一种旋回式复投法兰的制作方法

本实用新型属于单晶硅制造技术领域，尤其是涉及一种旋回式复投法兰。

背景技术：

在拉制直径介于240mm-310mm的直拉单晶硅的过程中，由于直径的扩大，必须对现有常规设备进行改造，首先必须保证喉口法兰的直径满足大尺寸单晶的直径且要有一定的安全距离，就js105炉型举例来说，喉口法兰的内径远远不满足拉制大尺寸单晶的要求，所以需要对喉口法兰的内径进行外扩，但是外扩之后又不能满足现有车间复投桶法兰的要求，需要另在隔离仓上加装法兰，法兰本身重量较大，加装法兰时需要人工搬运，这样既增加了人员负重又会导致密封不严，容易造成炉内氧化的风险。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种一种旋回式复投法兰。

本实用新型采用的技术方案是：一种旋回式复投法兰，设置在隔离仓内，包括旋转柱，复投法兰和旋板阀，复投法兰和旋板阀分别通过第一连杆和第二连杆连接在旋转柱上，复投法兰和旋板阀均能覆盖隔离仓底部的炉盖通孔。

优选地，复投法兰向内侧伸出设有支撑板，支撑板为环状板或为均匀分布的突出板，突出板不少于3个。

优选地，复投法兰和旋板阀圆心到旋转柱的距离与炉盖通孔圆心到旋转柱距离相等。

优选地，炉盖通孔边缘处设有密封凸起，复投法兰和旋板阀底部设有密封槽，密封凸起和密封槽能够相互嵌合。

优选地，第一连杆和第二连杆分别连接在第一驱动环和第二驱动环上，第一驱动环和第二驱动环均可转动设置在旋转柱上，第一驱动环和第二驱动环均能够在旋转柱上圆周运动和垂直运动。

优选地，第一连杆通过螺栓固定在复投法兰外侧，第二连杆通过固定螺栓固定在旋板阀外侧。

本实用新型具有的优点和积极效果是：本方案适合不同尺寸大尺寸单晶的拉制，既能够有效解决隔离仓上沿外加复投法兰带来的不便，又能够有效实现密封，减少复投过程中如密封不严造成的炉内氧化，通过自动化代替人工操作，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例结构示意图；

图2是本实用新型一个实施例旋转柱结构示意图。

图中：

1、旋转柱11、第一驱动环12、第二驱动环

13、第一连杆14、第二连杆2、复投法兰

21、突出板3、旋板阀4、炉盖通孔

41、密封凸起42、密封槽5、隔离仓

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的一个实施例做出说明。

如图1所示，本实用新型涉及一种旋回式复投法兰2，设置在隔离仓5内，隔离仓5连接炉盖，隔离仓5与炉盖连接处设有炉盖通孔4，旋回式复投法兰2包括旋转柱1，复投法兰2和旋板阀3，旋转柱1设置在炉盖通孔4的后侧，复投法兰2和旋板阀3分别设置在隔离仓5两边，复投法兰2和旋板阀3分别通过第一连杆13和第二连杆14连接在旋转柱1上，并能够在旋转柱1上转动，使得复投法兰2和旋板阀3均能覆盖隔离仓5底部的炉盖通孔4。使用时，在复投时旋开板状的旋板阀3，旋回复投法兰2，放置好复投桶，通过复投法兰2固定复投桶进行复投料，复投完成后旋开复投法兰2，旋回旋板阀3，保持炉内密封，防止氧化。

为了克服增大的法兰内径不能匹配现有复投桶，复投法兰2向内侧伸出设有支撑板，支撑板为环状板或为均匀分布的突出板21，突出板21不少于3个，从而保持复投法兰2受力均匀，能够稳定支撑复投桶。复投法兰2和旋板阀3圆心到旋转柱1的距离与炉盖通孔4圆心到旋转柱1距离相等，使得复投法兰2和旋板阀3只需要转动就能够移动到炉盖通孔4的上方，方便操作。如图2所示，第一连杆13和第二连杆14分别连接在第一驱动环11和第二驱动环12上，第一驱动环11和第二驱动环12均可转动设置在旋转柱1上，第一驱动环11和第二驱动环12均能够在旋转柱1上圆周运动和垂直运动，第一连杆13、第二连杆14、第一驱动环11和第二驱动环12均可通过现有机械手技术实现，通过控制第一驱动环11和第二驱动环12的转动和移动，通过第一连杆13和第二连杆14的带动实现复投法兰2和旋板阀3的转动和移动。只需要自动化操作即可实现复投法兰2和旋板阀3的替换，替代了人力投入，节约了人力成本，也提高了工作效率。第一连杆13通过螺栓固定在复投法兰2外侧，第二连杆14通过固定螺栓固定在旋板阀3外侧，当用于不同尺寸的复投桶时，只需要更换复投法兰2即可。

