接头组件与接头装置的制作方法

本实用新型关于一种接头组件与接头装置，具体涉及一种通过阀门组件以加强阻隔流体泄漏的接头组件与接头装置。

背景技术：

接头装置被用以控制工业制程的污染，以半导体制造中的化学机械研磨制程(cmp)为例，研磨液(slurry)流经接头装置后喷洒于晶圆上以进行化学研磨，其中接头装置需要定期被卸下来做清洁保养，以维持半导体制程中的洁净程度。

研磨液一般是含固液体(solidcontainliquid)，因此，传统接头装置采用活塞对接以达到导通或不导通，且传统接头装置并未包含开关把手，来达到逆止的功能。然而，由于传统接头装置缺乏双边逆止的功能，因此容易在拆装过程中发生漏液的情形，甚至可能在液体循环回路失去控制时，无逆止功能，而导致回流的液体自容器(例如，原液桶)中溢出。再者，活塞对接的方式易造成液体残留于接口处，进而使污染的风险提高。

技术实现要素：

为了克服现有技术中不足的地方，本实用新型实施例提供一种接头组件与接头装置。所述接头组件具有阀门组件，用户可通过阀门组件的阀门控制部件以控制开关，达成液体回路双边逆止的功效。再者，阀门组件提供较佳的阻隔性，可有效降低液体残留的机率，提升各种工业制程中的洁净程度。

基于前述目的的至少其中之一，本实用新型实施例提供的接头组件包括第一基座、第一流体接口组件以及阀门组件。所述第一基座具有沿着第一基座的第一方向贯穿第一基座的上端与下端的第一镂空结构，以及沿着第一基座的第二方向贯穿第一基座的侧端的第二镂空结构，其中第一镂空结构连通于第二镂空结构。所述第一流体接口组件为中空柱体，并具有第一端与第二端。第一流体接口组件容置于第一基座的第一镂空结构并固定于第一基座，且第一镂空结构的上端暴露第一流体接口组件的第一端。所述阀门组件包括阀门部件与阀门控制部件。所述阀门部件具有第一中空流通部与第一封闭部，且阀门部件安置于第一基座的第二镂空结构内，并可旋转地固定于第一基座。所述阀门控制部件连接阀门部件，用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，使得阀门部件的第一中空流通部连通于第一流体接口组件的第二端，或使得阀门部件的第一封闭部封闭第一流体接口组件的第二端。

可选地，所述接头组件还包括第二流体接口组件，其中第二流体接口组件为中空柱体，且具有第三端与第四端。第二流体接口组件容置于第一基座的第一镂空结构并固定于第一基座，且第一镂空结构的上端暴露第二流体接口组件的第三端，其中阀门组件的阀门部件还具有第二中空流通部与第二封闭部，阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，使得阀门部件的第二中空流通部连通于第二流体接口组件的第四端，或使得阀门部件的第二封闭部封闭第二流体接口组件的第四端。

可选地，所述阀门组件更包括阀门o型内环，且阀门o型内环设置于阀门部件的第一中空流通部与第一封闭部之间，以及第二中空流通部与第二封闭部之间，以阻挡流体在第一中空流通部与第二中空流通部之间流通。

可选地，所述接头组件还包括锁紧环与环扣。所述锁紧环为环状圈体，具有套接孔与锁紧部，并通过套接孔以使锁紧环环套于第一基座的底部区域，其中所述锁紧部具有第一牙纹。所述环扣为环状圈体，套合并固定于第一基座的底部区域的凹槽。所述环扣的直径大于锁紧环的套接孔的直径，以阻挡锁紧环在环套第一基座的底部区域时脱落。

可选地，所述接头组件，还包括第一密封套环与第二密封套环。所述第一密封套环为中空柱体，具有第五端与第六端。所述第五端被容置于第一基座的第一镂空结构的下端。所述第一密封套环更具有第一密封o型环，其中第一密封o型环环套于第一密封套环的外侧并位于第五端与第六端之间。所述第二密封套环为中空柱体，具有第七端与第八端。所述第七端被容置于第一基座的第一镂空结构的下端。所述第二密封套环还具有第二密封o型环，其中第二密封o型环环套于第二密封套环的外侧并位于第七端与第八端之间。阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，使得阀门部件的第一中空流通部连通于第一密封套环的第五端与第一流体接口组件的第二端以及使得阀门部件的第二中空流通部连通于第二密封套环的第七端与第二流体接口组件的第四端，或者，使得阀门部件的第一封闭部封闭第一密封套环的第五端与第一流体接口组件的第二端以及使得阀门部件的第二封闭部封闭第二密封套环的第七端与第二流体接口组件的第四端。

