旋转接头和硅片处理装置的制作方法

本实用新型涉及流体输送技术领域，具体而言，涉及一种旋转接头和一种硅片处理装置。

背景技术：

旋转接头的应用领域十分广泛，几乎覆盖各行各业，如机床、冶金、塑料、发电、食品加工等行业，主要通的流体介质液是一些切削液，流体介质本身对旋转接头没有腐蚀性。但有很多需要用到化学药品的行业，如光伏和半导体行业，其输送流体介质的接头、管道有着严格的洁净度要求，且用的流体介质大多是有腐蚀性的化学药品，致使接头被化学药品腐蚀发生泄漏，并且当前密封结构在接头转轴频繁转动的情况下极易发生磨损，同样导致了药液的泄漏，如果发生泄漏则会产生严重的后果。

因此，如何设计出一种可有效抵抗转动摩擦和药液腐蚀的旋转接头成为了亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一方面提出一种旋转接头。

本实用新型的第二方面提出一种硅片处理装置。

有鉴于此，本实用新型的第一方面提供了一种旋转接头，旋转接头包括：轴承座，轴承座内设置有轴孔和进液腔，轴孔和进液腔相连通，轴孔的孔壁上设置有密封槽；转轴，设置于轴孔中，转轴内设置有通道，通道与进液腔相连通；密封件，位于密封槽内，密封件包括：耐磨圈，套设于转轴上；密封圈，套设于耐磨圈上。

在该技术方案中，限定了一种旋转接头，旋转接头包括轴承座、转轴和密封件，其中密封件包括耐磨圈和密封圈。轴承座为旋转接头的主体框架结构，旋转接头上的其他结构定位安装在轴承座上，轴承座内设置有相连通的进液腔和轴孔，轴孔用于定位安装轴承座，且转轴内开设有通道，需要传输的液体进入进液体腔体后流入转轴的通道中。轴孔的孔壁上设置有密封槽，用于定位安装密封件，密封件密封转轴和轴孔之间的缝隙，避免液体由该缝隙泄漏。在此基础上，密封件由密封圈和耐磨圈组成，耐磨圈套设在转轴上，密封圈套设在耐磨圈上，以使耐磨圈在密封圈和转轴之间，其中密封圈封堵密封槽，防止液体流过密封槽，耐磨圈与转动的转轴接触配合。

通过设置耐磨圈可以借助耐磨圈所具备的耐磨特性降低密封件在工作过程中的磨损量。避免出现因频繁转动的转轴磨损密封件所引起的液体泄漏现象。并且通过设置耐磨圈结构可以显著提升密封件的使用寿命，削减旋转结构的维护成本，提升产品的整体使用寿命。进而实现优化旋转接头结构，提升旋转接头密封可靠性，延长旋转接头使用寿命，提升用户使用体验的技术效果。

另外，本实用新型提供的上述旋转接头还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，耐磨圈为聚四氟乙烯耐磨圈，密封圈为氟橡胶密封圈。

在该技术方案中，对耐磨圈和密封圈的材质做出了具体限定。其中耐磨圈为聚四氟乙烯耐磨圈，密封圈为氟橡胶密封圈。聚四氟乙烯具有优良的耐磨性和抗腐蚀性，通过选取聚四氟乙烯制备耐磨圈可以从材质上提升耐磨圈的耐磨性和抗腐蚀性，避免耐磨圈因磨损和腐蚀丧失密封效果。氟橡胶具备优良的抗腐蚀性，通过选取氟橡胶制备密封圈可以从材质上提升密封圈的抗腐蚀性，避免密封圈因腐蚀丧失密封效果，并且，氟橡胶具备优良的弹性，可以有效填充转轴和轴承座之间的缝隙。进而实现优化密封件结构，提升密封件耐磨性和抗腐蚀性，强化密封件密封可靠性的技术效果。

