀杆9上在该真空区域外部刚性固定了一个连接件12。在该连接件上在相对侧上分别刚性固定了一个相应纵向行程线性导向装置13的一个纵向行程滑块14。一个相应的纵向行程滑块14由相应纵向行程线性导向装置14的纵向行程导向部件15来线性可偏移地导向，也即平行于纵向移动方向16。纵向移动方向16与该阀杆9的纵轴线10相平行。

一个相应横向行程线性导向装置17的横向行程滑块19与一个相应纵向行程线性导向装置13的纵向行程导向部件15刚性连接。该连接在该实施例中分别通过一个保持件34来实现，其中在该保持件上一侧固定有纵向行程导向部件15、另一侧固定有横向行程滑块18。但也可以省略分立的保持件34。

横向行程滑块18分别由一个横向行程导向部件19线性可偏移地导向，也即平行于倾斜移动方向20。该倾斜移动方向20与纵向移动方向16相倾斜。

横向行程导向部件19与该阀体1相刚性连接。在该实施例中横向行程导向部件19分别固定在梁21上，其中梁21固定在承载件22上，该承载件在其一侧固定在阀体1上，优选如图23所示借助旋拧连接。横向行程导向部件19与该阀体1的这种刚性连接也可以以其他方式来实现。

纵向行程线性导向装置13和横向行程线性导向装置17连同其连接和保持部件(其在该实施例中包括保持件34、梁21和承载部件22)是与该阀体1刚性连接的导向单元23的部件。

在所示的实施例中，纵向行程和横向行程导向部件15、19作为导轨来构造。纵向行程线性导向装置和横向行程线性导向装置13、17从而是导轨导向装置。以轴导向装置形式的构造也是可以考虑的并且是可以的，其中纵向行程和横向行程导向部件15、19由横截面为圆形的棒来构造。比如纵向行程和/或横向行程线性导向装置也可以借助至少一个导轨来构造，其中咬合了至少一个导向附件(销或滚子)，也即以连杆导向(kulissenführung)的方式。该导轨比如可以由长孔、槽或隆起来构造。

纵向行程线性导向装置13和横向行程线性导向装置17有利地作为滚子导向装置来构造。也可以提供作为滑动导向装置的一种构造。

借助纵向行程线性导向装置13和横向行程线性导向装置17，该关闭机构可以从打开位置经过中间位置移动到关闭位置并反向移动，这在下文中还要更详细地解释。在打开位置与中间位置之间的移动在此平行于纵向移动方向16来进行。在中间位置与关闭位置之间的移动平行于横向移动方向30来进行，横向移动方向与纵向移动方向16成角度、优选直角。

优选地横向移动方向30平行于该阀开口2的轴线3。

为了沿着纵向行程导向部件15来偏移纵向行程滑块14而采用了纵向行程驱动装置25。在该实施例中其由气动活塞-气缸单元来构造，该单元的活塞杆26与纵向移动方向16相平行，并与该连接件12相连接。这种连接在此通过一个传输件27来实现。阀杆26安置在该传输件27上。该传输件相对于该连接部件12关于纵向移动方向16不可偏移地连接，但关于横向移动方向30是可偏移的。为此设置有连接螺栓28，连接螺栓在其两端的区域中保持在该连接部件12上并横穿该连接部件12的凹陷。该连接螺栓28穿过该传输件27的通孔29，如此使得该传输件27相对于该连接螺栓28可偏移地导向。

纵向行程驱动装置25的活塞-气缸单元的气缸集成在驱动块35中，其中该气缸室由该驱动块35的凹陷构成。但也可以设置至少一个分立的活塞-气缸单元。

在该实施例中该阀杆9穿过该传输件27并具有空隙(如此实现了该关闭机构4在中间位置与关闭位置之间的移动，并从而实现了该阀杆9的随之而来的运动)。比如纵向行程驱动装置也可以包含有设置在该阀杆9两侧的两个活塞-气缸单元。

在纵向行程驱动装置25与纵向行程滑块14之间在纵向移动方向16上不可偏移的、但在横向移动方向30上可偏移的连接也可以以其他形式来实现。

另外，也可以在纵向行程驱动装置25与纵向行程滑块14之间不仅在纵向移动方向16上、而且在横向移动方向30上不可偏移地连接。纵向行程驱动装置25(连同相应的保持部件一起)那么将在该关闭机构4和该阀杆9偏移时在横向移动方向30上与其一同偏移。