可选地，所述接头组件，还包括湿气接口组件，且湿气接口组件为中空柱体。湿气接口组件容置于第一基座的第一镂空结构并固定于第一基座，且第一镂空结构的上端暴露湿气接口组件的一端。

基于前述目的的至少其中之一，本实用新型实施例提供的接头装置包括前面所述其中一个接头组件、第二基座、第一流体延伸接口组件以及锁附部件。所述第二基座具有沿着第二基座的第三方向贯穿第二基座的顶部与底部的第三镂空结构。所述第一流体延伸接口组件为中空柱体，具有第九端与第十端，第一流体延伸接口组件容置于第二基座的第三镂空结构并固定于第二基座，且第三镂空结构的顶部暴露第一流体延伸接口组件的第九端。所述锁付部件为中空柱体，用以容置与固定第二基座，具有第一锁部与第二锁部，第一锁部用以使锁附部件与第一基座彼此连接，以及第二锁部用以使锁附部件与流体容器彼此连接，其中阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，以使第一流体延伸接口组件的第九端连通或不连通第一流体接口组件的第二端。

可选地，在接头组件包括第二流体接口组件时，接头装置更包括第二流体延伸接口组件。第二流体延伸接口组件为中空柱体，并具有第十一端与第十二端。第二流体延伸接口组件容置于第二基座的第三镂空结构并固定于第二基座，第三镂空结构的顶部暴露第二流体延伸接口组件的第十一端，其中阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，以使第二流体延伸接口组件的第十一端连通或不连通第二流体接口组件的第四端。

可选地，在接头组件包括锁紧环时，第一锁部具有对应于锁紧环的第一牙纹的第一锁部牙纹，锁附部件环套并固定第二基座，并通过第一锁部的第一锁部牙纹与锁紧环的第一牙纹对应锁合。

可选地，锁附部件的第二锁部具有第二锁部牙纹，用以对应锁合流体容器的容器锁部牙纹，以使流体容器内的流体通过第一输送管流经彼此连通的第一流体延伸接口组件与第一流体接口组件。

简言之，本实用新型实施例提供的接头组件其阀门组件可降低流体流通时接口残留液体的可能性，且通过所述阀门组件可使循环回路受到开关控制，以避免回流液体过多而从流体容器溢出，故于对接头组件有需求的各种市场(例如半导体、医药、化学以及食品等制程)具有优势。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征及优点能更明显易懂，配合所附图示，做详细说明如下。

附图说明

图1a是本实用新型第一实施例的接头装置的组装后视图。

图1b是本实用新型第一实施例的接头装置的分解正视图。

图2是本实用新型第一实施例的接头装置的爆炸图。

图3是本实用新型第二实施例的接头装置用于流体容器的示意图。

具体实施方式

为充分了解本实用新型的目的、特征及功效，通过下述具体的实施例，并配合所附的图式，对本实用新型做一详细说明，说明如后。

本实用新型实施例提供一种接头组件与接头装置。所述接头组件具有第一基座、第一流体接口组件与阀门组件，且更具有锁紧环。第一基座具有第一镂空结构以容置并固定第一流体接口组件，以及具有大约垂直于第一镂空结构的第二镂空结构，以使得第二镂空结构得以容置阀门组件。通过所述锁紧环可将接头组件与锁附部件结合，进而使接头组件与第二基座、第一流体延伸接口组件连接并共同形成所述接头装置，其中，第一流体延伸接口组件是被第二基座的第三镂空结构容置与固定。所述阀门组件可被旋转以使第一流体接口组件与第一流体延伸接口组件连彼此连通(连通处还包括第一密封套环)，或者阀门组件可被旋转以阻挡与封闭第一流体接口组件与第一流体延伸接口组件，使所述二者无法连通。所述接头装置可装设于流体容器(例如，原液桶)，并通过阀门组件以控制流体容器内的流体于第一流体接口与第一流体延伸接口组件之间流通或不流通，以提供双边逆止的功效，并降低流体残留在接口的机率。

首先，请参照图1a与图1b，图1a是本实用新型第一实施例的接头装置的组装后视图，以及图1b是本实用新型第一实施例的接头装置的分解正视图。如图1a与图1b所示，接头装置1可分为上半部与下半部，上半部为接头组件2。通过接头组件2的锁紧环l201的第一牙纹与锁附部件3的第一锁部l301的第一锁部牙纹p301彼此对应锁附，可使上半部与下半部彼此连接以形成接头装置1。