在上述任一技术方案中，优选地，耐磨圈的外周侧面上设置有定位槽，密封圈嵌设于定位槽中。

在该技术方案中，对耐磨圈和密封圈之间的配合关系做出了具体限定。耐磨圈的内周侧面与转轴相接触，外周侧面上设置有凹槽形状的定位槽，该定位槽的形状与密封圈的形状相适配，装配过程中将密封圈嵌入至定位槽内，以完成密封件的装配。通过设置定位槽可以提升耐磨圈和密封圈的结构稳定性，避免密封圈在工作过程中相对耐磨圈错位甚至脱落。进而实现优化密封件结构，提升密封件密封可靠性的技术效果。

在上述任一技术方案中，优选地，转轴的周侧面上设置有第一进液口，第一进液口与通道相连通；转轴的端面上设置有出液口，出液口与通道相连通；其中，第一进液口为多个，多个第一进液口均匀分布在以转轴轴线为轴的同一个分度圆上。

在该技术方案中，对转轴的结构做出了具体限定。转轴上开设有第一进液口和出液口，第一进液口开设在转轴的周侧面上，与通道相连通。出液口开设在转轴的端面上，与通道相连通。工作过程中，液体从进液腔经由转轴侧边的第一进液孔流入通道，其后经由转轴端部的出液口流出通道。从而使转轴内部的通道可传输液体。具体地，第一进液口为多个，多个第一进液口均匀分布在以转轴为轴线的同一个分度圆上，通过在转轴的周侧面均匀开设多个第一进液口，一方面可以提升通道的液体传输效率，另一方面可以通过均分分布的第一进液口避免液体在通道内出现紊乱现象，防止排出的液体出现湍流和紊流。进而实现优化转轴结构，提升转轴输送液体的实用性与可靠性，提升用户使用体验的技术效果。

在上述任一技术方案中，优选地，轴孔为通孔，转轴穿设在轴孔中；进液腔环绕轴孔设置；密封槽为多个，在轴孔的轴线方向上，进液腔位于多个密封槽之间。

在该技术方案中，限定了一种轴承座结构，该结构中，轴孔为通孔，完成转轴的装配后，转轴穿设在轴孔中，转轴的两端穿出轴承座。其中进液腔环绕轴孔设置，完成装配后转轴侧面上的第一进液口与进液腔相对，便于液体经由进液腔流入转轴内部的通孔中。在此基础上，由第一进液口至转轴的两个端面的方向上均设置有密封槽和密封件，通过在进液腔的两侧设置用于定位安装密封件的密封槽，可以有效避免液体由轴承座和转轴之间的缝隙泄漏。进而实现提升旋转接头密封可靠性的技术效果。

具体地，在进液腔的单侧方向上可设置多个密封槽，优选两个密封槽，两个密封槽之间间隔设置，通过在进液腔的单侧方向上设置两个密封槽，实现了旋转接头的双重密封，进一步提升旋转接头的密封可靠性。

在上述任一技术方案中，优选地，轴承座的周侧面上设置有第一流体入口，第一流体入口与进液腔相连通；轴承座上设置有环绕通孔设置的第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽分别设置在轴承座的两个端面上；旋转接头还包括：第一轴承，设置于第一定位槽内；第一端盖，与轴承座相连接，第一轴承与第一定位槽和第一端盖相抵接；第二轴承，设置于第二定位槽内；第二端盖，与轴承座相连接，第二轴承与第二定位槽和第二端盖相抵接，转轴穿过第二端盖。

在该技术方案中，承接上一技术方案，进一步限定了该结构下旋转接头的结构。轴承座的周侧面上设置有第一流体入口，第一流体入口与进液腔相连通，工作过程中液体从第一流体入口流入旋转接头内部，由转轴上的出液口排出旋转接头。

旋转接头上还设置有第一轴承和第二轴承，在通孔的两个端面上开设有第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽环绕轴孔设置，第一轴承套设在转轴的一端上，且定位安装在第一定位槽内，第二轴承套设在转轴的另一端上，且定位安装在第二定位槽内。通过设置第一定位槽和第二定位槽可以将第一轴承和第二轴承精准定位在轴承座上，防止第一和轴承和第二轴承在工作过程中窜动，并且通过精准定位第一轴承和第二轴承还可实现转轴的精准定位。

