1.一种用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，包括：
环状垫片本体；
分别设置在所述环状垫片本体两侧面的弹性凸起组，所述弹性凸起组包括多个弹性凸起，两侧面的所述弹性凸起均围设在环状垫片本体内圈的周围；各所述弹性凸起的顶端至所述环状垫片本体侧面的距离均相等。
2.如权利要求1所述的用于高能光源真空管道的法兰组件的密封垫片，其特征在于，所述环状垫片本体一侧面的各所述弹性凸起与所述环状垫片本体另一侧面的各所述弹性凸起均等间距设置，且所述环状垫片本体一侧面的各所述弹性凸起与所述环状垫片本体另一侧面的各所述弹性凸起的位置一一对应。
3.如权利要求1所述的用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，所述弹性凸起为l型结构，所述l型结构的弹性凸起包括：第一翅片和第二翅片；所述第一翅片的一端固设于环状垫片本体内圈的周围，所述第一翅片的另一端与所述第二翅片的一端连接。
4.如权利要求3所述的用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，所述第一翅片的一端固设于环状垫片本体内圈周向的边沿，且所述第一翅片朝向所述环状垫片本体中心线方向的面与环状垫片本体内圈的周向面在同一平面内。
5.如权利要求3所述的用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，所述第一翅片和所述第二翅片的厚度均为0.1mm。
6.如权利要求1所述的用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，还包括：设于所述环状垫片本体上的至少两个定位通孔，真空管道法兰盘端面的相应位置上设有与所述定位通孔对应的定位槽，定位销穿设在所述定位通孔和与所述定位通孔对应的定位槽中。
7.如权利要求6所述的用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，所述定位通孔设置有两个，两个所述定位通孔关于所述环状垫片本体的中心线轴对称。
8.如权利要求7所述的用于高能光源真空管道法兰组件的密封垫片，其特征在于，所述环状垫片本体包括外环状垫片和内环状垫片，所述内环状垫片的外圈套设在所述外环状垫片的内圈内；所述环状垫片本体的内圈为所述内环状垫片的内圈，所述多个弹性凸起围设在所述内环状垫片的内圈周围。所述至少两个定位通孔设置在所述外环状垫片上。
9.一种用于高能光源真空管道的法兰组件，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的用于高能光源真空管道的法兰组件的密封垫片，和两法兰盘；一法兰盘安装在一真空管道的一端，另一法兰盘安装在另一真空管道的一端，一法兰盘与另一法兰盘连接以将一真空管道和另一真空管道连接；所述密封垫片位于所述一法兰盘和所述另一法兰盘之间；两所述法兰盘的端面均设有一圈凸棱，所述凸棱的周向大小小于所述密封垫片的周向大小；所述弹性凸起的顶端至所述环状垫片本体侧面的距离基本等于所述一圈凸棱的顶端至所述法兰盘的端面之间的距离。
10.如权利要求9所述用于高能光源真空管道的法兰组件，其特征在于，所述环状垫片本体外圈的周向大小小于等于真空管道法兰盘的外圈周向大小，所述环状垫片本体的内圈周向大小和形状与真空管道法兰盘的内圈周向大小和形状均一致。