接着，请参照图2，图2是本实用新型第一实施例的接头装置的爆炸图。如图2所示，接头组件2包括第一基座201、第一流体接口组件202、第二流体接口组件203以及阀门组件204。

第一基座201具有沿着其第一方向(图示的方向系由上而下)贯穿其上端与下端的第一镂空结构hh1，以及具有沿着第一基座的第二方向(图示的方向是由左至右，大约垂直于第一方向)贯穿其侧端的第二镂空结构hh2，其中，第一镂空结构hh1与第二镂空结构hh2彼此连通。第一基座201的第一镂空结构hh1用以容置并固定第一流体接口组件202与第二流体接口组件203，以及第二镂空结构hh2用以容置阀门组件204并使阀门组件204可在其内旋转。在此请注意，本实用新型不以流体接口组件202、203的数量为限制，流体接口组件也可以仅有一组或是多组，以及本实用新型也不以第一镂空结构hh1的镂空数量为限制，在不失一般性的情况下，第一镂空结构hh1的镂空数量是对应于流体接口组件的数量。

接着，请继续参照图2，所述第一流体接口组件202与第二流体接口组件203为中空柱体。第一流体接口组件202具有第一端e2021与第二端e2022，以及第二流体接口组件203具有第三端e2031与第四端e2032。当第一流体接口组件202与第二流体接口组件203容置并固定于第一基座201的第一镂空结构hh1时，第一流体接口组件202的第一端e2021与第二流体接口组件203的第三端e2031可被第一基座201的上端暴露(如图1a、图1b所示)。

接着，请继续参照图2，所述阀门组件204具有阀门部件与阀门控制部件2046。在本实用新型第一实施例中，阀门控制部件2046为手把，但本实用新型不以此为限制，其也可以是转盘或旋钮。所述阀门部件具有第一中空流通部2041、第二中空流通部2043、第一封闭部2042以及第二封闭部2044。当阀门组件204通过固定座2045及螺丝锁附并安置于第一基座201时，是将阀门部件容置于第一基座201的第二镂空结构hh2。以第一基座作为施力基座，并通过旋转阀门控制部件2046(即手把)连动控制阀门部件旋转，以使第一中空流通部2041、第二中空流通部2043、第一封闭部2042以及第二封闭部2044的方向可被调整。

当第一基座201、第一流体接口组件202、第二流体接口组件203以及阀门组件204共同组合时，可通过阀门组件204控制流体在第一流体接口组件202与第一中空流通部2041之间流通或使流体在第一流体接口组件202与第一封闭部2042之间不流通，以及控制流体在第二流体接口组件203与第二中空流通部2043之间流通或使流体在第二流体接口组件203与第一封闭部2044之间不流通。举例而言，当阀门组件204的阀门控制部件2046被旋转使阀门部件连动旋转(举例但不限制如本实用新型实施例的手把与第一流体接口组件202平行)，以使第一中空流通部2041与第一流体接口组件202的第二端e2022彼此对接时(第二中空流通部2043亦与第二流体接口组件203的第四端e2032彼此对接)，流体被允许在第一中空流通部2041与第一流体接口组件202之间流通(流体也被允许在第二中空流通部2043与第二流体接口组件203之间流通)。再者，当阀门组件204的阀门控制部件2046被旋转使阀门部件连动旋转(举例但不限制如本实用新型实施例的手把与第一流体接口组件202垂直)，以使第一封闭部2042阻挡并封闭第一流体接口组件202的第二端e2022时(第二封闭部2044亦阻挡并封闭第二流体接口组件203的第四端e2024)，流体则无法在第一中空流通部2041与第一流体接口组件202之间流通(流体亦无法在第二中空流通部2043与第二流体接口组件203之间流通)。再者，第一封闭部2042更具有第一封闭部o型环oc1，以及第二封闭部2042还具有第二封闭部o型环oc2，第一与第二封闭部o型环oc1、oc2分别用以加强两封闭部2042、2044的密合度，强化密封效果，但本实用新型不以此为限制，即第一与第二封闭部o型环oc1、oc2非必要组件。

接着，请继续参照图2，所述阀门组件204还包括阀门o型内环r2041与阀门o型外环r2042。阀门o型内环r2041紧紧环绕并设置于第一中空流通部2041与第二中空流通部2043之间(意即也存在于第一封闭部2042与第二封闭部2044之间)，以及阀门o型外环r2042紧紧环绕并设置于第一中空流通部2041与固定座2045之间。两阀门o型环r2041、r2042用以在有流体通过接头组件2时，阻隔两流体于分别流经第一中空流通部2041与第二中空流通部2043时发生泄漏。所述两阀门o型环r2041、r2042可强化流道的密合度，具有强化密封的效果。