在此基础上旋转接头还设置有第一端盖和第二端盖，第一端盖扣合在通孔的一端并封堵通孔，第一轴承的一个端面与第一端盖相抵靠，第一轴承的另一端面与第一定位槽相抵靠。第二端盖扣合在通孔的另一端上，第二端盖穿设在转轴上，第二轴承的一个端面与第二端盖相抵靠，第二轴承的另一端面与第二定位槽相抵靠。通过设置第一端盖和第二端盖可以将第一轴承和第二轴承紧压在轴承座上，从而进一步提升第一轴承和第二轴承的定位可靠性。

在上述任一技术方案中，优选地，旋转接头，轴孔为盲孔，部分进液腔环绕盲孔设置；密封槽设置于进液腔和盲孔的开口之间；转轴上设置有第二进液口，第二进液口位于与出液口所在端面相对的另一端面上。

在该技术方案中，限定了另一种轴承座结构，该结构中，轴孔为盲孔，完成转轴的装配后，转轴部分穿入至轴孔中，其中部分进液腔位于转轴的周侧，部分进液体腔位于转轴的端侧，穿入轴孔的转轴端部开设有第二进液口，进液腔中的液体经由第一进液口和第二进液口流入，转轴内的通道中。该轴承座结构中，转轴传入轴承座且不贯穿轴承座，其密封面较小，可降低泄漏可能性。进液腔包裹转轴的一端可以便于液体流入转轴内部。

在上述任一技术方案中，优选地，轴承座上设置有至少一个第二流体入口，第二流体入口位于与盲孔开设端面相对的另一端面上，第二流体入口与进液腔相连通；轴承座上设置有环绕盲孔设置的第三定位槽，第三定位槽和盲孔位于同一端面上；旋转接头还包括：第三轴承，设置于第三定位槽内；第三端盖，与轴承座相连接，第三轴承与第三定位槽和第三端盖相低接，转轴穿过第三端盖。

在该技术方案中，承接上一技术方案，进一步限定了第二种轴承座结构下所对应的旋转接头的具体结构。该结构中，轴承座上还设置有第二流体入口，第二流体入口设置在盲孔开设端面的另一端面上，与进液腔相连通，第二流体入口与转轴上的第二进液口相对应，部分液体经由第二流体入口流入进液腔。其中第二流体入口可以为多个。

旋转接头上还设置有第三定位槽，第三定位槽与轴孔开设在同一端面上，且第三定位槽环绕轴孔设置。第三轴承套设在转轴上，且第三轴承放置在第三定位槽内。在此基础上，第三端盖扣合在轴孔上，转轴穿设在第三端盖上，第三轴承的一个端面与第三定位槽相抵靠，第三轴承的另一个端面与第三端盖相抵靠。通过设置第三定位槽和第三端盖，可以将第三轴承精准定位在轴承座上，避免第三轴承在工作过程中错位，从而借助第三轴承精准定位转轴。进而实现优化旋转接头结构，提升旋转接头工作可靠性的技术效果。

在上述任一技术方案中，优选地，轴承座为聚丙烯轴承座、聚偏氟乙烯轴承座或聚醚醚酮轴承座。

在该技术方案中，轴承座为聚丙烯轴承座、聚偏氟乙烯轴承座或聚醚醚酮轴承座，聚丙烯、聚偏氟乙烯、聚醚醚酮具备优良的抗腐蚀性和耐磨性，通过选取聚丙烯、聚偏氟乙烯、聚醚醚酮制备轴承座一方面可以避免轴承座被液体腐蚀，另一方面可保证轴承座长期有效的工作，防止液体因轴承座磨损而泄漏。

本实用新型的第二方面提供了一种硅片处理装置，硅片处理装置包括：箱体，箱体内设置有工作腔；如上述任一技术方案中的旋转接头，旋转接头设置于工作腔中；储液装置，储液装置上设置有储液腔；管路，管路的两端分别连接储液装置和轴承座，管路连通储液腔和进液腔；驱动装置，与转轴相连接，驱动装置驱动转轴转动。