为了保证炉内密封性，炉盖通孔4边缘处设有密封凸起41，复投法兰2和旋板阀3底部设有密封槽42，密封凸起41和密封槽42形状匹配，能够相互嵌合。复投法兰2或旋板阀3移动时，先通过第一驱动环11和第二驱动环12的圆周移动实现位置变化，使其移动到炉盖通孔4上方，再向下移动复投法兰2或旋板阀3，通过密封突起和密封槽42的嵌合，实现密封作用，移走复投法兰2或旋板阀3时先将其向上提起，使得密封突起和密封槽42脱离，再进行圆周移动。复投时，现将阻隔密封炉盖通孔4的旋板阀3旋开，旋回复投法兰2，复投完成后，旋开复投法兰2，旋回旋板阀3，这一系列操作在隔离仓5内快速完成，最大限度保证复投料过程中炉体密封状态，防止炉内氧化。

实施例1：

一种旋回式复投法兰2，设置在隔离仓5内，包括旋转柱1，复投法兰2和旋板阀3，复投法兰2和旋板阀3分别通过第一连杆13和第二连杆14连接在旋转柱1上，第一连杆13通过螺栓固定在复投法兰2外侧，第二连杆14通过固定螺栓固定在旋板阀3外侧，第一连杆13和第二连杆14分别连接在第一驱动环11和第二驱动环12上，第一驱动环11和第二驱动环12均可转动设置在旋转柱1上，第一驱动环11和第二驱动环12均能够在旋转柱1上圆周运动和垂直运动，复投法兰2和旋板阀3均能覆盖隔离仓5底部的炉盖通孔4，复投法兰2和旋板阀3圆心到旋转柱1的距离与炉盖通孔4圆心到旋转柱1距离相等。

复投法兰2向内侧伸出设有支撑板，支撑板为环状板或为均匀分布的突出板21，突出板21包括3个。炉盖通孔4边缘处设有密封凸起41，复投法兰2和旋板阀3底部设有密封槽42，密封凸起41和密封槽42能够相互嵌合。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

技术特征：

1.一种旋回式复投法兰，其特征在于：设置在隔离仓内，包括旋转柱，复投法兰和旋板阀，所述复投法兰和所述旋板阀分别通过第一连杆和第二连杆连接在所述旋转柱上，所述复投法兰和所述旋板阀均能覆盖所述隔离仓底部的炉盖通孔。

2.根据权利要求1所述的旋回式复投法兰，其特征在于：所述复投法兰向内侧伸出设有支撑板，所述支撑板为环状板或为均匀分布的突出板，所述突出板不少于3个。

3.根据权利要求2所述的旋回式复投法兰，其特征在于：所述复投法兰和所述旋板阀圆心到所述旋转柱的距离与炉盖通孔圆心到旋转柱距离相等。

4.根据权利要求3所述的旋回式复投法兰，其特征在于：所述炉盖通孔边缘处设有密封凸起，所述复投法兰和所述旋板阀底部设有密封槽，所述密封凸起和所述密封槽能够相互嵌合。

5.根据权利要求3所述的旋回式复投法兰，其特征在于：所述第一连杆和所述第二连杆分别连接在第一驱动环和第二驱动环上，所述第一驱动环和所述第二驱动环均可转动设置在所述旋转柱上，所述第一驱动环和所述第二驱动环均能够在所述旋转柱上圆周运动和垂直运动。

6.根据权利要求1-5中任一所述的旋回式复投法兰，其特征在于：所述第一连杆通过螺栓固定在所述复投法兰外侧，所述第二连杆通过固定螺栓固定在所述旋板阀外侧。

技术总结
本实用新型涉及一种旋回式复投法兰，设置在隔离仓内，包括旋转柱，复投法兰和旋板阀，复投法兰和旋板阀分别通过第一连杆和第二连杆连接在旋转柱上，复投法兰和旋板阀均能覆盖隔离仓底部的炉盖通孔，复投法兰向内侧伸出设有支撑板，支撑板为环状板或为均匀分布的突出板，突出板不少于3个。本实用新型的有益效果是：本方案适合不同尺寸大尺寸单晶的拉制，既能够有效解决隔离仓上沿外加复投法兰带来的不便，又能够有效实现密封，减少复投过程中如密封不严造成的炉内氧化，通过自动化代替人工操作，提高了工作效率。

技术研发人员：韩凯;张文霞;武志军;霍志强;郭谦;郭志荣;张石晶;钟旭;王胜利;景吉祥;赵志远;高润飞;谷守伟;王永青
受保护的技术使用者：内蒙古中环光伏材料有限公司
技术研发日：2019.09.04
技术公布日：2020.05.29