接着，请继续参照图2，所述接头组件更包括第一密封套环205与第二密封套环206，所述二者皆为中空柱体。第一密封套环205具有第五端e2051与第六端e2052，以及第二密封套环206具有第七端e2061与第八端e2062。第一密封套环205的第五端e205与第二密封套环206的第七端e2061被容置于第一基座201的第一镂空结构hh1的下端。当第一基座201、第一流体接口组件202、第二流体接口组件203、阀门组件204、第一密封套环205与第二密封套环206共同组合，并在阀门组件204的阀门控制部件2046带动阀门部件旋转后，可使阀门部件的第一中空流通部2041连通第一密封套环205与第一流体接口组件202(第二中空流通部2043亦连通第二密封套环206与第二流体接口组件203)；或者，在阀门组件204的阀门控制部件2046带动阀门部件旋转后，可使阀门部件的第一封闭部2042封闭第一密封套环205的第五端e205(阀门部件的第二封闭部2044亦封闭第二密封套环206的第七端e2061)。所述第一密封套环205更具有第一密封o型环r205，以及第二密封套环206还具有第二密封o型环r206，两密封o型环r205、r206分别环套于两密封套环205、206的外侧，两者的功能将于后面详述。在此请注意，本实用新型不以密封套环的数量为限制，在不失一般性的情况下，密封套环的数量是对应于阀门部件的中空流通部或是流体接口组件的数量。

接着，请继续参照图2，所述接头组件更包括锁紧环l201与环扣r201。锁紧环l201与环扣r201皆为环状圈体。所述锁紧环l201具有套接孔与锁紧部，通过套接孔以使锁紧环l201环套于第一基座201的底部区域a201。所述锁紧部具有第一牙纹，在本实用新型第一实施例中，锁紧部的第一牙纹系内牙纹，但本实用新型不以此为限制，第一牙纹也可以是外牙纹。当锁紧环l201与第一基座201组合时，需通过环扣r201以固定锁紧环l201的位置。第一基座201的底部区域a201具有凹槽n201，当锁紧环l201与第一基座201组合，环扣r201被套接于第一基座201的凹槽n201，由于环扣r201的直径大于锁紧环l201的内径(例如，锁紧环l201的套接孔的直径)，因此可阻挡锁紧环l201在环套第一基座201的底部区域a201时脱落(即，挡住锁紧环l201，避免其因为重力坠下，或因为其他外部力量而自第一基座201脱离)。

在上述实施例中，接头组件2的结构已经详细地被描述。接着，请继续参照图2，本实用新型第一实施例所述的接头装置1还包括第二基座301、第一流体延伸接口组件302、第二流体延伸接口组件303与锁附部件3。

所述第二基座301具有沿着其第三方向(图示的方向系由上而下)贯穿其顶部与底部的第三镂空结构hh3。第二基座301的第三镂空结构hh3用以容置并固定第一流体延伸接口组件302与第二流体延伸接口组件303。在此请注意，本实用新型不以流体延伸接口组件302、303的数量为限制，其也可以仅有一组或是多组，以及本实用新型亦不以第三镂空结构的镂空数量为限制，在不失一般性的情况下，流体延伸接口组件与第三镂空结构的镂空数量系对应于接头组件2的流体接口组件的数量。

接着，请继续参照图2，所述第一流体延伸接口组件302与第二流体延伸接口组件303为中空柱体。第一流体延伸接口组件302具有第九端e3021与第十端e3022，以及第二流体延伸接口组件303具有第十一端e3031与第十二端e3032。当第一流体延伸接口组件302与第二流体延伸接口组件303容置并固定于第二基座301的第三镂空结构hh3时，第一流体延伸接口组件302的第九端e3021与第二流体延伸接口组件303的第十一端e3031可被第二基座301包覆于其基座内部，且第三镂空结构hh3于第二基座301顶部形成的洞口分别暴露第一流体延伸接口组件302的第九端e3021与第二流体延伸接口组件303的第十一端e3031。