在该技术方案中，限定了使用上述任一技术方案中的旋转结构的硅片处理装置。硅片处理装置包括箱体、储液装置、管路和驱动装置。箱体内设置有工作腔，硅片在工作腔内完成指定工艺步骤。储液装置上设置有储液腔，储液腔通过管路与旋转接头的进液腔相连通，旋转接头设置在工作腔中，驱动装置与旋转接头上的转轴相连接，以驱动转轴转动。工作过程中，储液腔中存储有清洗液，在完成硅片的工艺处理后，清洗液经由管路流入旋转接头，最终从旋转结构上的出液口喷淋至工作腔的内壁上，以清洗工作腔，清洗过程中驱动装置驱动转轴转动，以改变清洗液的喷淋方向，避免出现喷淋死角，从而提升清洗可靠性。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的旋转接头的结构示意图；

图2示出了如图1所示的旋转接头在a处的局部放大图；

图3示出了根据本实用新型的一个实施例的硅片处理装置的另一个结构示意图；

图4示出了根据本实用新型的一个实施例的转轴的结构示意图；

图5示出了根据本实用新型的另一个实施例的旋转接头的结构示意图。

其中，图1至图5中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1旋转接头，10轴承座，102进液腔，104第一流体入口，106第二流体入口，20转轴，202通道，204第一进液口，206出液口，208第二进液口，30密封件，302耐磨圈，304密封圈，40第一轴承，42第二轴承，44第三轴承，50第一端盖，52第二端盖，54第三端盖。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图5描述根据本实用新型一些实施例的旋转接头1和硅片处理装置。

如图1和图2所示，在本实用新型的第一方面实施例中，提供了一种旋转接头1，旋转接头1包括：轴承座10，轴承座10内设置有轴孔和进液腔102，轴孔和进液腔102相连通，轴孔的孔壁上设置有密封槽；转轴20，设置于轴孔中，转轴20内设置有通道202，通道202与进液腔102相连通；密封件30，位于密封槽内，密封件30包括：耐磨圈302，套设于转轴20上；密封圈304，套设于耐磨圈302上。

在该实施例中，限定了一种旋转接头1，旋转接头1包括轴承座10、转轴20和密封件30，其中密封件30包括耐磨圈302和密封圈304。轴承座10为旋转接头1的主体框架结构，旋转接头1上的其他结构定位安装在轴承座10上，轴承座10内设置有相连通的进液腔102和轴孔，轴孔用于定位安装轴承座10，且转轴20内开设有通道202，需要传输的液体进入进液体腔体后流入转轴20的通道202中。轴孔的孔壁上设置有密封槽，用于定位安装密封件30，密封件30密封转轴20和轴孔之间的缝隙，避免液体由该缝隙泄漏。在此基础上，密封件30由密封圈304和耐磨圈302组成，耐磨圈302套设在转轴20上，密封圈304套设在耐磨圈302上，以使耐磨圈302在密封圈304和转轴20之间，其中密封圈304封堵密封槽，防止液体流过密封槽，耐磨圈302与转动的转轴20接触配合。

通过设置耐磨圈302可以借助耐磨圈302所具备的耐磨特性降低密封件30在工作过程中的磨损量。避免出现因频繁转动的转轴20磨损密封件30所引起的液体泄漏现象。并且通过设置耐磨圈302结构可以显著提升密封件30的使用寿命，削减旋转结构的维护成本，提升产品的整体使用寿命。进而实现优化旋转接头1结构，提升旋转接头1密封可靠性，延长旋转接头1使用寿命，提升用户使用体验的技术效果。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，耐磨圈302为聚四氟乙烯耐磨圈302，密封圈304为氟橡胶密封圈304。