为了沿着横向行程导向部件19来偏移横向行程滑块18而采用了一个横向行程驱动装置31。在该实施例中其由气动活塞-气缸单元来构成。活塞-气缸单元的活塞杆32与倾斜移动方向20相平行，并与横向行程滑块18相连接。在该实施例中，该活塞杆32在此分别固定在一个连接板33上，该连接板固定在相应纵向行程导向部件15的保持件34上。活塞杆32与横向行程滑块18的其他连接也是可以考虑并且是可以的。该连接至少关于倾斜移动方向20是不可运动的。

横向驱动装置31的活塞-气缸单元的气缸在该实施例中集成在该驱动块35中，其中相应的气缸室由该驱动块35的凹陷构成。但也可以设置分立的活塞-气缸单元。

纵向行程驱动装置25也可以具有多于一个活塞-气缸单元。横向行程驱动装置也可以具有仅一个活塞-气缸单元或具有多于两个活塞-气缸单元。

纵向行程驱动装置25和横向行程驱动装置31是一个驱动单元35的组成部分，其中该驱动单元与该导向单元23相连接。在该实施例中驱动块35安置在梁21上。在驱动单元36与该导向单元23之间的其他连接也是可考虑的并且是可以的。

为了从其打开状态来关闭该真空阀，首先相应的纵向行程滑块14由纵向行程驱动装置25沿着纵向行程导向部件15而被偏移，由此该关闭机构4平行于纵向移动方向16从其打开位置线性偏移(＝平行偏移)到其中间位置。在该关闭机构4的打开位置(参见图2、5-10、17和18)中，相应的纵向行程滑块14具有相对于相应纵向行程导向部件15的第一位置。在该关闭机构4的中间位置(参见图3、11-13、19和20)中，相应的纵向行程滑块14具有相对于相应纵向行程导向部件15的第二位置。纵向行程滑块14的第一和第二位置比如可以通过纵向行程驱动装置25的末端和/或通过止挡和/或通过路径控制来确定。

从而横向行程滑块18由横向行程驱动装置31沿着横向行程导向部件19从第一位置被偏移到第二位置，其中该第一位置由相应的横向行程滑块18相对于相应关联的横向行程导向部件19来占据，其中该第二位置由相应的横向行程滑块18相对于相应关联的横向行程导向部件19来占据。横向行程滑块18的第一和第二位置比如可以通过横向行程驱动装置31的行程末端和/或通过止挡和/或通过路径控制或力控制(这种力控制可以调节该关闭机构4在该阀座上的期望压力)来确定。在横向行程滑块18偏移时，其上设置有横向行程滑块18的纵向行程导向部件15被一同偏移。纵向行程滑块14关于纵向行程导向部件15的相对位置通过如下地变化，也即把相应的纵向行程滑块相对于纵向行程导向部件在朝向纵向行程滑块14的第一位置方向上进行偏移，其中该第一位置由纵向行程滑块14在该关闭机构4的打开位置中相对于相应关联的纵向行程导向部件15来占据。纵向行程滑块14相对于纵向移动方向16的位置在此是不变的，但纵向行程滑块14平行于横向移动方向进行平行偏移，并从而该阀杆9和该关闭机构4平行于横向移动方向30进行随之而来的平行偏移。由此该关闭机构4平行于横向移动方向从中间位置移动到关闭位置。该关闭机构4的关闭位置在图4、14-16、21和22中示出。

该关闭机构4从关闭位置到打开位置的移动以与前述相反的方式来进行。

该阀杆9关于纵向移动方向16越过纵向行程滑块14所位于的区域而在背向该关闭机构4的方向上延伸。在其纵向延伸的片段中，优选在其远离该关闭机构4的末端区域中，该阀杆9在该关闭机构4的关闭位置中支承到阀体固定地保持的止挡47上。该止挡47关于横向移动方向30位于该阀杆9的与该阀座5相同一侧上。通过阀杆9的支承，降低了在该关闭机构4的关闭位置中作用在该线性导向装置13、17上的力矩，优选至少基本取消(如果该连接部件12位于该阀杆9的中间，这是优选的)。该止挡47有利地构造为弹性的，优选具有与该密封环6类似的弹性。

该倾斜移动方向20与纵向移动方向16所夹的角37有利地小于45°并大于4°，其中在5°至20°之间的范围中的角37是优选的。比如该角37约为7.5°。

横向移动方向30位于由纵向移动方向16和横向移动方向30所确定的平面中。也就是说，该倾斜移动方向围绕与纵向移动方向16和横向移动方向30相垂直的轴线相对于纵向移动方向16旋转了角37。