当所述接头装置1的上半部(即接头组件2)欲与下半部b组合时，需通过锁附部件3以进行，其中，接头装置1的下半部b包括锁附部件3、第二基座301、第一流体延伸接口组件302与第二流体延伸接口组件303，但本实用新型不以接头装置的下半部的流体延伸接口组件的数量为限制。如图2所示，锁附部件3为中空柱体，具有第一锁部l301与第二锁部l302，其中第一锁部l301具有第一锁部牙纹p301，以及第二锁部l302具有第二锁部牙纹p302。在本实用新型第一实施例中，第一锁部牙纹p301与第二锁部牙纹p302为外牙，但本实用新型不以此为限制，其也可以是内牙，以及本实用新型也不以第一锁部l301与第二锁部l302的类型为限制。当接头装置1的上半部与下半部组合时，所述锁附部件3通过第一锁部l301的第一锁部牙纹p301与接头组件2的锁紧环l201的第一牙纹对应锁合，以使第一基座201与第二基座301连接，以及使第一流体延伸接口组件302的第九端e302接触并连通第一密封套环205，与使第二流体延伸接口组件303的第十一端e3031接触并连通第二密封套环206。再者，通过第一密封套环205的第一密封o型环r205与第二密封套环206的第二密封o型环r206可加强密封套环205、206与第二基座301紧密连接。

接着，请继续参照图2，接头装置1可更包括湿气接口组件207。所述湿气接口组件为中空柱体，其容置并固定于第一基座201的第一镂空结构hh1，以使第一镂空结构hh1的上端暴露湿气接口组件207的一端，以使湿气(举例但不限制为湿氮气)可通过湿气接口组件207于接头装置1内外流通，进而达到保湿与压力平衡的效果。

当所述接头装置1如上述第一实施例中的方式组合，以及阀门组件204被控制为连通状态时，所述第一流体接口组件202可连通阀门组件204的第一中空流通部2041、第一密封套环205与第一流体延伸接口组件302，以及第二流体接口组件303可连通阀门组件204的第二中空流通部2043、第二密封套环206与第二流体延伸接口组件303。

接着，请参照图3，图3是本实用新型第二实施例的接头装置用于流体容器的示意图。如图3所示，通过锁附部件3可使接头装置9被装设于流体容器8以进行流体的运送与管制。所述锁附部件3的第二锁部具有对应于流体容器的容器牙纹的第二锁部牙纹，锁附部件3利用第二锁部牙纹p302(示于图2)以将接头装置1锁固于流体容器8。再者，第一流体接口组件、第二流体接口组件、第一流体延伸接口组件与第二流体延伸接口组件分别连接第一输送管4、第二输送管5，第一延伸输送管6与第二延伸输送管7，以使流体容器8内的流体受到接头装置9管制以流通经过接头装置9或不流通。举例而言，当所述第一输送管4与第一延伸输送管6为流体输出管(即流体自流体容器流出)并分别与第一流体接口组件、第一流体延伸接口采无死角对接，以及第二输送管5与第二延伸输送管7为流体回流管(即流体将流入流体容器)并分别与第二流体接口组件、第二流体延伸接口采无死角对接，当接头装置9的阀门组件204被控制为连通状态时，流体通过抽取动力设备(图未示)自流体容器8内抽出，并经由流体输出管(第一输送管4与第一延伸输送管6)送达制程需求端。再者，通过流体回流管(第二输送管5与第二延伸输送管7)可将流体自制程需求端回流至流体容器8，作为流体循环，但本实用新型不以此为限制。反之，当接头装置9的阀门组件204被控制为不连通状态时，则可达到流体受双边逆止的效果。再者，当所述接头装置9还包括如同第一实施例所述的湿器接口组件时207(示于图2)，通过湿器接口组件可吹出湿气(例如但不限制为湿氮气)，以达到保湿与压力平衡的效果。所述保湿效果可避免流体的位面(例如液位)以上的流体容器内壁产生颗粒结晶。所述压力平衡可避免动力设备于抽取流体时，因流体容器内部产生负压而使流体容器受挤压破坏。

综合以上所述，相较于习知技术，本实用新型实施例所述的接头组件与接头装置的技术效果，说明如下。

习知技术中，采用活塞对接的接头组件因缺乏双边逆止功能，经常导致在拆装接头组件时发生漏液，以及容易于接口附近残留液体而造成污染。反观本实用新型实施例所述的接头组件与接头装置，可通过阀门组件控制流体是否流通，更可避免当流体的循环回路不受控制时，可保持封闭位置以避免流体泄漏。再者，本实用新型实施例所述的接头组件与接头装置更包括不同位置的多个o型环，可提升阻隔漏液的效果。

以上所述是本实用新型的较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，任何基于本实用新型技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本实用新型保护范围之内。