在该实施例中，对耐磨圈302和密封圈304的材质做出了具体限定。其中耐磨圈302为聚四氟乙烯耐磨圈302，密封圈304为氟橡胶密封圈304。聚四氟乙烯具有优良的耐磨性和抗腐蚀性，通过选取聚四氟乙烯制备耐磨圈302可以从材质上提升耐磨圈302的耐磨性和抗腐蚀性，避免耐磨圈302因磨损和腐蚀丧失密封效果。氟橡胶具备优良的抗腐蚀性，通过选取氟橡胶制备密封圈304可以从材质上提升密封圈304的抗腐蚀性，避免密封圈304因腐蚀丧失密封效果，并且，氟橡胶具备优良的弹性，可以有效填充转轴20和轴承座10之间的缝隙。进而实现优化密封件30结构，提升密封件30耐磨性和抗腐蚀性，强化密封件30密封可靠性的技术效果。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图2所示，优选地，耐磨圈302的外周侧面上设置有定位槽，密封圈304嵌设于定位槽中。

在该实施例中，对耐磨圈302和密封圈304之间的配合关系做出了具体限定。耐磨圈302的内周侧面与转轴20相接触，外周侧面上设置有凹槽形状的定位槽，该定位槽的形状与密封圈304的形状相适配，装配过程中将密封圈304嵌入至定位槽内，以完成密封件30的装配。通过设置定位槽可以提升耐磨圈302和密封圈304的结构稳定性，避免密封圈304在工作过程中相对耐磨圈302错位甚至脱落。进而实现优化密封件30结构，提升密封件30密封可靠性的技术效果。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图4所示，转轴20的周侧面上设置有第一进液口204，第一进液口204与通道202相连通；转轴20的端面上设置有出液口206，出液口206与通道202相连通；其中，第一进液口204为多个，多个第一进液口204均匀分布在以转轴20轴线为轴的同一个分度圆上。

在该实施例中，对转轴20的结构做出了具体限定。转轴20上开设有第一进液口204和出液口206，第一进液口204开设在转轴20的周侧面上，与通道202相连通。出液口206开设在转轴20的端面上，与通道202相连通。工作过程中，液体从进液腔102经由转轴20侧边的第一进液孔流入通道202，其后经由转轴20端部的出液口206流出通道202。从而使转轴20内部的通道202可传输液体。具体地，第一进液口204为多个，多个第一进液口204均匀分布在以转轴20为轴线的同一个分度圆上，通过在转轴20的周侧面均匀开设多个第一进液口204，一方面可以提升通道202的液体传输效率，另一方面可以通过均分分布的第一进液口204避免液体在通道202内出现紊乱现象，防止排出的液体出现湍流和紊流。进而实现优化转轴20结构，提升转轴20输送液体的实用性与可靠性，提升用户使用体验的技术效果。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图3所示，轴孔为通孔，转轴20穿设在轴孔中；进液腔102环绕轴孔设置；密封槽为多个，在轴孔的轴线方向上，进液腔102位于多个密封槽之间。

在该实施例中，限定了一种轴承座10结构，该结构中，轴孔为通孔，完成转轴20的装配后，转轴20穿设在轴孔中，转轴20的两端穿出轴承座10。其中进液腔102环绕轴孔设置，完成装配后转轴20侧面上的第一进液口204与进液腔102相对，便于液体经由进液腔102流入转轴20内部的通孔中。在此基础上，由第一进液口204至转轴20的两个端面的方向上均设置有密封槽和密封件30，通过在进液腔102的两侧设置用于定位安装密封件30的密封槽，可以有效避免液体由轴承座10和转轴20之间的缝隙泄漏。进而实现提升旋转接头1密封可靠性的技术效果。

具体地，在进液腔102的单侧方向上可设置多个密封槽，优选两个密封槽，两个密封槽之间间隔设置，通过在进液腔102的单侧方向上设置两个密封槽，实现了旋转接头1的双重密封，进一步提升旋转接头1的密封可靠性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，轴承座10的周侧面上设置有第一流体入口104，第一流体入口104与进液腔102相连通；轴承座10上设置有环绕通孔设置的第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽分别设置在轴承座10的两个端面上；旋转接头1还包括：第一轴承40，设置于第一定位槽内；第一端盖50，与轴承座10相连接，第一轴承40与第一定位槽和第一端盖50相抵接；第二轴承42，设置于第二定位槽内；第二端盖52，与轴承座10相连接，第二轴承42与第二定位槽和第二端盖52相抵接，转轴20穿过第二端盖52。