为了在关闭位置中在纵向行程和横向行程驱动装置25、31的运行介质、也即在该实施例中的压缩空气失效的情况下也测定该关闭机构，采用了一种检测装置。其包含有第一检测机构38，该第一检测机构在正常运行中、也即当纵向行程和横向行程驱动装置25、31具有运行介质时借助执行器39克服弹簧40的力而与第二检测机构41相间距。该第一检测机构38在一个阀体固定的部分上、在该实施例中在梁21上克服至少一个弹簧40的力可偏移地保持，并且该第二检测机构相对于横向滑块18不可偏移地保持，在该实施例中其设置在该梁21对面的保持件34上。

该执行器39在该实施例中由一个活塞-气缸单元来构造，其气缸集成在该梁21中，并且其活塞42通过活塞杆与该第一检测机构38相连接。

在运行介质失效的情况下，该第一检测机构38由弹簧40被压到该第二检测机构41上，其中该结合面可以是摩擦面，或者也可以具有齿。当该第一检测机构38被压到该第二检测机构41上时，那么由此横向滑块18的位置相对于横向行程导向部件19是固定的。该关闭机构4从而在运行介质失效的情况下也保持按压到该阀座5上。

检测装置的变化的构造形式也是可以考虑的并且是可以的。那么就可以具有仅一个弹簧40或多于两个弹簧40。除了具有按压弹簧的构造之外，比如也可以提供具有牵引弹簧的构造。

代替地或者附加地，也可以提供一种类似构造的检测装置，以在纵向行程驱动装置25和横向行程驱动装置31的运行介质失效的情况下来将该关闭机构4固定在打开位置中。该检测装置的检测机构可以一方面设置在阀体固定的部分上，另一方面设置在与纵向行程滑块14一同运动的部分上。

为了保证横向行程滑块18沿着横向行程导向部件19同步运动，其有利地通过连接件43相互连接。该连接件在该实施例中是一个板，其与两侧的保持件34相拧接。

为了通过纵向行程驱动装置25和横向行程驱动装置31来实现正确的操作顺序而采用了顺序控制装置44(尤其参见图3和4；在图23中其被省略)。这种顺序控制装置是已知的，比如在开头所述对应于us8,177,190b2的现有技术中，并在此不再继续解释。

为了探测该关闭机构4的相应的当前位置而采用了在该驱动单元36中所设置的位置指示器(在附图中未示出)，其与触发部件45(尤其参见图23)相协作。

除了对于纵向行程驱动装置和/或横向行程驱动装置的气动驱动之外，也可以采用由其他运行介质运行的驱动装置，比如电运行式驱动装置，比如电动机、直线驱动装置等。这种电运行式驱动装置比如可以以齿条驱动装置、螺杆驱动装置等形式来构造。

可以提供利用相应驱动装置来设计构造的驱动单元36，其与该导向单元23相连接。该导向单元23在此可以针对不同种类的驱动而构造为相同的。从而在该驱动单元36与该导向单元23之间具有“分界面”。从而提供了一种模块化构造。按照所期望的驱动种类，驱动单元36的合适的模块可以与该导向单元相连接。也可以事后更换该驱动单元36，其中该驱动单元36从该导向单元23上作为整体被取下，并被替换为所期望的另一驱动单元36。

由此还大大简化了在该驱动单元中有故障的情况下或者在该导向单元中有故障的情况下对该真空阀的维护。

所示实施例的不同变化也是可以考虑的并且是可以的，而不脱离本发明的范畴。那么该关闭机构比如就可以设置在两个或多个平行的阀杆上。也可以考虑并且可以采用仅一个纵向行程线性导向装置和/或仅一个横向行程线性导向装置、或采用多于两个纵向行程线性导向装置和/或横向行程线性导向装置。

附图标记清单

1阀体

2阀开口

3轴线

4关闭机构

5阀座

6密封环

7内室

8开口

9阀杆

10纵轴线

11波纹管

12连接部件

13纵向行程线性导向装置

14纵向行程滑块

15纵向行程导向部件

16纵向移动方向

17横向行程线性导向装置

18横向行程滑块

19横向行程导向部件

20倾斜移动方向

21梁

22承载部件

23导向单元

24盖板

25纵向行程驱动装置

26活塞杆

27传输件

28连接螺栓

29通孔

30横向移动方向

31横向行程驱动装置

32活塞杆

33连接板

34保持件

35驱动块

36驱动单元

37角

38第一检测机构

39执行器

40弹簧

41第二检测机构

42活塞

43连接件

44顺序控制装置

45触发部件

46触发部件

47止挡

48盖部件