在该实施例中，承接上一实施例，进一步限定了该结构下旋转接头1的结构。轴承座10的周侧面上设置有第一流体入口104，第一流体入口104与进液腔102相连通，工作过程中液体从第一流体入口104流入旋转接头1内部，由转轴20上的出液口206排出旋转接头1。

旋转接头1上还设置有第一轴承40和第二轴承42，在通孔的两个端面上开设有第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽环绕轴孔设置，第一轴承40套设在转轴20的一端上，且定位安装在第一定位槽内，第二轴承42套设在转轴20的另一端上，且定位安装在第二定位槽内。通过设置第一定位槽和第二定位槽可以将第一轴承40和第二轴承42精准定位在轴承座10上，防止第一和轴承和第二轴承42在工作过程中窜动，并且通过精准定位第一轴承40和第二轴承42还可实现转轴20的精准定位。

在此基础上旋转接头1还设置有第一端盖50和第二端盖52，第一端盖50扣合在通孔的一端并封堵通孔，第一轴承40的一个端面与第一端盖50相抵靠，第一轴承40的另一端面与第一定位槽相抵靠。第二端盖52扣合在通孔的另一端上，第二端盖52穿设在转轴20上，第二轴承42的一个端面与第二端盖52相抵靠，第二轴承42的另一端面与第二定位槽相抵靠。通过设置第一端盖50和第二端盖52可以将第一轴承40和第二轴承42紧压在轴承座10上，从而进一步提升第一轴承40和第二轴承42的定位可靠性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图5所示，旋转接头1，轴孔为盲孔，部分进液腔102环绕盲孔设置；密封槽设置于进液腔102和盲孔的开口之间；转轴20上设置有第二进液口208，第二进液口208位于与出液口206所在端面相对的另一端面上。

在该实施例中，限定了另一种轴承座10结构，该结构中，轴孔为盲孔，完成转轴20的装配后，转轴20部分穿入至轴孔中，其中部分进液腔102位于转轴20的周侧，部分进液体腔位于转轴20的端侧，穿入轴孔的转轴20端部开设有第二进液口208，进液腔102中的液体经由第一进液口204和第二进液口208流入，转轴20内的通道202中。该轴承座10结构中，转轴20传入轴承座10且不贯穿轴承座10，其密封面较小，可降低泄漏可能性。进液腔102包裹转轴20的一端可以便于液体流入转轴20内部。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图5所示，轴承座10上设置有第二流体入口106，第二流体入口106位于与盲孔开设端面相对的另一端面上，第二流体入口106与进液腔102相连通；轴承座10上设置有环绕盲孔设置的第三定位槽，第三定位槽和盲孔位于同一端面上；旋转接头1还包括：第三轴承44，设置于第三定位槽内；第三端盖54，与轴承座10相连接，第三轴承44与第三定位槽和第三端盖54相低接，转轴20穿过第三端盖54。

在该实施例中，承接上一实施例，进一步限定了第二种轴承座10结构下所对应的旋转接头1的具体结构。该结构中，轴承座10上还设置有第二流体入口106，第二流体入口106设置在盲孔开设端面的另一端面上，与进液腔102相连通，第二流体入口106与转轴20上的第二进液口208相对应，部分液体经由第二流体入口106流入进液腔102。

旋转接头1上还设置有第三定位槽，第三定位槽与轴孔开设在同一端面上，且第三定位槽环绕轴孔设置。第三轴承44套设在转轴20上，且第三轴承44放置在第三定位槽内。在此基础上，第三端盖54扣合在轴孔上，转轴20穿设在第三端盖54上，第三轴承44的一个端面与第三定位槽相抵靠，第三轴承44的另一个端面与第三端盖54相抵靠。通过设置第三定位槽和第三端盖54，可以将第三轴承44精准定位在轴承座10上，避免第三轴承44在工作过程中错位，从而借助第三轴承44精准定位转轴20。进而实现优化旋转接头1结构，提升旋转接头1工作可靠性的技术效果。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，轴承座10为聚丙烯轴承座10、聚偏氟乙烯轴承座10或聚醚醚酮轴承座10。

在该实施例中，轴承座10为聚丙烯轴承座10、聚偏氟乙烯轴承座10或聚醚醚酮轴承座10，聚丙烯、聚偏氟乙烯、聚醚醚酮具备优良的抗腐蚀性和耐磨性，通过选取聚丙烯、聚偏氟乙烯、聚醚醚酮制备轴承座10一方面可以避免轴承座10被液体腐蚀，另一方面可保证轴承座10长期有效的工作，防止液体因轴承座10磨损而泄漏。

本实用新型的第二方面实施例提供了一种硅片处理装置，硅片处理装置包括：箱体，箱体内设置有工作腔；如上述任一实施例中的旋转接头1，旋转接头1设置于工作腔中；储液装置，储液装置上设置有储液腔；管路，管路的两端分别连接储液装置和轴承座10，管路连通储液腔和进液腔102；驱动装置，与转轴20相连接，驱动装置驱动转轴20转动。

在该实施例中，限定了使用上述任一实施例中的旋转结构的硅片处理装置。硅片处理装置包括箱体、储液装置、管路和驱动装置。箱体内设置有工作腔，硅片在工作腔内完成指定工艺步骤。储液装置上设置有储液腔，储液腔通过管路与旋转接头1的进液腔102相连通，旋转接头1设置在工作腔中，驱动装置与旋转接头1上的转轴20相连接，以驱动转轴20转动。工作过程中，储液腔中存储有清洗液，在完成硅片的工艺处理后，清洗液经由管路流入旋转接头1，最终从旋转结构上的出液口206喷淋至工作腔的内壁上，以清洗工作腔，清洗过程中驱动装置驱动转轴20转动，以改变清洗液的喷淋方向，避免出现喷淋死角，从而提升清洗可靠性。

在本实用新型的一个具体实施例中，旋转接头1的转轴20一端用于输送液体(输液端)，在输液过程中，在驱动装置的作用下，旋转接头1的主轴处于旋转状态，输液端可以直接向装置内输送液体，或者输液端连接支路管路，向支路管路进液。

旋转接头1的轴承座10套设在旋转接头1的转轴20的另一端，轴承座10为中空结构，具体地，中空结构分为就顶部结构，中部结构，底部结构，顶部结构和底部结构的尺寸应适配与主轴的尺寸，中部结构的尺寸大于所对应的转轴20的尺寸，因而形成进液腔102，轴承座10对应于进液腔102的位置开设有第一流体入口104，第一进液口204与进液腔102连通，用于向进液腔102内输送液体，转轴20在进液腔102对应处有三个第一进液口204，进液腔102内的药液可以通过这三个第一进液口204进入主轴内的通道202中，以进行输送。

轴承座10的侧面是第一流体入口104，与进液腔102体相连，进液腔102的两端各有两道密封件30，防止药液泄漏，顶部结构和底部结构部分设置有轴用格莱圈(密封件30)，用于防止药液泄漏。

第一端盖50用于压紧上面的第一轴承40，第二端盖52用于压紧下面的第二轴承42，并可固定整个旋转接头1。

工作过程如下：

要输送的流体介质通过管道连接到第一流体入口104，进入旋转接头1内部，主轴可由驱动装置(如电机齿轮)带动旋转，输送的介质由出液口206流出。由于轴用格莱圈与主轴紧密配合，可保证旋转接头1的整个工作过程无泄漏，而且由于轴用格莱圈的耐磨圈302具有极好的耐磨性，可以大大延长旋转接头1的使用寿命，减少维修成本。

图5是旋转接头1整体结构的一个变形结构示意图，旋转接头1可做成一种顶部进液的旋转接头1。当轴承座10上开设的进液口位于转轴20的中心线上时，第二流体入口106可直接连通转轴20的另一端，此时，转轴20对应于进液腔102的位置可开设第二进液口208，开设的作用在于提高进液速度。

本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所述的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。